Industrielle Plasma-Oberflächentechnik Industrial Plasma

Transcrição

Industrielle Plasma-Oberflächentechnik Industrial Plasma
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 2
Oberflächentechnik
Industrielle
Plasma-Oberflächentechnik
Industrial
Plasma-Surface Treatment
3. Auflage 2007
3rd Edition 2007
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 3
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 1
Oberflächentechnik
Industrielle
Plasma-Oberflächentechnik
Industrial
Plasma-Surface Treatment
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 2
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 3
Inhalt
Contents
Vorwort/Preface
4
Einführung/Introduction
6
Unternehmensprofile/Company profiles
CEMECON AG
14
ELTRO GMBH
16
PLATEG GMBH
18
PLATIT AG
20
PROBEAM
22
SULZER METAPLAS
24
VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH
26
Lieferverzeichnis/List of Suppliers
28
Adressenverzeichnis/List of addresses
30
Nachwort/Epilogue
32
Impressum/Imprint
33
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 4
VORWORT/PREFACE
Vorwort
Preface
Plasma-Oberflächentechnik:
Noch Innovation oder schon Tradition
in der Industrie?
Die Wiege der Plasma-Oberflächentechnologie
stand in Deutschland ebenso wie die erste konkrete
Anwendung, das Plasmanitrieren zum Verschleißund Korrosionsschutz an Maschinenteilen. Hier wird
sie auch seit vielen Jahren erfolgreich im industriellen
Maßstab genutzt. Dieses traditionelle Verfahren
bietet immer noch großes Innovationspotenzial.
Die jüngeren Beschichtungsverfahren wie PVD,
PACVD, PECVD, Plasma-Polymerisation etc. haben zu
Innovationsschüben in beinahe allen industriellen
Bereichen beigetragen und sind somit auch hier
nicht mehr wegzudenken.
Auffällig war in der langjährigen Geschichte der
Plasma-Oberflächentechniken, dass die bedeutendsten Entwicklungssprünge von kleineren und
Plasma surface technology:
Still an innovation or already
a tradition in industry?
Plasma surface technology emerged in Germany
with its first real application, plasma-nitriding
for wear and corrosion protection of machine
parts. It has been successfully applied on an
industrial scale for many years. This traditional
process still offers considerable potential for
innovation.
Newer coating processes such as PVD, PACVD,
PECVD, plasma polymerisation etc. have increased
the innovative power of almost all kinds of industry
and can therefore no longer be ignored.
It is remarkable in the long history of plasma
surface technology, that the most significant
developments took place in small and young
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 5
PREFACE/VORWORT
jungen Firmen ausgegangen sind. Auch heute
werden diese Verfahren größtenteils durch kleinere
und mittelständische Unternehmen angeboten und
fortentwickelt. So sind deutsche Firmen und
Forschungseinrichtungen immer noch weltweit
führend auf diesem Gebiet, auch wenn international erheblich aufgeholt wurde. Wegen dieser
wesentlichen nationalen und internationalen
Stellung und Bedeutung war es nur konsequent, die
Arbeitsgruppe Industrielle Plasma-Oberflächentechnik im VDMA zu bilden.
Die Broschüre soll dazu beitragen, die auf hohem
Niveau vorhandenen Anwendungen der Verfahrens- und Anlagentechniken zu vermitteln. Die
bedeutende Rolle des deutschen Werkzeug- und
Maschinenbaus konnte durch moderne Plasmatechniken gefestigt werden. In Zukunft werden
solche Techniken zunehmend benötigt, um im
internationalen technischen Wettlauf mithalten
zu können und wettbewerbsfähig zu bleiben.
Auch andere Industriezweige haben bereits
erkannt, wie wichtig für sie die Plasma-Oberflächentechnologie ist – weitere werden sicher
noch hinzukommen.
Die in dieser Broschüre vorgestellten Unternehmen haben entscheidende Beiträge zur Entwicklung der Plasma-Oberflächentechnologien
gleistet und werden auch in Zukunft ihren Anteil
an der Entwicklung des Hochtechnologie-Standortes Deutschland haben.
Der beispielhafte und erfolgreiche Weg:
Aus Tradition – Innovationen!
companies. Even today, these procedures are
mostly offered and developed by small and
medium-sized companies. German companies
and research institutes are still world leaders in
this area, although other countries have made
up considerable ground. Due to this strong
national and international position and importance,
forming the Industrial Plasma Surface Technology
working group within VDMA was the only logical
conclusion.
The aim of this brochure is to provide information
on high-level material processing and plant
engineering applications. The important part of
the German tool manufacture and mechanical
engineering industry was stabilised by modern
plasma technologies. Technologies like these will
be more and more required to keep up with
international technical contest and remain
competitive.
Also other branches of industry already recognised
the importance of plasma surface technologies,
and further will follow.
The companies introduced in this brochure
contributed significantly to the development of
plasma surface technology and will continue to
take part in the development of the high-tech
site, which is Germany.
The exemplary and successful route:
From tradition to Innovation.
5
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
6
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 6
EINFÜHRUNG/INTRODUCTION
Oberflächen machen
Produkte erfolgreicher
Surface treatment makes
products successful
In der Fachabteilung Oberflächentechnik im VDMA
organisierte Anbieter von Komponenten, Anlagen
und Dienstleistungen der Industriellen PlasmaOberflächentechnik dokumentieren mit weiteren
Anwendungsbeispielen in diesem Leitfaden ihr
Know-how. Sie informieren über die Bandbreite
ihrer Erzeugnisse und deren Einsatzmöglichkeiten.
Die Anbieter Industrieller Plasma-Oberflächentechnik empfehlen sich als kompetente Ansprechpartner
und Entscheidungshelfer für Einkäufer, Fertigungsplaner sowie Projektleiter bei der Auswahl von
Produkten, Verfahrenstechniken und fertigungsintegrierten Problemlösungen.
Suppliers of components, plants and services of
Industrial Plasma-Surface Technology, organised
within VDMA, set out their expertise with further
examples of applications of this guide. They
provide information on the range of products
and their possible applications. The suppliers of
Industrial Plasma-Surface Treatment Technology
commend themselves as competent contacts
and advisors in decisions for purchasers, production
planners and project managers in selecting
products, processes and production-integrated
solutions to problems.
Faszinierende Vielfalt
Unter den modernen Technologien hat sich die
Industrielle Plasma-Oberflächentechnik zu einem
bedeutenden Universalwerkzeug entwickelt.
In schon faszinierender Weise findet sie Anwendung
in so unterschiedlichen Bereichen wie der Herstellung von Datenträgern und Anzeigesystemen für
die Kommunikationstechnik der biokompatiblen
Beschichtung medizinischer Implantate, der Vergütung optischer Komponenten und vor allem beim
Verschleiß- und Korrosionsschutz an Werkzeugen
und Maschinenbauteilen.
Hochbelastbare dünne Schichten haben heute für
sämtliche Maschinenbaubranchen einen hohen
Nutzwert.
Die moderne Industrie verlangt zunehmend
schnellere Prozesse, Leichtbaukonstruktionen und
Fascinating diversity
Among modern technologies, industrial surface
treatment technology has developed into an
important universal tool. Quite amazingly, it has
found appliances in quite diverse areas such as
the manufacture of data carriers and display
systems for information technology, biocompatible
coating of medical implants, surface treatment
of optical components and most notably in wear
and corrosion protection on tools and machine
components.
Today highly resistant thin coatings are highly
useful for almost all machine engineering sectors.
Modern industry increasingly demands more
rapid processes, light construction and compact
construction methods. At the same time, high
quality demands and environmental requirements must be met. With this complex set of
requirements, materials soon reach their limits.
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 7
INTRODUCTION/EINFÜHRUNG
kompakte Bauweisen. Gleichzeitig sind hohe
Qualitätsansprüche und Umweltschutzanforderungen zu erfüllen. Bei diesem komplexen
Anforderungsprofil geraten Werkstoffe schnell
an ihre Grenzen. Die heutige Werkstoff- und
Fertigungstechnik stützt sich daher immer mehr
auf die Schlüsselfunktionen von Oberflächen.
Die Oberfläche macht‘s!
Ständig steigende Anforderungen an die Leistungsfähigkeit von Produkten und zunehmender Wettbewerb verlangen, Grundwerkstoff und Oberfläche
unabhängig voneinander zu optimieren. Bei der
Wahl des Grundswerkstoffes spielen beispielsweise
sein spezifisches Gewicht, seine Formbarkeit oder
etwa optische Transparenz und nicht zuletzt der
Preis eine entscheidende Rolle. Von der Oberfläche
des Endprodukts wird mehr verlangt:
Bei Werkzeugen und hochbelasteten Maschinenbauteilen muss sie tribologischen Beanspruchungen
standhalten, bei Architekturgläsern soll sie Wärmestrahlen und in Scheinwerfern und Leuchten sichtbares Licht reflektieren. Metalle soll sie vor Korrosion
schützen, Kunststoffe soll sie kratzfest, mal benetzbar, ein anderes Mal schwer benetzbar machen oder
auch das Innere von Kunststoffgehäusen gegen
elektromagnetische Felder abschirmen.
Medizinische Implantate müssen an der Oberfläche
biokompatibel sein, und Uhren, Schmuck sowie viele
andere Gegenstände des Alltags darf ihre Oberfläche einfach nur verschönern. Mikroelektronik
und hochleistungsfähige Datenträger wären ohne
Schichttechniken nicht denkbar. Plasmageschützte
Current material and production technology
therefore increasingly rests on the key function
of surfaces.
The surface does it!
Constantly increasing demands on the performance
of products and increasing competition demand
separate independent optimisation of basic
material and surface. In selecting the basic
material, its specific weight, formability or optical
transparency and not least price, for example,
play a deciding role. More is required of the surface.
Tools and highly stressed machine components
must withstand tribologic stresses, while
architectural glass should reflect heat radiation
and in headlights and lights reflect visible light.
Surfaces should protect metals from corrosion,
make plastics scratchproof, on one occasion
wettable, on other not easily wettable, or even
protect the inside of plastic casings against
electromagnetic fields. Medical implants must
be biocompatible on the surface andwatches,
jewellery and many other everyday objects
simply need their surface to look good.
