Manual de instruções D026-01-856

Figura 1 – Visão geral do APG100
Manual de instruções
Materiais expostos a vácuo
Filamento
D026-01-856
Edição A, Esboço 1
Aferidor Pirani ativo APG100
APG100-XM
Tungstênio / Rênio
APG100-XLC
Platina / Irídio
Tubo
Aço inoxidável 316L e 304L
Filtro
Aço inoxidável 316L
Outro
Vidro, Ni, NiFe, PTFE
(somente para APG100-XLC)
O APG100 pode ser montado em qualquer orientação, no entanto, os
tubos do aferidor são individualmente calibrados de fábrica em
nitrogênio enquanto estão na vertical. Para obter a indicação de
pressão correta na orientação do aferidor escolhida, o aferidor
deverá ser recalibrado na pressão atmosférica. A Edwards recomenda
montar o tubo do aferidor na vertical para minimizar o acúmulo de
substâncias particuladas do processo e de vapores condensáveis
dentro do aferidor.
Para obter ótima precisão, é recomendável fazer o ajuste
da atmosfera e do vácuo antes de usar o equipamento. Consulte
a seção Manutenção.
Operação
Entre em contato com qualquer uma destas
empresas para obter detalhes de outros centros de
venda e serviços em sua área.
AVISO
Não use o APG100 para medir a pressão de gases
ou misturas explosivas ou inflamáveis. O aferidor
contém um filamento aquecido que opera
normalmente com temperatura cerca de 100 °C
acima da temperatura ambiente. A temperatura
do filamento pode ser significativamente mais
alta sob condições de falha.
Europa
Américas
Manor Royal, Crawley,
West Sussex, RH10 2LW
301 Ballardvale Street,
Wilmington, MA 01887
Tel: + 44 1293 528844
Canadá
5860 Chedworth Way
Mississauga Ontario,
Canadá, L5R 0A2
Tel: +1 978 658 5410
Brasil
Rua Bernado Wrona,
222 02710-060,
São Paulo-SP
Brasil
Quando o APG100 estiver conectado a uma fonte de alimentação,
o LED de status ficará âmbar por aproximadamente dois segundos.
Se o aferidor estiver operando corretamente, o LED de status ficará
verde. Caso seja detectado um erro, o LED ficará vermelho.
Consulte o guia de detecção de falhas.
Tel: +1 800 387 4076
Bélgica
Bergensesteenweg 709
B 1600 Sint-Pieters-Leeuw
Tel: +55 11 3952 5000
Itália
Via Carpaccio 35
20090 Trezzano sul Naviglio,
Milão
Se o aferidor estiver conectado a um controlador Edwards, o visor
indicará a pressão medida.
Tel: +32 2 363 0030
Alemanha
Ammerthalstraße 36 85551
Kirchheim, Munique
Tel: +39 02 48 4471
França
125 Avenue Louis Roche
92238 Gennevilliers, Cedex,
Paris
Tel: 0 800 000 1456
Israel
5 Habarzel Blvd
Gat 2000 Industrial Zone
Qiryat Gat 82000
Tel: +33 147 98 24 01
China
23 Fu Te Road (N)
Wai Gao Qiao
Free Trade Zone
Pudong, Shanghai
200131 PRC China
Tel: +972 8 681 0633
Tel: +86 21 5866 9618
Japão
1078-1, Yoshihashi
Yachiyo-shi, Chiba
Japão, 276-8523
Cingapura
42 Loyang Drive
Loyang Industrial Estate
Cingapura 508962
Tel: +81 47 458 8831
Taiwan, R.O.C.
No. 434 Chung hua Road
Toufen Town,
Miaoli County
351 Taiwan
Tel: +65 6546 8408
Coreia
Daewoo Engineering
Building
5th Floor
9-3 Soonae-dong
Bundang-gu,
Sungnam City
Kyungki-do, Coreia
Para conectar o APG100 ao sistema de vácuo:
• Use um anel de retenção/anel centralizador ou uma vedação
auxiliar para conectar um APG100 com flange NW16 ou NW25
a um flange similar no sistema de vácuo.
• Use um transportador de anel de retenção escalonado ou uma
vedação auxiliar para conectar um APG100 com flange NW16
a um flange NW10.
De acordo com a prática recomendada, seu sistema de vácuo deve
ter uma conexão de aterramento (terra) segura e o tubo do APG100
deve estar eletricamente conectado ao sistema de vácuo.
Conectar a um controlador Edwards
O APG100 é compatível com os controladores digitais TIC e ADC e com
o visor analógico AGD Edwards. Os controladores reconhecerão
automaticamente o aferidor e exibirão a pressão medida.
