Grazing incidence XRF (GIXRF) von leichten Elementen

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Grazing incidence XRF (GIXRF) von leichten Elementen
Thema
für
Projekt/Bachelorarbeit:
Grazing
incidence
XRF
(GIXRF)
von
leichten
Elementen
GIXRF
(GI-
X-ray
zerstörungsfreien
Fluorescence
Bestimmung
Analysis)
von
ist
eine
Tiefenprofilen
röntgenanalytische
und
ultradünnen
Methode
Schichten
zur
in/auf
reflektierenden Oberflächen (zB. Si Wafern), hautpsächlich im Bereich der Halbleiterindustrie
angewendet. Dabei wird die Winkelabhängigkeit des Fluoreszenzsignals der Probe gemessen
und durch Vergleich mit dem theoretischen Verlauf die Implantationstiefe, die implantierte
Dosis, bzw. die Schichtdicke und
die Dichte der dünnen Schicht bestimmt. Die
energiedispersive Messung der sogenannten Leichten Elmente ( wie Kohlenstoff, Sauerstoff,
Natrium, Magnesium, Aluminium) ist mit einer Reihe von Schwierigkeiten verbunden, die durch
Verwendung eines speziell entwickelten Spektrometers überwunden werden können. Dieses
soll nun unter Verwendung eines neuen Detektors (Silicon Drift Detektor mit ultradünnem
Fenster) auf die GIXRF von leichten Elementen erweitert werden.
Im Rahmen der PrA soll das vorhandene LowZ-TXRF Vakuum Spektrometer mit einem SDD mit
UTW getestet werden, ob GIXRF mit diesem möglich ist.
KONTAKT:
ao. Univ. Prof. DI Dr. Christina STRELI
Atominstitut,
Strahlenphysik
T: 0043-1-588 01-141330
E-mail: [email protected]
Internet: http://www.ati.ac.at/xrp
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