Microelectronics and high-grade data carriers
would be unthinkable without such thin films
technologies. Plasma-based surface treatment
technology makes an important contribution in
all these fields. In many cases, it offers the only
possibility to make a decisive contribution to
improving the product. The range of its applications means it really is a technology which spans
all areas.
7
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
8
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 8
EINFÜHRUNG/INTRODUCTION
Oberflächentechnik leistet auf all diesen Feldern
einen wichtigen Beitrag. In vielen Fällen bietet sie
die einzige Möglichkeit zur entscheidenden Produktverbesserung. Die Bandbreite ihrer Einsatzbereiche
lässt sie zu einer Querschnittstechnologie ersten
Ranges werden.
Was aber ist ein Plasma?
Für ein faszinierendes Medium, das nicht so recht
ins Schema der traditionellen Aggregatzustände
fest, flüssig oder gasförmig passte, suchten Ende
der 20er Jahre Naturwissenschaftler nach einem
Namen. Wie so oft wurde man in der Sprache der
alten Griechen fündig. Plasma – das griechische
Wort für Gebilde – bezeichnet seitdem elektrisch
leitende Gase. Anders als „normale“ Gase bestehen
sie nicht nur aus neutralen Atomen und Molekülen,
sondern im Wesentlichen aus negativen und positiven Ladungsträgern wie Elektronen und angeregten
Ionen. Ihnen verdanken Plasmen ihre hochreaktiven
Eigenschaften und die Leuchterscheinungen, die sie
inzwischen zu einem vielseitig einsetzbaren Werkzeug – quer durch alle industriellen Anwendungsfelder – machen.
Wie man Plasmen erzeugt, demonstrieren uns seit
jeher Blitze – elektronische Entladungen in der
Gasatmosphäre der Erde. Beim technischen Einsatz
von Gasentladungen soll es natürlich nicht immer
so heiß hergehen. Im prominentesten Beispiel, bei
der Neonröhre, nutzt man seit langem nur die
Leuchterscheinung von Plasmen bei gleichzeitig
geringer Wärmeentwicklung. Heute hat die Industrie gelernt, das Werkzeug Plasma wirkungsvoll zur
But what is plasma?
At the end of the 1920s scientists were looking
for a name for a fascinating medium which did
not quite fit in the traditional scheme of traditional
aggregate states, solid, liquid or gaseous. As so
often, they found one in the language of the
ancient Greeks. Plasma – the Greek word for
a moulded thing, since describes electrically
conductive gasses. In contrast to “normal” gases,
they not only consist of neutral atoms and
molecules, but essentially of negative and
positive charge carriers such as electrons and
excited ions. It is due to this, that plasmas are
highly reactive and luminescent, which has
made them have diverse applications as a tool
throughout all fields of industrial applications.
How plasmas are created has been shown
since time immemorial by lightning, electrical
discharges in the Earth’s atmosphere. In the
technical application of gas discharges, things
should of course not always be so hot. In the
most salient example, the neon tube, we have
for a long time been using the luminescence of
plasmas with little heat development. Today,
industry has learnt to use the tool, plasma,
effectively for changing surface properties.
With cold low-pressure plasmas, even temperature-sensitive plastics can be easily treated.
Depending on the choice of process gases, the
highly reactive effect of plasmas can be used for
cleaning, grease removal and erosion as well as
for precipitation of functional, thin layers. An
overview of the structure of plants and processes
of Industrial Plasma Surface Treatment Technologies
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 9
INTRODUCTION/EINFÜHRUNG
Industrielle Plasma Oberflächentechnik Auftragseingang
Orders receives in Industrial Plasma Surface Treatment
Index 2000 = 100
220
200
180
160
140
120
100
80
60
40
20
0
1995
1996
1997
1998
1999
2000
2001*
2002
2003
2004
* Strukturbruch in der Erhebung
Änderung der Oberflächeneigenschaften einzusetzen. Mit kalten Niederdruckplasmen etwa lassen
sich sogar temperaturempfindliche Kunststoffe
problemlos vergüten. Je nach Wahl der Prozessgase
kann die hochreaktive Wirkung von Plasmen sowohl
zur Reinigung, Entfettung und Abtragung als auch
zur Abscheidung funktionaler dünner Schichten
eingesetzt werden. Eine Übersicht über Aufbau von
Anlagen und Verfahren der Industriellen PlasmaOberflächentechnik bietet das Einheitsblatt VDMA
24385.
Gute Konjunktur für moderne
Schichtsysteme
Durch die permanente Ausweitung der Anwendungsbereiche und wachsender Durchdringung
etablierter Märkte entwickelte sich die Branche in
den letzten Jahren mit durchschnittlich zweistelligen Zuwachsraten. Auch in den nächsten Jahren
ist von hohen Investitionen in diese Technologie
und einem steigenden Marktpotential auszugehen.
Der Auftragseingang in der industriellen PlasmaOberflächentechnik konnte nach dem Boomjahr
2005 nochmals um 14% wachsen. Insgesamt
schätzt der Fachverband das Umsatzvolumen der
Branche auf 1,0-1,2 Mrd. Euro für Anlagen, Kompo-
2005
2006 S
S Prognose
provided by information sheet VDMA 24385.
Good economic conditions for modern coating
systems.
Good economic conditions for
modern coating systems
Due to the ongoing expansion of the fields of
application, the sector in Germany has in recent
years been developing at double digit growth
rates. Also for the upcoming years a further
growth of the market potential and high investment
in this technology can be well expected.
The total order value in industrial surface treatment technology grow 14% in 2006 after the
boom year 2005. VDMA Surface Treatment
estimates the total turnover of the branch
between 1 or 1.2 billion Euro for machinery
components and coating services.
Economic driver in 2006 has been the domestic
market with a growth of 23%. The foreign trade
of the branch could grow 5% in 2006 after very
high increase rates in 2005. Large Area-applications
account for 47% of the total order quantity in
2006.
9
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
10
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 10
EINFÜHRUNG/INTRODUCTION
nenten und Lohnbeschichtung. Wachstumsmotor
im Jahr 2006 war das Inlandsgeschäft, das um 23%
wachsen konnte. Das Auslandsgeschäft konnte
2006 nach sehr hohen Zuwachsraten im Jahr 2005
nochmals eine Steigerung 5% verbuchen.
Auf Large Area-Anwendungen entfielen 47% der
Auftragseingänge im Jahr 2006. Large Area
Anwendungen fanden in den letzten Jahren
starke Verbreitung aufgrund hoher Investitionen
in Produktionsanlagen für Flachbildschirme und
Displays. Daneben spielt die Beschichtung von
Architekturglas (Wärmeschutzverglasung) eine
wichtige Rolle.
Auf Verschleißschutzanwendungen entfiel ein
Anteil von 44%.
Viele Anwender, die die Vorteile und Leistungsfähigkeit moderner Schichtsysteme nutzen möchten,
ziehen zunächst die Oberflächenbehandlung ihrer
Produkte im Lohnverfahren vor, das kompetente
Large Area-applications experienced higher
distribution over the past years due to the high
investments in production machinery for flat
panels and displays. Besides this, coating of glass
for architecture (heat-protection) plays an
important role. Applications for wear-protecting
hold their total order volume of 44%.
Many users who want to utilise the benefits and
capabilities of modern thin films, favour at first
the surface treatment of their products by job
coaters. This is offered also by competent
machinery and plant manufacturers of this
branch. According to a survey of VDMA the
branch accounted for round about 50% of its
total turnover in the plant and machinery sector
in 2006. Job coating and other services account
for approximately 1/3, whereas the business
with components covers around 17% of the total
turnover. Especially the segment of job coating
could significantly grow in 2006.
Industrielle Plasma Oberflächentechnik Auftragseingang 2006*
Orders receives in Industrial Plasma Surface Treatment 2006*
nach Produkten und Dienstleistungen
after Products and Services
Dienstleistung
Service
32%
Komponenten
Components
17%
nach Anwendungsbereichen
after field of application
Gesamtanlagen
Whole Plants
51%
Sonstige
Others
8%
Verschleißschutz
Wear protection
44%
Dekoration
Decoration
1%
Großflächig
Large Area
47%
* vorläufig/temporary
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 11
INTRODUCTION/EINFÜHRUNG
Anlagenbauer ebenfalls mit anbieten. Nach VDMAErhebungen erzielte die Branche im Jahr 2006 rund
die Hälfte ihrer Gesamtumsätze im Anlagenbau.
Auf Lohnbeschichtung und andere Dienstleistungen
entfällt knapp ein Drittel, während das Geschäft mit
Komponenten etwa 17% der Umsätze ausmacht.
Insbesondere das Segment Lohnbeschichtung
konnte im Jahr 2006 überdurchschnittlich zulegen.
Im breit gespannten Spektrum der Oberflächentechniken haben sich plasmagestützte Verfahren wie
z. B. im Verschleißschutz als feste Größe etabliert.
Der Erfolg misst sich aber auch im Erschließen
immer neuer Anwendungsfelder und dem Konkurrieren anderen Verfahren der Oberflächentechnik
auf deren angestammten Märkten, wie dies im Falle
der Galvanotechnik geschieht. Die Technologie hält
außerdem verstärkt Einzug in Herstellung dekorativer Schichten. Auch aus der Automobilindustrie sind
die Verfahren der industriellen Plasma-Oberflächentechnik nicht mehr wegzudenken.
Schonung der Umwelt bringt Vorteile
Fortschritte bei der Verfahrensentwicklung und
neue Schichtsysteme haben das Plasma vorangebracht. Gegenüber den galvanischen Verfahren
haben sie jedoch nicht nur aus eigener Kraft an
Boden gutgemacht. Flankenschutz erhielt die
Plasma-Oberflächentechnik vor allem durch die
Weiterentwicklung der Umweltschutzvorschriften,
die etablierte Verfahren wie die Galvanik oder auch
manche Bereiche der Lackiertechnik zunehmend
verteuern.
Kostenvorteile ergeben sich demnach durch geringere Umweltbelastung der Plasmaprozesse, die
lediglich in einer elektrisch geladenen Gasatmosphäre stattfinden und so weder zur Abfall- noch zur
Abwasserproblematik beitragen.
Protection of the environment
brings advantages
Progress in process development and new thin
films systems have made plasma more important. Compared to the galvanic processes, they
have not only gained ground by their own efforts.