Número do item
D026-02-000
APG100 - XLC NW16
D026-03-000
1.
2.
APG100 - XLC NW25
D026-04-000
3.
4.
5.
6.
Conector elétrico
Botão do ponto de
operação
Botão Cal
Para conectar a um controlador Edwards, use um cabo terminado
com os conectores adequados. Esses cabos estão disponíveis
na Edwards.
LED de status
Gabinete eletrônico
Flange de vácuo
Introdução
Dados técnicos
Escopo e definições
Dados mecânicos
Este manual oferece instruções de instalação, operação
e manutenção para o Aferidor Pirani ativo APG100. O APG100
deve ser utilizado conforme especificado neste manual.
Dimensões
AVISO
Avisos significam que a não observância da
instrução pode resultar em ferimentos ou morte.
CUIDADO
Cuidados significam que a não observância da instrução
pode resultar em danos aos equipamentos, equipamentos
associados e ao processo.
Versões NW25
Aviso – consulte os documentos associados.
A Edwards oferece a seus clientes europeus
um serviço de reciclagem.
85 g
Um diagrama esquemático das conexões elétricas recomendadas
com o APG100 é mostrado na Figura 4. Os pinos no conector
elétrico são usados como mostra a Tabela 1. Consulte a seção
Dados técnicos para obter especificações mais detalhadas.
100 g
Volume interno do tubo
5 cm3
Classificação do invólucro
IP40
Condições de desempenho, operacionais
e de armazenamento
APG100-XM
10-3 a 1.000 mbar
APG100-XLC
10-4
geralmente,  15% a < 100 mbar
APG100-XLC
geralmente,  15% a < 10 mbar
Uma visão geral do aferidor é mostrada na Figura 1. O aferidor
tem um tubo separável que pode ser substituído no caso de
contaminação ou falha do filamento. Existem dois botões de
pressão na parte superior do aferidor. O botão com o rótulo “CAL”
é utilizado para calibração da atmosfera e do vácuo e o botão
“S/P” é usado para ajustar o limiar do ponto de operação.
Armazenamento
-30 a +70 °C
2
Aterramento da alimentação elétrica (0 V)
3
Sinal de saída da medida de pressão
4
Identificação do aferidor
5
Aterramento de sinal
6
Sinal de saída do ponto de operação
7
Entrada de calibração remota
8
Não conectado
Temperatura de cozimento 150 °C
(com gabinete eletrônico removido)
Umidade
80% de umidade relativa até 31 °C,
caindo linearmente para 50% de
umidade relativa a 40 °C ou mais
Altitude máxima
3.000 m (somente uso interno)
Pressão interna máxima
10 bar absoluto (aferidor de 9 bar)
Temperatura do filamento
100 °C acima da temperatura
ambiente
Página 4
1
1E-4
1E-3
1E-2
1E-1
1E+0
1E+1
1E+2
Figura 4 – Conexões elétricas recomendadas
Desembalagem e inspeção
mínima de 13,5 V
Remova todos os materiais de embalagem e tampas protetoras.
Verifique o APG100. Se o APG100 estiver danificado, notifique seu
fornecedor e transportadora por escrito dentro de três dias: informe
o Número do item do aferidor, o número do seu pedido e o número
da fatura de seu fornecedor. Guarde todos os materiais de
embalagem para inspeção. Não use o APG100 se estiver danificado.
9
mbar
8
Torr
7
FCC68 / RJ45 de 8 vias
Sinal de saída de pressão
Faixa
1,9 a 9,1 V
Faixa de erro
saída < 1,8 V ou saída > 9,2 V
Impedância mínima
de carga
10 k
Corrente máxima
de saída
1 mA
1,8 a 9,2 V
Histerese
500 mV
Classificação máxima
de carga externa
30 Vcc, 100 mA
Resistência de
identificação do aferidor
APG100-XM
36 k
APG100-XLC
43 k
Página 5
1E+4
1E+5
Pa
Se o APG100 não for ser usado imediatamente, substitua as tampas
protetoras. Armazene o APG100 em condições adequadas, conforme
descrito na seção Dados técnicos.
Instalar o APG100 em um sistema de vácuo
AVISO
Use uma vedação auxiliar ou um transportador
de anel de retenção confinado para conectar
um APG100 a um sistema de vácuo caso haja
possibilidade da pressão exceder a pressão
atmosférica. Os anéis centralizadores padrão
não são adequados para uso acima da pressão
atmosférica.
AVISO
Não use o APG100 para aplicações críticas de
segurança. O APG100 não foi projetado à prova
de falhas.
