Grazing incidence XRF (GIXRF) von leichten Elementen
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Grazing incidence XRF (GIXRF) von leichten Elementen
Thema für Projekt/Bachelorarbeit: Grazing incidence XRF (GIXRF) von leichten Elementen GIXRF (GI- X-ray zerstörungsfreien Fluorescence Bestimmung Analysis) von ist eine Tiefenprofilen röntgenanalytische und ultradünnen Methode Schichten zur in/auf reflektierenden Oberflächen (zB. Si Wafern), hautpsächlich im Bereich der Halbleiterindustrie angewendet. Dabei wird die Winkelabhängigkeit des Fluoreszenzsignals der Probe gemessen und durch Vergleich mit dem theoretischen Verlauf die Implantationstiefe, die implantierte Dosis, bzw. die Schichtdicke und die Dichte der dünnen Schicht bestimmt. Die energiedispersive Messung der sogenannten Leichten Elmente ( wie Kohlenstoff, Sauerstoff, Natrium, Magnesium, Aluminium) ist mit einer Reihe von Schwierigkeiten verbunden, die durch Verwendung eines speziell entwickelten Spektrometers überwunden werden können. Dieses soll nun unter Verwendung eines neuen Detektors (Silicon Drift Detektor mit ultradünnem Fenster) auf die GIXRF von leichten Elementen erweitert werden. Im Rahmen der PrA soll das vorhandene LowZ-TXRF Vakuum Spektrometer mit einem SDD mit UTW getestet werden, ob GIXRF mit diesem möglich ist. KONTAKT: ao. Univ. Prof. DI Dr. Christina STRELI Atominstitut, Strahlenphysik T: 0043-1-588 01-141330 E-mail: [email protected] Internet: http://www.ati.ac.at/xrp Seite 1 / 1