Further development of environment protection
regulations in particular has supported and
promoted plasma surface treatment technology,
since these regulations have made established
processes such as galvanising or even many
areas of paint technology more expensive.
Accordingly, cost advantages result from less
environmental damage from plasma processes,
which only take place in an electrically charged
atmosphere and thus contribute neither to
waste or waste water problems.
11
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
12
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 12
EINFÜHRUNG/INTRODUCTION
Anwendungspotenziale in verschiedensten Industriebereichen
Vielversprechende Perspektiven bieten sich den
neuen Verfahren in einer ganzen Reihe von Anwendungsfeldern. Beim Automobil sind dünne Schichten in unterschiedlichsten Funktionen realisiert.
Dazu gehört z. B. der Verschleißschutz hochbelasteter Bauteile von Verbrennungsmotoren, Getrieben,
elektrischen Antriebselementen, Pumpen, Gestängen und Fahrwerksteilen.
Reflektoren in Beleuchtungseinrichtungen erhalten
hochwertige Verspiegelungen. Kunststoffteile im
Innenraum benötigen kratzfeste Beschichtungen,
und an der Karosserie eingesetzte Kunststoffe
erhalten durch Plasmaaktivierung eine wirksame
Haftvermittlung für die Lackierung.
Auch in der Medizin nehmen moderne Beschichtungstechniken stetig an Bedeutung zu. Durch die
Aufbringung biokompatibler Schichten auf Implantaten können deren Grundwerkstoffe eher auf ihre
mechanische Beanspruchung abgestimmt werden,
anstatt gleichzeitig gewebefreundlich sein zu
müssen. Für komplexe Kathetertechnik und Systeme
für minimal-invasive Operationsmethoden sind
reibungsmindernde Schichten notwendig. Die
Oberflächeneigenschaften aller Arten von in der
Medizin eingesetzten Behältnissen für Flüssigkeiten
können beliebig hydrophil oder hydrophob ausgestattet werden.
Neben den genannten Beispielen existiert eine Fülle
weiterer potenzieller Anwenderbranchen mit zum
Teil erheblichem Bedarf an Wissenstransfer. Eine
Analyse der bisherigen Nutzungstiefe – durchgeführt durch die Arbeitsgruppe Industrielle PlasmaOberflächentechnik im VDMA – wird einen systematischen Dialog mit den Anbietern ermöglichen.
Vorrangige Zielgruppen werden Maschinenbaubranchen und die Automobilzulieferkette sein.
Applications potential in various
sectors of industry
There are promising prospects for
the new processes in a whole series of fields of
applications. In the car, there are thin coatings in
the most diverse functions. This includes, for
example, wear protection of highly stressed
components of combustion engines, gears,
electrical drive elements, pumps, linkages and
chassis components. Reflector in lighting systems have high quality reflective coats. Plastic
parts in the interior require scratchproof coatings and plastics used on bodywork obtain
effective adhesion capacity for paint by means of
plasma activation.
In medicine, too, modern coating technologies
are steadily gaining importance. By applying
biocompatible layers on implants, their base
materials can be more geared to mechanical
stress instead of needing to be tissue-friendly at
the same time. For complex catheter technology
and systems for minimally invasive operation
methods, friction-reducing coatings are required.
The surface properties of all types of liquid
containers employed in medicine can, as necessary,
be provided hydrophilic or hydrophobic.
Apart from the examples mentioned, there are
many more potential applications with, to some
extent, considerable demand for transfer of
knowledge. Analysis of the extent of use, undertaken by the working group, Industrial Plasma
Surface Treatment in VDMA, will allow systematic
dialogue with suppliers. The preferred target
groups will be machine constructions and automotive supplier chain sectors.
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 13
INTRODUCTION/EINFÜHRUNG
Herausforderungen für die Zukunft
Bei den Schlüsseltechnologien von heute und der
Zukunft spielen die Funktionen dünner Schichten
und damit Plasmaprozesse ebenfalls eine entscheidende Rolle. In der Kommunikations- und Informationstechnik betrifft es die Weiterentwicklung von
Flachbildschirmen, die Kapazitätserhöhung von
Speichermedien und selbstverständlich die weitere
Miniaturisierung elektronischer Bauelemente und
Strukturen. In der Energietechnik kommen z. B.
Solarzelle und auch Brennstoffzelle nicht ohne
spezifische Oberflächenfunktionen ihrer wichtigen
Konstruktionselemente aus.
Die Nachfrage nach schnelleren Prozessen wird
auch für die Anbieter Industrieller Plasma-Oberflächentechnik eine der wesentlichen technologischen Herausforderungen sein. Um das Tempo von
Produktionsverfahren erhöhen zu können, muss die
Oberflächentechnik zurück in die laufende Fertigung. Unter der Voraussetzung hoher Stückzahlen
sind schnelle Einzelteilbeschichtungen – wie in der
CD-Herstellung realisiert – anstatt „Batch“-Verfahren eine Möglichkeit für eine Integration in die
Fertigungskette. Auch bei der Lohnbeschichtung
helfen automatische Prozesse und Straffung der
Logistik, Kosten zu sparen und schneller zu werden.
Challenges for the future
In today’s and future key technologies, the
function of thin coatings and thus plasma
processes also play a deciding role. In communications and information technology, it affects
the further development of flat screens, increasing the capacity of storage media and of course
the further miniaturisation of electronic components and structures. In power engineering, for
example, solar cells and even fuel cells cannot
do without specific surface functions of their
important structural elements. The demand
for more rapid processes will also be one of
the main challenges for suppliers of Industrial
Plasma Surface Treatment. To speed up production processes, surface treatment must return
continuous production. Provided the numbers
of units are high, rapid single part coatings,
as realised in CD manufacture, instead of batch
processes, may be a possibility for integration
into the production chain. In job coating too,
automated processes and tightening up logistics
help to save costs and speed things up.
13
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
14
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 14
CEMECON AG
CemeCon ist mit weltweit
350 Mitarbeitern, davon
240 am Standort Würselen
bei Aachen, eines der erfolgreichsten Unternehmen
mit einem umfassenden
Leistungsspektrum rund
um die Beschichtung von
Zerspanwerkzeugen und
seit 20 Jahren technologischer Vorreiter in diesem
Segment. Am Standort
Würselen betreibt CemeCon
das größte Lohnbeschichtungszentrum Europas und
ist darüber hinaus in den
USA, China, Skandinavien
und Tschechien mit Unternehmens- und Produktionsstätten vertreten.
With 350 employees
worldwide, and
240 of them
at the site
in Würselen
near Aachen,
Germany,
CemeCon is
one of the
most successful
companies in the
cutting-tool coating sector
and also offers a comprehensive range of services. At the
plant in Würselen, CemeCon
operates Europe's largest
job coating center. It is also
represented with corporate
and production sites in the
US, China, Scandinavia and
the Czech Republic.
Individuelle Beschichtungen
für höchste Performance
Der Bedarf an Hochleistungsbeschichtungen für die Zerspanungstechnik steigt seit
Jahren enorm: Beschichtungen erhöhen
die Leistung von Werkzeugen bei nahezu
allen Zerspananwendungen und ermöglichen dadurch erst die wirtschaftliche
Bearbeitung modernster Materialien wie
beispielsweise kohlefaserverstärkter
Kunststoffe, Magnesium oder Aluminium,
die in der Luft- und Raumfahrtindustrie oder dem
Automobilbau bereits weit verbreitet sind. Ein
Meilenstein auf diesem Weg war die Entwicklung
der glatten Diamantschichten, die CemeCon zum
Weltmarktführer bei Diamantbeschichtungen
machte. Mittlerweile sind auch in der Leiterplattenfertigung mit CemeCon-Diamantschichten versehene Präzisionswerkzeuge nicht mehr wegzudenken.
Bei modernen Zerspanaufgaben wie der Hartbearbeitung macht CemeCon mit den Supernitriden der
zweiten Generation dem Wettbewerb harte Vorgaben: Die ultraglatten Schichten der SN2/HSN2-Klasse
liefern beste Zerspanergebnisse in den unterschiedlichsten Materialien bei hervorragenden Ober-
The need for high-performance coatings for
cutting technology has increased enormously
over the past several years. Coatings increase
the performance of tools for virtually all cutting
applications and make the economical machining
of modern materials, such as glass-fiber reinforced
plastics, magnesium or aluminum already
standard in the aerospace or automotive industry,
possible in the first place. A milestone along this
road was the development of smooth diamond
coatings, which made CemeCon the world's market
leader in this sector. Precision tools with CemeCon
diamond coatings have meanwhile also become
a permanent technology in PCB production.
For modern cutting tasks like hard machining,
CemeCon is meanwhile setting standards for
the competition with its second-generation
Supernitrides. The ultra-smooth coatings of
the SN2/HSN2 group supply out-standing
machining results in a very broad range of
materials with excellent surface qualities and
an extremely long tool life.
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 15
CEMECON AG
Individual Coatings for
Top Performance
flächengüten und extremer Haltbarkeit.
Für manche Anwendungen müssen nicht nur
Hartmetalle und HSS beschichtet werden, sondern auch nichtleitende Materialien wie Keramik
und Cermets. Auf der anderen Seite sind aber
auch nichtleitende Schichtwerkstoffe gefragt. In
solchen Fällen bietet CemeCon ebenfalls die passenden Lösungen an. Auf Wunsch entwickelt das
Unternehmen individuelle Beschichtungen zusammen mit dem Kunden – optimal maßgeschneidert auf die jeweiligen Applikationen und
Werkzeuge.
Herzstück der CemeCon-Anlagentechnik und
Quelle der individuell anpassbaren Beschichtungslösungen ist die bewährte Beschichtungsanlage
CC800®/9. Sie bietet alle Variationen von der
Kleinstproduktion bis hin zur kompletten Fertigungslinie. Mit der CC800®/9 JET bietet CemeCon
den kostengünstigen Einstieg für die Inhousebeschichtung: Selbst bei kleinen Füllmengen ist
damit wirtschaftliches Beschichten möglich – und
durch schnelle und kostengünstige Upgrades der
Beschichtungskammern lässt sie sich auch zu einer
größeren Beschichtungsanlage aufrüsten.
For some applications, not only metals need to
be coated, but also non-conductive materials like
ceramic, or non-conductive coating materials are
required. CemeCon also offers the right solutions
in cases like these. On request the coating expert
will develop individual coatings together with
the customer that are optimally customized to
the respective applications.
The heart of the CemeCon system technology
and the source of the individually adaptable
coating solutions is the proven CC800®/9 coating
system. It offers all variations from the smallest
production all the way up to complete production
lines. And with the CC800®/9 JET, CemeCon
offers an inexpensive entry-level product for
in-house coating. Economical coating is possible
even with small filling quantities. And thanks to
fast, low-cost retrofitting of the coating chambers,
it can also be upgraded to the XL format.
Weitere Informationen:
Additional information:
CemeCon AG
Adenauerstraße 20 A4
52146 Würselen
Germany
Phone +49(0)24 05-44 70-100
[email protected]
www.cemecon.de
15
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
16
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 16
ELTRO GMBH
ELTROPULS steht für innovative
Puls-Plasma-Technologie. Die
moderne Plasmawärmebehandlungsanlage gekennzeichnet
durch gepulste Entladung mit
variablem Tastverhältnis im
Mikrosekundenbereich und
Warmwandkonzept mit geregelter Temperatur wurde vor über
25 Jahren von ELTRO entwickelt.
Die patentierte Pulstechnik mit
Zündimpuls ermöglicht erst die
wirtschaftlichen Behandlungen
kompliziertester Geometrien
und dichter Chargen mit engsten Toleranzen.
ELTROPULS means innovative
pulsed plasma technology. The
modern plasma heat treatment
unit caracterized by a pulsed
discharge with a variable duty
cycle in the range of microseconds and a hot wall concept
with controlled temperature
has been developed over 25
years by ELTRO. It is the patented
pulse technology with an ignition
pulse that allows profitable
treatments of the most complex
geometries and dense loads
with the narrowest tolerances.
ELTRO –
Innovativ und Kundenorientiert
In enger Zusammenarbeit mit ihren Kunden liefert
ELTRO Knowhow sowohl für Standard- aber auch
für hochkomplexe automatisierte Serienanwendungen mit Integration in die Fertigung mit Taktzeiten von z.B. < 0,5 s / Teil.
ELTRO offers in strong collaboration with their
customers, the know how for not only standard- but
also for very complex serial applications integrated
directly into production and cycles of for example
< 0,5 s/ part.
Das Angebot beinhaltet Hauben- und Schachtöfen
und reicht von Einzelanlagen bis hin zu komplett
automatisierten Fertigungslinien, die in die Produktion problemlos integriert werden können. Die
Eltro GmbH hat sich als kompetenter Hersteller
von Oberflächenbehandlungsanlagen für namhafte Firmen der Automobilindustrie und des Maschinenbaues etabliert. Weitere Geschäftsfelder sind
der Flugzeugbau, die Kunststoffindustrie, Forschungslabore und der Rennsport, insbesondere
die Formel 1. Die Tochtergesellschaften in Farnborough (England), in Oxford (USA) und in Chemnitz, die über eigene Lohnhärtereien verfügen,
ermöglichen es der Eltro GmbH weltweit Veredelungslösungen anzubieten.
Das ELTROPULS-Verfahren bietet zuverlässigen
Schutz gegen Verschleiß, Korrosion und Ermüdung
von Bauteilen und Werkzeugen.
ELTRO offers bell- and pit furnaces and the range
of furnaces varies from single furnaces to fully
automated production lines, which can be integrated
without any problem directly into manufacturing.
ELTRO has established itself as a capable manufacturer of surface treatment equipment for well-
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 17
ELTRO GMBH
ELTRO –
innovative and customer friendly
ELTROPULS-Anlagen werden in enger Zusammenarbeit mit dem Kunden konzipiert. Das F&E Team
der Eltro GmbH entwickelt individuelle Verfahrenslösungen. Ausgehend von der Analyse der Aufgabenstellung erfolgt die Systementwicklung auf
höchstem Niveau, Prozeßsimulation, Profiltiefenanalyse, REM, EDAX, 3D CAD, FEM Berechnung etc.,
wobei sämtliche Subsysteme von der Eltro GmbH
entwickelt und gefertigt werden können. Dies gilt
sowohl für die Software-Entwicklung als auch für
die Fertigung elektronischer und mechanischer
Baugruppen. Vor Inbetriebnahme der Anlage beim
Kunden bietet die Eltro GmbH Schulungen der
Mitarbeiter an, um eine reibungslose Integration
der Anlagen in die Produktlinie zu gewährleisten.
Die folgenden Verfahren werden von der Eltro
GmbH angeboten:
• Puls-Plasma Nitrieren
• Puls-Plasma Nitrocarburieren
• Oxidieren
• Hartstoffschichten
• Verfahrenskombinationen
Einige der Vorteile des ELTROPULS-Verfahrens
sind:
• Reproduzierbare, gleichmäßige Nitrierergebnisse
bei maximaler Chargengröße
• Geringe Kosten durch kurze Gesamtprozesszeiten
• Eigenschaftsverbesserungen durch gezielte
Nachbehandlung der Nitrierschichten
• Dekoratives schwarzes Aussehen und Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit durch Nachoxidation
• Enge Toleranzen selbst bei unterschiedlichen und
komplizierten Konturen
• Verzugsarmes Verfahren durch niedrige Behandlungstemperatur
• Möglichkeit der partiellen Behandlung
• Umweltfreundlich und Ressourcen schonend
known companies from the automotive industry
and engine building industry. Other business areas
are aircraft construction, the plastics industry,
research laboratories and racing, especially Formula
1. The subsidiaries in Farnborough (UK), in Oxford
(USA) and in Chemnitz (Germany) who posider their
own commercial heat treatment shops allow ELTRO
the worldwide delivery of surface engineering
solutions.
The ELTROPULS process offers reliable protection
against wear, corrosion and fatigue of components
and tools.
ELTROPULS equipment is designed in strong
collaboration with the customer. The R&D Team
of ELTRO develops individual process solutions.
Starting from the analysis of the task the development of the system is carried out at the highest
level process simulation, scanning electron
microscopy, EDAX, 3D visualization, FE Analysis
etc., whereas all subsystems can be developed and
produced by ELTRO. This applies to the development
of the software as well as to the production of
electronic and mechanical components. Before
placing the unit into operation at the customer’s
plant ELTRO offers training for their employees in
order to assure a smooth transition of the equipment
into the customer’s production line.
17
ELTRO GmbH
Arnold-Sommerfeld-Ring 3
52499 Baesweiler
Deutschland
Phone 02401-80970
Fax
02401-809715
[email protected]
www.eltropuls.de
The following processes are
offered by ELTRO:
• Pulsed plasma nitriding
• Pulsed plasma nitrocarburising
• Oxidising
• Hard coatings
• Combined processes
Some of the advantages of
the ELTROPULS process are:
• Reproducible, uniform
nitriding results at a
maximum load size
• Low costs resulting from
short total treatment times
• Enhancement of the
properties by controlled
post treatment of the
nitrided layers
• Decorative black appearance
and enhancement of
corrosion resistance by
post oxidation
• Narrowest tolerances even
with varying and complicated
geometry
• Low distortion due to low
treatment temperatures
• Possibility of partial treatment
• Environmentally friendly and
minimum consumption of
resources
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
18
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 18
PLATEG GMBH
PlaTeG GmbH
Kompetenz in Plasma
Competence in Plasma
Auf der Basis einer mehr als 25jährigen Erfahrung auf dem Gebiet
der Plasma-Oberflächentechnik
werden von PlaTeG spezielle Anlagen
und -komponenten zur Plasmaoberflächenbehandlung von Stahl und
Kunststoffteilen hergestellt und
weiterentwickelt. Ein Schwerpunkt
liegt dabei auf dem Einsatz der von
PlaTeG entwickelten PulsPlasma®
Oberflächentechnik zur Erzeugung
von Verschleiß- und Korrosionsschutzschichten auf Werkzeugen
und Maschinenteilen. Die Behandlung von Kunststoffoberflächen im
Niederdruckplasma zur Verbesserung der Lackierbarkeit, Bedruck- und
Beklebbarkeit gehört ebenso zu den
Tätigkeitsbereichen der PlaTeG wie
Kompetenz in Plasma –
Oberflächentechnologie
Competence in Plasma –
Surface-Technology
PulsPlasma®-Nitrieren/-Nitrocarburieren zur
Erzeugung verschleiß- und korrosionsbeständiger
Nitridschichten auf Baustählen, rost- und säurebeständigen Edelstählen und auf Sinterstahl
PulsPlasma®-Oxidieren zur Verbesserung des
Korrosionsschutzes und der Gleiteigenschaften
von Stahloberflächen
PulsPlasma®-CVD Beschichten
zur Abscheidung von Hartstoff- und DLCSchichten zur Verbesserung der Verschleiß- und
Gleiteigenschaften von Metalloberflächen.
PulsPlasma®-Feinreinigung
von Metalloberflächen.
Plasmaaktivierung/Plasmapolymerisation
zur Modifizierung von Kunststoffoberflächen
PulsPlasma®-Nitriding/-Nitrocarburising for the
production of wear protecting and corrosion resisting
Nitride layers on normal steel, low- and higher
alloyed steel, stainless steel and sintered steels.
PulsPlasma®-Oxidation for the further improvement
of corrosion resistance and slide properties of steeel
surfaces.
PulsPlasma®-CVD Coating for the Deposition of Hard
Coatings like TiN, TiCN, TiAlN and DLC on tools or
components to improve properties like wear resistance,
corrosion resistance, scratch stability.
PulsPlasma®-Cleaning for a fine degreasing of metal
surfaces, removal of unwanted oxide or passivation
layers.
Plasmaactivation/Plasmapolymerisation for the
modification of Polymer surfaces
auch das Reinigen von Oberflächen
mit den Mitteln der Plasmatechnik.
With the background of a 25 years
of experience special plants and
devices for the plasma surface
treatment are developed and
manufactured by PlaTeG. A main
focus of activities is concentrated
on PlaTeG’s PulsPlasma®surface
technology for the production of
wear and corrosion protecting
coatings on tools and machine
parts. The pre-treatment of plastic
surfaces in a low-pressure plasma
process to improve the varnishability,
printability and bondability is
part of PlaTeG’s activities as well
as the surface cleaning by the
means of surface plasma technology.
PlaTeG - Lieferprogramm
komplette Anlagen
• PulsPlasma® Nitrieren
• PulsPlasma® Oxidieren
• PulsPlasma® CVD
PlaTeG – Delivery programme
Complete plants
• PulsPlasma® nitriding
• PulsPlasma® oxidation
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 19
PLATEG GMBH
19
PlaTeG GmbH
• PulsPlasma® Reinigen/-Entfetten
• NIEDERDRUCK Plasmaanlagen (MF, HF) zum
Plasmaentfetten und aktivieren zur Plasmapolymerisation
Anlagenkomponeten
• Komponenten für Plasmaprozesse
• PulsPlasma® Generatoren unipolar/bipolar
• Pulseinheiten für DC-Stromversorgungen
• Steuereinheiten für Pulsgeneratoren
• Stromdurchführungen
• Chargenauflager
• Vakuumbehälter aus Edelstahl
Dienstleistungen
• Lohn- und Versuchsbehandlungen in unserem Werk
• Service und Wartung
• Beratung, Entwicklung, Schulung
Anwendungen
• Plasmanitrieren/-nitrocarburieren von Stahl,
Aluminium und Titan
• Plasmaunterstütztes CVD (PA CVD) zur Beschichtung mit TiC, TiN...etc., DLC
• Plasmareinigung/-entfettung von Metallen
• Plasmaentfetten und -aktivieren von Kunststoffteilen
• Abscheidung von Plasmapolymerschichten auf
Metallen und Kunststoffen
• PulsPlasma® CVD
• PulsPlasma® cleaning/degreasing
• LOW PRESSURE plasma
plants for plasma degreasing and activation for
deposition of Polymer coatings
Plant components
• special components for plasma processes
• PulsPlasma® generators unipolar and bipolar
• pulsing units for dc generators
• control units for pulse generators
• current feedthroughs
• load support elements
• vacuum vessels in stainless steel
Services
• customized services in our job shop
• service and maintenance
• consulting, development, teaching
Applications
• Plasma nitriding/-nitrocarburizing of steel
• Plasma assisted CVD (PA CVD) for the coating by
TiC, TiN..etc., Diamond-like-Carbon (DLC)
• Plasma cleaning/-degreasing of metals
• Plasma degreasing and activation of plastic parts
• Deposition of polymer coatings on metals and
plastic parts
PlaTeG GmbH
Industriestr. 13
57076 Siegen
Germany
Phone +49 271 7 72 41-0
Fax
+49 271 7 72 41-33
[email protected]
www.plateg.de
Gründungsjahr
Foundation
1986 / 2006
Geschäftsleitung
General Manager
Dr. Reinar Grün, Arnd Bohle
Technik/Produktion
Technique/Production
Hans-Joachim Günther,
Beschäftigte 2006
Employees 2006
25
Verfahrensvorteile
• umweltschonend, es werden
keine toxischen Stoffe eingesetzt oder erzeugt
• geringer Energieverbrauch
• geringer Gasverbrauch
• niedrige Behandlungstemperaturen, verzugsarme
Behandlungen möglich
• Integrierbarkeit der PlaTeG
PulsPlasma®-Anlagentechnik
direkt in Fertigungslinien
Process advantages
• pollution free, no toxic
media will be used or
produced
• low energy consumption
• low gas consumption
• low treatment temperatures
• low distorsion of work
pieces
• PlaTeG’s PulsPlasma®Technique is easy to integrate
into production lines
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
20
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 20
PLATIT AG
Die 10 Gebote für PLATIT
The 10 Commandments for PLATIT
Cutting tool for form milling
with nACo®blue AITiN/SiN
Nancomposite coating
Forming tool for stamping with
UniCut®: TiAICN Nanogradient
coating
Medical implants with CrTiN
Nanolayer coating
Kernkompetenz: Entwicklung und Produktion von
high-tech PVD-Beschichtungsanlagen & Schichten
1. Selbstständigkeit Unabhängigkeit von Konzernen
2. Mutterhaus in der Schweiz Tradition, Image,
Infrastruktur, Finanz und Steuersystem
3. Weltweit verteilte Intelligenz Globale Kooperation mit Instituten, Beschichtern und Anwendern
4. Flache, schlanke Firmenstruktur Keine Hierarchie, Schwerpunkt auf Entwicklung, nicht auf
Logistik
5. Teamgeist Innovation und Leistung zählt,
nicht Herkunft und Krawatte
6. Ausgewogene Vermarktung über Länder und
Kontinente, Hauptkunden; KMUs Unabhängigkeit von Grosskunden
7. Blauer Ozean Strategie Produkte und Märkte
bevor und ohne Konkurrenz
• neue Schicht jedes Jahr
• neue Anlage jedes 2. Jahr
8. Win-Win mit Kunden Kein Rabatt, sondern Preis/
Leistung entscheidet Wettbewerbsfähigkeit
9. Keine Lohnbeschichtung Weltweit
10. Schlüsselfertige Systeme zur Integration in die
Fertigung
Core competence: Development and production
of high-tech PVD coating equipment & coatings
1. Independence From large enterprises
2. Headquarters in Switzerland Tradition, image,
infrastructure, financing and tax system
3. World wide distributed intelligence Global
cooperation with institutes, suppliers, coaters
and users
4. Flat, lean company structure No hierarchies,
focus on development not on logistics
5. Team spirit Innovation and performance
count, not origin and tie
6. Balanced distribution of sales Over countries
and continents, marketing targets; SME
companies no depending on large costumers
7. Blue Ocean Strategy Products and markets
before and without competition
• min. 1 new coating every year
• new coating unit every 2nd year
8. Win-Win with costumers Not discount but
price/performance decides competitiveness
9. No own job coating center Worldwide
10. Turnkey Systems For integration into the
production
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 21
PLATIT AG
21
Advanced Coating Systems
SWISS
QUALITY
Marketing, Application Engineering
R&D, Logistics, Grenchen, CH
Production – R&D – Service
Sumperk, CZ
Production – Development – Service
Riaz, CH
The Flagships of PLATIT:The π-Units and the
Nanocomposite Coatings
• The industry requires high performance coatings,
dedicated to the applications. In the near
future they will be mostly coated by In-House
Systems.
• Flexible compact units coat optimum dedicated coatings as Nanocomposite in the matrix
• Die Industrie benötigt “dedicated“, der Anwenof silicon nitride with rotating cathodes:
dung angepassten Hochleistungsschichten.
Sie werden in naher Zukunft überwiegend von
• LARC®: LAteral Rotating Cathodes
In-House Systemen produziert.
• CERC®: CEntral Rotating Cathodes
• Flexible Kompaktanlagen scheiden optimal
• π 80; 2 LARC® cathodes. The first industrial
“dedicated“ Schichten, auch als Nanocomposites
unit for Nanocomposites
auf Siliziumnitrid-Basis mit rotierenden Kathoden • π 300; 3 LARC® & 1 CERC® cathodes for highest productivity and flexibility:
ab:
• LARC®: LAteral Rotating Cathodes
• Typical cycle time 4-5 hours.
• CERC®: CEntral Rotating Cathodes
• Open system: Costumers can create their
own compositions and brands.
• π 80; 2 LARC®-Kathoden. Die erste industrielle
Anlage, für Nanocomposites.
• The cost effective, non alloyed targets
produce ~200 batches.
• π 300; 3 LARC® & 1 CERC®-Kathoden, für höchste Produktivität und Flexibilität:
• Default cathode configuration: Due to the
free programmable stochiometry, in the
• Typische Zykluszeit: 4-5 Stunden
range of Ti-Cr-Al-AlSi, all coating types can be
• Offenheit: Anwender kann beliebige Kompositionen und Eigenmarken kreieren.
deposited in any composition without cathode
• Die kostengünstigen, nicht legierten Targets
exchange:
schaffen ~ 200 Chargen.
• Default-Kathoden-Konfiguration: Dank freiprogrammierbarer Stochiometrie, im Bereich von
Ti-Cr-Al-AlSi können alle Schichttypen mit
beliebiger Zusammensetzung ohne Kathodenwechsel abgeschieden werden.
Die Flagschiffe von PLATIT: Die π-Maschinen und
die Nanocomposite-Schichten
PLATIT AG
Moosstr. 68
CH-2540 Grenchen
Switzerland
Phone +41 (32) 654 26 00
Fax
+41 (32) 654 26 83
[email protected]
www.platit.com
AR-Industrievertretung
Lautlinger Weg 5
D-70567 Stuttgart
Germany
Phone +49 (711) 718 76340
Fax
+49 (711) 718 76344
[email protected]
Geschäftsgang 1999-2006
Business flow 1999-2006
President: Erich Blösch
CEO: Dr. Tibor Cselle
Team: 70 (in 2007)
Installationen/Installations:
170 in 27 Ländern/countries
60% Europe, 20% America, 20% Asia
Gegründet / Founded 1992
Machine parts with TiN and
nACVic®: nACRo®+CBC AICrN/SiN
+ DLC Nanocomposite coating
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
22
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 22
PRO-BEAM
Vor mehr als zehn Jahren
startete die pro-beam
Gruppe ihre ersten Aktivitäten auf dem Gebiet der
modernen Dünnschichttechnologie und hat sich in
diesem Zeitraum zu einem
der führenden Lohnanbieter für kohlenstoffbasierte
Hartstoffbeschichtungen
entwickelt.
Oberflächenschutz mit diadur®
Surface protection with diadur®
Ten years ago the pro-beam
group has started its first
activities in the field of
modern thin film technology
and is by now one of the
leading job coater for carbon
based hard materials.
Nockenwelle / Camshaft
Grundlage dieses Erfolges sind unsere diadur®
Schichtsysteme sowie die ständige Weiterentwicklung der zu ihrer Herstellung eingesetzten Verfahren.
Je nach den Erfordernissen die an die Schichtsysteme
gestellt werden und dem Einsatzgebiet, kommt ein
modifiziertes RF- oder ein neu entwickeltes DC-PulsPlasma Verfahren zur Anwendung. Neben einer
innovativen Verfahrenstechnik ist auch der Einsatz
moderner Steuerungsanlagen im Hinblick auf
Qualität und Reproduzierbarkeit der Beschichtungsergebnisse unverzichtbar. Die permanente Überwachung und Dokumentation der einzelnen Prozessschritte genügt nicht nur den hohen Anforderungen
einer Zertifizierung nach TS16949, wie sie in der
Automobilindustrie gefordert wird, sondern ist
notwendige Voraussetzung für die Prozessoptimierung und damit zur
Erhöhung der Produktivität in
der Lohnbeschichtung.
Mit diadur® als innovative Hartstoffbeschichtung
und einer, am neuesten Stand der Technik orientierten Fertigung, ist probeam auch für die Zukunft
bestens gerüstet, die anspruchvollen Aufgaben
This success is based on the diadur® coating
system as well as the continuing revolution at
the process technology used for its production.
Depending on the technical demands of the
coating system and the case of operation a
modified RF- or a newly developed DC-PulsePlasma procedure is applied.
Besides an innovative process technology modern
control systems are a major importance for coating
results with high quality and repeatability. The
automatic monitoring of the operating procedure
at any time is one of the requirements at the automotive industry and also a production standard in
the QS-Certification according to TS16949. Since
non productive time will be reduced and downtime minimized the productivity of a job coater
gets more efficient at the same time.
Hochwertige Konsumgüter
Premium consumer goods
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 23
PRO-BEAM
Gleitringdichtungen/Mechanical seals
seiner Kunden technisch perfekt und wirtschaftlich
zu lösen. In unserem Beschichtungs-Zentrum in
Planegg bei München betreibt pro-beam mit hoch
qualifizierten Mitarbeitern derzeit fünf PACVD(Plasma Activated Chemical Vapour Deposition)
Beschichtungsanlagen, eine vorgeschaltete moderne
Reinigungslinie für die nasschemische Reinigung
der Bauteile, sowie die notwendige Mess- und
Prüftechnik zur Charakterisierung der hergestellten
diadur® Schichten. Damit ist höchste Qualität und
Konformität der Beschichtung garantiert
Vorteile einer diadur® Beschichtung
In einem umweltfreundlichen Verfahren werden
diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC) aus der
Gasphase auf Werkzeug- oder Bauteiloberflächen
aufgedampft. Die besonderen Merkmale der im
Vakuum hergestellten Schichten, liegen in der extrem
hohen Mikrohärte (>2500HV), der außerordentlichen
Verschleißbeständigkeit und den exzellenten Gleitreibungseigenschaften (μ<0,15). Dadurch werden die
mit diadur® veredelten Komponenten ideal gegen
frühzeitige Abnutzung und Versagen geschützt. Die
chemische Struktur bewahrt Oberflächen zudem vor
korrosivem Angriff. Auf Werkzeuge aufgebracht verhindert die Beschichtung das Ankleben von Kunststoffen und behebt das Problem von Kaltaufschweißungen bei der Bearbeitung von Buntmetallen, wie
beispielsweise Aluminium. Diese Gebrauchseigenschaften – hohe Mikrohärte gepaart mit niedriger
Gleitreibung – kann von keinem anderen Schichtsystem gleichermaßen erfüllt werden und macht
kohlenstoffbasierte Hartstoffschichten insbesondere
für tribologische Anwendungen interessant. Das vielseitige Einsatzspektrum für diadur® erstreckt sich
unter anderem von der Automobil-, Werkzeug-, Textilund Konsumgüterindustrie bis hin zur Medizintechnik.
With diadur® as an innovative coating material and
a state-of-the-art production line pro-beam faces the
technical problems at the future. Simultaneously the
customers challenging requirements can be solved
in a technical as well as in an economical way. In our
Coating-Center in Planegg near Munich our highly
qualified staff members run five PACVD- (Plasma
Activated Chemical Vapour Deposition) Coaters, additionally a modern cleaning unit for preliminary cleaning of the parts and the essential measurement and
testing technology for the thin film characterisation
Kugelhahn/Ball valve
Benefits of diadur® Coating
Diamond-Like Carbon (DLC) will be deposited from
the chemical gas phase on tools or components in
an environ-mentally friendly procedure. The specific
characteristic of this coating is the extreme hardness
(>2500HV), the extraordinary wear resistance and the
excellent friction properties (μ<0.15). All with diadur®
refined surfaces will be perfectly protected against
CD-Werkzeug/Optical disk tool
early abrasion and failure. The chemical structure
prevents parts from corrosion. On tools, diadur®
reduces the tendency of plastic to stick and in case
Hauptsitz
of aluminium materials it also eliminates the problem Headquarter
of cold welding. These useful properties – high micro
pro-beam AG & Co. KGaA
hardness combined with low friction – can not be
Behringstraße 6
achieved by any other layer system except carbon
82152 Planegg bei München
based coatings. Particularly with regard to tribological Germany
applications, diadur® coatings is of special interest.
Phone +49 (0) 89 89 92 33-0
Fax
+49 (0) 89 89 92 33-11
Miscellaneous of possible applications ranges from
[email protected]
the automotive, tool manufacturing, textile and
www.pro-beam.de
consumer goods industry until the medicine technique.
Geschäftsführer
Manager
Nicolas Frhr. v. Wolff
Ansprechpartner
Contact person
Dr. Klaus Trojan
Phone +49 (0) 89 89 92 33-33
Fax
+49 (0) 89 89 92 33-11
[email protected]
Mitarbeiter
Employees
230
Umformwerkzeuge/Forming dies
23
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
24
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 24
SULZER METAPLAS
Kompetenz in Plasma –
Oberflächentechnik
Sulzer Metaplas - zertifiziert nach ISO/TS 16949:2002
- verfügt über jahrzehntelange Erfahrung in der
PVD-Beschichtungstechnik und der plasmagestützten
Wärmebehandlungstechnik. In beiden Bereichen
überzeugt das Unternehmen durch seine hohe Kompetenz; denn Sulzer Metaplas ist einer der weltweit
führenden Anlagenhersteller mit einer langjährigen
Tradition im Systemgeschäft und praxiserfahren
durch eigene Servicecenter für Lohnbehandlung,
die die Anwendungserfahrung sichern. Shop-inShop-Lösungen runden das Angebot ab. Die Sulzer
Metco – ein Unternehmensbereich der Sulzer AG,
Schweiz – unterstützt als Muttergesellschaft der
Sulzer Metaplas den stetigen Expansionskurs durch
ihre Finanz- und Investitionskraft.
Ob PVD-, Plasmawärmebehandlungtechnik oder
eine Kombination aus beiden die optimale Lösung
für Ihren Anwendungsfall darstellt, bei Sulzer Metaplas
bekommen Sie alles aus einer Hand – von kompetenter Beratung, Planung und Schulung bis hin zur
maßgeschneiderten Anlagentechnik. Dabei stehen
„Wirtschaftlichkeit und Qualität für den Kunden“ im
Vordergrund.
Weltweit sind viele Hunderte von Sulzer MetaplasAnlagen im Betrieb. Neben Anwendungen in der
Sulzer Metaplas – certified in accordance with
ISO/TS 16949:2002 – has decades of experience
in the area of PVD coating technology and plasma
supported heat treatment technology. In both
areas, the company convinces through its high
level of competence; because Sulzer Metaplas is
one of the worldwide leading systems manufacturers, with a long tradition in the system business
and with practical experience through its own
service centres for contract treatments which
ensure the necessary application experience.
Shop-in-shop solutions complete the offerings.
The company Sulzer Metco – a division of the
company Sulzer AG, Switzerland – supports as
the holding company of Sulzer Metaplas the
continual expansion through its financial power
and capital investment.
Whether PVD, plasma heat treatment technology
or a combination of both represents the optimum
solution for your specific application, at Sulzer
Metaplas you get everything from a single source –
from competent consulting, planning and training
up to tailor-made systems engineering. Here the
aspects of “economy and quality for the customer”
are at the focus. Many hundreds of Sulzer Metaplas
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 25
SULZER METAPLAS
Competence in Plasma –
Surface Technology
Forschung finden Turnkey-Lösungen von Sulzer
Metaplas in der Industrie, z.B. bei Automobilherstellern/Zulieferer, Werkzeugherstellern, Schleifereien und Lohnbehandlern sowie in dekorativen
Anwendungsfällen – ihren Platz.
Unsere weltweiten Vertretungen können schnell
und aktuell über unsere Internetseiten abgerufen
werden.
systems are being operated worldwide. Besides
applications in the area of research, turnkey
solutions from Sulzer Metaplas – for example, at
automotive manufacturers/suppliers, tool manufacturers, grinding vendors and contract treatment
vendors as well as in decorative applications – have
found their place in the industry. Please contact our
worldwide representatives directly or via internet.
Plasma-PVD-Anlagen
Bei den MAXIT®-Anlagen bietet Sulzer Metaplas
spezielle nach Kundenwunsch konzipierte Anlagentechnik. Darüber hinaus bietet Sulzer Metaplas
qualifiziertes Engineering für komplexe Produktionssysteme. Das Lieferspektrum umfaßt komplette
Anlagenfamilien – von der „Mini-Kompaktanlage“
für den Forschungs- und Laborbetrieb bis hin zu
großen Anlagensystemen und Sonderanlagen, die
für umfangreichere Beschichtungsvorgänge von
Serien und Großteilen geeignet sind.
Die Anlagen können ausgelegt werden:
• bis 2.700 kg Chargengewicht
• bis 4.000 mm Chargenlänge
• bis 1.600 mm Chargendurchmesser
Plasma PVD systems
For the MAXIT® systems, Sulzer Metaplas is offering
system engineering according to customer requirements. Beyond this, Sulzer Metaplas is offering
qualified engineering for complex production
plants. The range of products includes complete
system families – from the “miniature compact
system” for research and laboratory operation, up
to large-scale plants and special systems which are
suited for more comprehensive coating processes
of series manufactured and large parts. These
systems can be designed to handle the following:
• batch weight up to 2,700 kg
• batch length up to 4,000 mm
• batch diameters up to 1,600 mm
Plasma-Wärmebehandlungsanlagen
Plasma-Kombinationsbehandlungsanlagen
Den gestellten Anforderungen und Kundenwünschen
folgend sind die IONIT® und IONIT OX®-Anlagen
als Hauben-, Schacht- oder Kammerofenanlagen
ausgeführt. Abhängig von den geforderten Kapazitäten können Singleanlagen, Tandemanlagen
oder Multianlagen in allen gewünschten Abmessungen angeboten werden.
Bisher realisiert wurden Anlagen:
• bis 30 Tonnen Chargengewicht
• bis 22.000 mm Chargenlänge
• bis 4.000 mm Chargendurchmesser
Plasma heat treatment systems Plasma
Combination treatment systems
In line with the requirements and as demanded
by our customers, the IONIT® and IONIT OX®
systems are implemented as bell, pit or horizontal
type furnaces. Depending on the demanded
throughput, single systems, tandem systems or
multiple systems can be offered in all required sizes.
Systems implemented to date:
• batch weight up to 30 tonnes
• batch length up to 22,000 mm
• batch diameter up to 4,000 mm
25
Hauptsitz
Headquarter
Bergisch Gladbach
Am Böttcherberg 30-38
51427 Bergisch Gladbach
Germany
Phone +49 (0)2204/299-0
Fax
+49 (0)2204/299-266
[email protected]
www.sulzermetco.com
Salzgitter
Theodor-Heuss-Straße 63
38228 Salzgitter
Germany
Hohenlockstedt
Deutsch-Ordens-Straße 7
25551 Hohenlockstedt
Germany
Niederwürschnitz
Stollberger Straße 40
09399 Niederwürschnitz
Germany
Woonsocket
Sulzer Metaplas (US) Inc.
222 Goldstein Drive
Woonsocket RI 02895
USA
Shanghai
Sulzer Metco Surface Technology
(Shanghai) Co. Ltd.
666 Min Bei Road Minhang,
Shanghai 201107
P.R.China
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 26
VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH
Die intelligentere Art der Beschichtung
The smarter solution in coating
Hersteller von technologie- und kundenspezifischen Vakuum-Beschichtungssystemen
VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GmbH
Manufacturer of customer oriented vacuum
coating systems and technologies
• Metallisierungssysteme für Kunststoffe, Glas,
Keramik und Metalle
• Hartstoffbeschichtungssysteme für spanabhebende sowie Formwerkzeuge
• Optikbeschichtungssysteme für die feinoptische Vergütung im VIS, Anwendungen im
UV-Spektrum, astronomische Applikationen,
Spezialreflektoren und Filter
• Batch- und Inlinesysteme für die dekorative
Hartstoffbeschichtung
• Sondersysteme für Plasmabehandlung,
Oberflächenaktivierung, Wärmebehandlung,
Vakuumgießen
• Labortechnik für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten unter Nutzung verschiedener
Beschichtungsverfahren
• Komponenten für die Vakuumbeschichtungstechnik (Elektronenstrahlquellen, Ionenquellen,
Bogenquellen, Hohlkatodenplasmaquellen)
• Beschichtungsleistungen: Muster- und Lohnbeschichtungen im eigenen Technikum
• Metallization systems for plastics, glass,
ceramics and metals
• Hard material coating systems for metalcutting and form tools
• Optical coating systems for coatings in the
visible range, applications in the UV spectrum,
astronomical applications, special reflectors
and filters
• Batch and inline systems for decorative hard
material coating
• Special-purpose systems for plasma treatment,
surface activation, heat treatment, vacuum
casting
• Laboratory technology for research and development work using different coating processes
• Components for vacuum coating technology
(electron-beam sources, ion sources, arc plasma
sources, hollow-cathode plasma sources)
• Coating services: Sample and contract coating
in our own pilot plant
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 27
VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH
27
VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GmbH
Bismarckstrasse 66
D-01257 Dresden
Germany
Phone +49 (0) 351 28 05 -0
Fax
+49 (0) 351 28 05 240
[email protected]
www.vtd.de
Zum Leistungspaket zählen:
• Technologische Systemlösungen
• Anwendungsspezifische, technische Umsetzung
• Schneller und qualifizierter Service sowie
Ersatzteilversorgung
• Umfangreiche Anwenderschulung und technologisches Training
Geschäftsführer
Managing Director
Albrecht Riess; Klaus-Dieter Steinborn
Gründungsjahr
Year of Foundation
1991
Our service package comprises:
• Technological system solutions
• Application-specific, technical implementation
• Quick and qualified customer service as well as
spare parts supply
• Comprehensive technological and user training
Die Grundausrüstungen können Vakuumkammern
von 250 mm bis 2.800 mm Durchmesser umfassen.
Zum Leistungspaket zählen die garantierten
technischen und technologischen Spitzenwerte,
hohe Produktivität und Zuverlässigkeit der
Anlagen sowie ein schneller und qualifizierter
Service.
In unserer eigenen Forschungs- und Entwicklungsabteilung beschäftigt sich ein Team hervorragend
ausgebildeter Wissenschaftler mit der ständigen
Neu- und Weiterentwicklung von vakuumtechnischen Erzeugnissen.
Unsere PVD-Hartstoffbeschichtungs-, Metallisierungs-, Optik- und Sonderanlagen sind in allen
Bereichen der Wirtschaft einsetzbar.
The basic equipment can comprise vacuum
chambers of diameters from 250 to 2,800 mm.
Our performance package also includes approved
technical and technological peak values, a highproductivity and reliability of the plants and a
fast and good service.
In our own research and development department
a team of excellently educated scientists are
permanently occupied with new and further
developments of vacuum engineering products.
Our PVD hard material coating, metallization,
optical and special vacuum plants can be used
in all branches of the economy.
DREVA 600 Hartstoffbeschichtungssystem
DREVA 600 Hard material coating systems
DREVA 1400 Optikbeschichtungssystem
DREVA 1400 Optical coating system
Mitarbeiter
Employees
84
Zertifizierung
Certificate
DIN EN ISO 9001:2000
Neue Generation vollautomatisierter
Metallisierungsanlagen New generation
of fully automated metallization plants
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
10:42 Uhr
Seite 28
14 16
Unternehmensprofil auf Seite
Company profile on page
Anwendungen
Applications
Oberflächenfunktionen
Surface functions
Abschirmung (EMV)
shielding (EMC)
Antistatik
antistatic
Benetzbarkeit (Reinigung, Entfettung, Aktivierung)
wettability (cleaning, degreasing,activation)
Bioverträglichkeit
bio-compatibility
●
Dekoration
decoration
●
Elektrische Eigenschaften (Leiter, Nichtleiter)
electrical properties (conduct./non-conduct.)
●
Korrosionsschutz
corrosion protection
opt. Eigenschaften (z.B. Entspiegelung, Farbfilter)
optical properties (e.g. demirroring, colour filter)
●
Permeationssperre
permeation blocking (inhibition)
●
Reflexion von Wärmestrahlung
reflection of thermal radiation
Verschleißschutz
wearing protection
Reibungsminderung
friction reduction
Grundwerkstoffe
Substrates
Glas
glass
●
●
●
●
●
Halbleiter
semiconductors
●
●
●
●
●
Keramiken
ceramics
●
●
●
●
●
Kunststoffe
plastics/synthetic materials
●
●
●
●
●
Leiterplatten
printed circuits
●
●
●
●
Naturfasern
natural fibre
Nichteisenmetalle
non-ferrous metals
Papier
paper
Stahl/Hartmetalle
steel/hard alloys
●
Superlegierungen
superalloys
●
Werkstückgeometrien
Workpiece geometries
Band/Folie
Faden/Draht
Gewebe/Vliese
woven & non-woven fabrics
●
●
●
Schüttgut
bulk material
●
●
●
Stückgut
unit loads
●
●
●
Tafel
plates/slabs
●
●
●
Schichtmaterialien
Coating materials
amorphe Kohlenstoffe
amorphous (non-crystalline) carbon
●
Keramiken
ceramics
●
Metalle
metals
Polymere
polymers
●
●
●
Sonstige
others
●
●
●
18 20 22
VTD VACUUMTECHNIK DRESDEN GmbH
SULZER METAPLAS
Rübig GmbH & Co. KG
PVA TePla AG
pro-beam AG & Co. KGaA
Platit AG
PlaTeG GmbH
PLASMA-finish GmbH
Oerlikon Balzers Coating Germany GmbH
iplas Innovative Plasma Systems GmbH
IKOS GmbH Beschichtungstechnologie
ELTRO GmbH Plasma-Wärmebehandlung
CemeCon AG
LIEFERVERZEICHNIS/LIST OF SUPPLIERS
ALD Vacuum Technologies GmbH
28
26.07.2007
24 26
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
coil/foil strip
●
●
thread/wire
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 29
29
Unternehmensprofil auf Seite
Company profile on page
Komponenten und Anlagen
Components and Plants
Gesamtanlagen für:
Complete plants for:
Plasma-Ätzen/-Aktivieren
plasma etching/plasma activation
Plasma-CVD-Beschichtung
plasma CVD-coating
Plasma-Diffusion (-Wärmebehandlung)
plasma-diffusion (heat-treatment)
14 16
●
●
* Plasma-Borieren
* plasma-treatment with boron
* Plasma-Carburieren (Aufkohlen)
* plasma-carburizing
●
* Plasma-Nitrieren
* plasma-nitriding
●
* Plasma-Oxidieren
* plasma-oxidizing
* Plasma-Sterilisation
* Sonstige
18 20 22
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
24 26
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
* plasma-sterilisation
●
●
* others
●
plasma polymerization
Plasma-Reinigung/-Entfettung
plasma cleaning/degreasing
Plasma-PVD-Beschichtung
plasma-PVD-coating
Sonstige
others
Generatoren
Generators
●
Vakuumkomponenten
Vacuum components
●
Zubehör Beschichtungstechnik
Supply for coating technology
Dienstleistungen
Services
Anwendungsberatung
Application consulting
●
Bemusterung
Supply of samples
●
Lohnbehandlung/-beschichtung mittels:
Job coating/surface treatment using:
Plasma-Ätzen/-Aktivieren
Plasma-Diffusion (-Wärmebehandlung)
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
Plasma-Polymerisation
●
SULZER METAPLAS
Rübig GmbH & Co. KG
PVA TePla AG
pro-beam AG & Co. KGaA
Platit AG
PlaTeG GmbH
PLASMA-finish GmbH
Oerlikon Balzers Coating Germany GmbH
iplas Innovative Plasma Systems GmbH
IKOS GmbH Beschichtungstechnologie
ELTRO GmbH Plasma-Wärmebehandlung
CemeCon AG
ALD Vacuum Technologies GmbH
LIST OF SUPPLIERS/LIEFERVERZEICHNIS
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
plasma etching/plasma activation
●
●
plasma-diffusion (heat-treatment)
●
* Plasma-Borieren
* plasma-treatment with boron
●
* Plasma-Carburieren (Aufkohlen)
* plasma-carburizing
●
* Plasma-Nitrieren
* plasma-nitriding
●
●
* Plasma-Oxidieren
* plasma-oxidizing
●
●
* Plasma-Sterilisation
* plasma-sterilisation
* Sonstige
●
●
●
●
●
●
plasma polymerization
Plasma-Reinigung/-Entfettung
plasma cleaning/-degreasing
Plasma-PVD-Beschichtung
plasma-PVD-coating
Plasma-CVD-Beschichtung
plasma-CVD-coating
Sonstige
others
Oberflächen-und Dünnschichtanalytik
Surface and thin-film analysis
QS-Beratung
Quality assurance consulting
Schulung
Training
Verfahrensentwicklung
Process development
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
* others
Plasma-Polymerisation
VTD VACUUMTECHNIK DRESDEN GmbH
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
30
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 30
ADRESSEN/ADDRESSES
Adressen
Addresses
ALD Vacuum Technologies GmbH
Wilhelm-Rohn-Str- 35
63450 Hanau
Germany
iplas Innovative Plasma Systems GmbH
Langbaurghstr. 10
53842 Troisdorf
Germany
Phone
Fax
e-mail
Internet
Phone
Fax
e-mail
Internet
+49 (0) 61 81 3 07-0
+49 (0) 61 81 3 07-32 90
[email protected]
http://www.ald-vt.de
+49(0) 22 41 9 32 68-0
+49(0) 22 41 9 32 68-15
[email protected]
http://www.cyrannus.de
CemeCon AG
Adenauerstr. 20 B1
52146 Würselen
Germany
Oerlikon Balzers Coating Germany GmbH
Am Ockenheimer Graben 41
55411 Bingen
Germany
Phone
+49 (0) 24 05 44 70 - 160
Fax
+49 (0) 24 05 44 70 - 1 99
e-mail: [email protected]
Internet: http://www.cemecon.de
Phone
Fax
e-mail
Internet
DAS Dünnschicht Anlagen Systeme
GmbH Dresden
Gostritzer Str. 61 - 63
01217 Dresden
Germany
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Str. 43
35614 Asslar
Germany
Phone
Fax
e-mail
Internet
+49 (0) 3 51 8 71 86 88
+49 (0) 3 51 8 8 71 87 26
[email protected]
http://www.das-europe.com
ELTRO GmbH
Arnold-Sommerfeld-Ring 3
52499 Baesweiler
Germany
Phone
Fax
e-mail
Internet
+49 (0) 24 01 80 97-0
+49 (0) 24 01 80 97-15
[email protected]
http://www.eltropuls.de
IKOS GmbH Beschichtungstechnologie
Industriestr. 3
63811 Stockstadt
Germany
Phone
Fax
e-mail
Internet
+49 (0) 60 27 40 10 59
+49 (0) 60 27 40 10 71
[email protected]
http://www.ikos-dynamant.de
Phone
Fax
e-mail
Internet
+49 (0) 67 21 79-30
+49 (0) 67 21 23-74
[email protected]
http://www.balzers.de
+49 (0) 64 41 8 02-437
+49 (0) 64 41 8 02-500
[email protected]
http://www.pfeiffer-vacuum.net
PINK GmbH Vakuumtechnik
Am Kessler 6
97877 Wertheim
Germany
Phone
Fax
e-mail
Internet
+49 (0) 93 42 9 19-0
+49 (0) 93 42 9 19-1 12
[email protected]
http://www.pink.de
PLASMA - finish GmbH
Berliner Str. 126a
16303 Schwedt/Oder
Germany
Phone
Fax
e-mail
Internet
+49 (0) 33 32 53 89-28/20
+49 (0) 33 32 53 89-35
[email protected]
http://www.plasma-finish.com
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 31
ADDRESS/ADRESSEN
PlaTeG GmbH
Industriestr. 13
57076 Siegen
Germany
SULZER METAPLAS
Am Böttcherberg 30-38
51427 Bergisch Gladbach
Germany
Phone
Fax
e-mail
Internet
Phone
Fax
e-mail
Internet
+49 (0)2 71 7 72 41-0
+49 (0)2 71 7 72 41-33
[email protected]
http://www.plateg.de
+49 (0) 22 04 2 99-0
+49 (0) 22 04 2 99-2 66
[email protected]
http://www.sulzermetco.com
Platit AG
Moosstr. 68
2540 Grenchen
Switzerland
VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GmbH
Bismarckstr. 66
01257 Dresden
Germany
Phone
Fax
e-mail
Internet
Phone
Fax
e-mail
Internet
+41 32 6 54 26-00
+41 32 6 54 26-83
[email protected]
http://www.platit.com
pro-beam AG & Co. KGaA
Behringstr. 6
82152 Planegg
Germany
Phone
Fax
e-mail
Internet
+49 (0) 89 89 92 33-33
+49 (0) 89 89 92 33-11
[email protected]
http://www.pro-beam.de
PVA TePla AG
Hans-Riedl-Str. 5
85622 Feldkirchen
Germany
Phone
Fax
e-mail
Internet
+49 (0) 89 9 05 03-0
+49 (0) 89 9 05 03-1 00
[email protected]
http://www.pvatepla.com
Rübig GmbH & Co. KG
Schafwiesenstr. 56
4600 Wels
Austria
Phone
Fax
e-mail
Internet
+43 72 42 2 93 83-0
+43 72 42 2 93 83-9
[email protected]
http://www.rubig.com
+49 (0) 3 51 28 05-0
+49 (0) 3 51 28 05-2 40
[email protected]
http://www.vtd.de
http://www.vtd-dresden.com
31
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
32
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 32
NACHWORT/EPILOGUE
Nachwort
Epilogue
Seit 1994 ist die Industrielle Plasma-Oberflächentechnik als Querschnitts- und Schlüsseltechnologie
fester Bestandteil der Fachabteilung Oberflächentechnik. Heute entfallen ca. ein Viertel der in der
Fachabteilung Oberflächentechnik engagierten
Firmen auf die Industrielle Plasma-Oberflächentechnik.
Dr. Martin Riester
In der Fachabteilung Oberflächentechnik sind
77 Hersteller bzw. Anbieter von Komponenten,
Systemen und Anlagen der Oberflächentechnik
organisiert. Die Branche ist insgesamt stark
mittelständisch geprägt – bei einigen wenigen
im Großanlagenbau dominierenden Systemanbietern.
Den thematischen Schwerpunkt der Fachabteilung
bildet der gesamte Bereich der handwerklichen
und industriellen Lackiertechnik, einschließlich
Vorbehandlung und Trocknung.
Marion Schädlich
Die VDMA Industrielle Plasma-Oberflächentechnik
ist als verbandlich organisierte Interessenvertretung
der Branche seit 1995 etabliert. Die Aktivitäten
sind auf die Interessen der Industrie ausgerichtet.
Im Vordergrund steht dabei die Erschließung
neuer Kundenbrachen für bereits etablierte und
erfolgreich in der industriellen Produktion eingesetzte Verfahren. Zur Förderung der Industriellen
Plasma-Oberflächentechnik ist der Arbeitskreis
mit Forschungsvereinigungen, Foren und Fachverbänden des VDMA vernetzt. Mit gemeinschaftlicher Öffentlichkeitsarbeit hat der Arbeitskreis
die Branchenidentität der Industriellen PlasmaOberflächentechnik erfolgreich aufgebaut und
die Wahrnehmung in Industrie, Forschung und
Politik erreicht.
Since 1994, Industrial Plasma-Surface Treatment
Technology, as a key technology spanning all
sectors, has been a fixed part of the specialist
category, Surface Treatment. About a fourth of
companies involved in the specialised category,
Surface Treatment, are involved in Industrial
Plasma-Surface Treatment.
In the Surface Treatment Group, 77 manufacturers
of suppliers of components, systems and plants
are organised. Altogether, the sector is
characterised to a great degree by medium-sized
businesses and in a few cases system suppliers
dominate in major plant constructions.
The VDMA Plasma-Surface Technology section,
which is well-established in the branch since
1995, is an associated organised representation
of interests. The activities are focussed on the
interests of the industry. In the foreground, the
developing of new branches of trade is centred for
already successfully inserted procedures within
the industrial production. For advancement of
Industrial Plasma-Surface Technology the
working group is connected with research
aggregations, forums and other specialised
departments within the VDMA. Through
common public relations the working group has
established the identity of Industrial PlasmaSurface Technology successfully and has reached
the perception in industry, policy and research.
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 33
Impressum
Imprint
© Copyright by
Herausgeber/Editor
Allgemeine Lufttechnik
Fachabteilung Oberflächentechnik
Lyoner Straße 18
60528 Frankfurt am Main
Germany
Telefon +49 69 6603-1291
Fax
+49 69 6603-2291
E-Mail [email protected]
Internet www.vdma.org/ipo
www.vdma.org/oberflaeche
Redaktion/Editorial
Marion Schädlich
Fachabteilung Oberflächentechnik
Specialised Section for surface treatment
Layout
DesignStudio, VDMA
Satz und Druck
h. reuffurth gmbh
Mühlheim am Main
www.reuffurth.de
Stand: April 2007
128319_VDMA_Oberflaechentechnik_K4
26.07.2007
10:42 Uhr
Seite 1
VDMA
Oberflächentechnik
Lyoner Straße 18
60528 Frankfurt am Main
www.vdma.org/ipo
www.vdma.org/oberflaeche
Titel VDMA, Design Studio
Contact
Dr. Martin Riester
Phone + 49 69 66 03-12 91
Fax
+ 49 69 66 03-22 91
E-Mail [email protected]

Documentos relacionados