Página 8
Tel: +81 47 458 8831
Tel: +65 6546 8408
Austrália
1688 Ipswich Road Rocklea QLD, 4106 Austrália
Tel: +61 7 3212 4308
Ásia Pacífico
Local e telefone de contato Endereço
6
5
3
1
1E-4
1E-3
1E-2
1E-1
1E+0
1E+1
1E+2
1E+3
1E+4
Cingapura
Tel: +65 65 468408
Edwards Technologies Ltd
42 Loyang Drive
Loyang Industrial Estate
Cingapura 508962
Coreia
Tel: +82 416 217070
Song Won Edwards Ltd
Chunan A/S Center
625-7 Upsung-dong
Chunan City
Chungchong Nam-do
Japão
Tel: +81 265 745500
Edwards Japão
2460-10 AZA Higashihara
Oaza Nishiminowa
Ina City Nagano
Pref. (399-45)
Tailândia
Tel: +66 24 286894
Edwards (divisão da
Thai Ind Gases Co Ltd)
15th Floor, Bangna Tower
2/3 Moo 14, Banga-Trad Road Km6.5
Bangplee
Samutprakarn 10541
Bancoc
Taiwan
Tel: +886 376 11422
Edwards (Taiwan) Ltd
No. 434, Chung-hua Road
Toufen Town
Miaoli County
Taiwan 351, R.O.C
China
Tel: +86 2158 669618
Edwards Trading (Shanghai) Co. Ltd
23 Fu Te Road (N)
Wai Gao Qiao Free Trade Zone
Pudong
Shanghai 200131
República Popular da China
Índia
Tel: +91 22 256 51177
Edwards India Pvt Ltd
526, Corporate center
Nirmal Lifestyle
Mulund (oeste)
Mumbai
400080
Índia
1E+5
Pressure
Dependência de gás
O APG100 é calibrado para uso em nitrogênio e lerá corretamente com
ar seco, oxigênio e monóxido de carbono. Para qualquer outro tipo de
gás, é necessária conversão para obter a leitura correta da pressão.
As Figura 7 e 8 mostram a conversão referente a seis gases comuns:
nitrogênio, argônio, dióxido de carbono, hélio, criptônio e neônio.
Se você estiver usando um controlador TIC Edwards, os dados de
calibração de gás estão integrados ao controlador.
Página 13
Figura 7 – Dependência de gás do APG100-XM
1E+3
He
Corrente inicial de pico 150 mA
máxima
1E+3
Pressure
Página 10
Instalação
Ponto de operação
Página 2
Página 7
15 a 30 Vcc nominal
máxima de 32 V
Faixa de ajuste
2
Uso
Alimentação elétrica positiva
Conector elétrico
3
2
1
Consumo máximo de energia 1 W
4
Tabela 1 – Conector elétrico
Número do pino
O APG100 está disponível em duas versões: a versão ‘M’ pode
medir pressão até 10-3 mbar e é adequado para aplicações
gerais; a versão ‘LC’ pode medir pressão abaixo de 10-4 mbar
e também é adequado para uso em aplicações corrosivas.
5
4
5 a 60 °C
O APG100 é um aferidor Pirani que mede pressões de vácuo na
faixa de 10-4 mbar a 1.000 mbar. Ele opera usando o princípio
de condutividade térmica, em que a taxa de perda de calor de
um filamento aquecido depende da pressão do gás que circunda
o filamento.
Pa
6
10
Em operação
Tensão de alimentação
elétrica
Torr
7
a 1.000 mbar
APG100-XM
Dados elétricos
mbar
8
Figura 6 – Conversão de tensão em pressão do APG100-XLC
Precisão
Descrição
9
Figura 3 – Conector RJ45 de 8 vias
Faixa de medição
Página 1
Figura 5 – Conversão de tensão em pressão do APG100-XM
10
Não estabeleça conexão com o pino de identificação
do aferidor (pino 4), pois isso pode provocar mau
funcionamento do equipamento.
N2
Ne
1E+2
1E+1
CO2
Ar
1E+0
Kr
CO2
1E-1
1E-2
1E-2
1.
2.
3.
4.
Soquete do conector elétrico do APG100 5.
6.
Plugue do conector elétrico do cabo
7.
Alimentação elétrica
Voltímetro
Relé CC (opcional)
Diodo de supressão de EMF inversa (opcional)
Chave de calibração remota (opcional)
Não conecte o aterramento de alimentação elétrica (pino 2) ao
aterramento de sinal (pino 5). Se fizer isso, o sinal de saída do
APG100 será impreciso.
Ao usar o APG100 em um ambiente com ruídos elétricos, você
deverá verificar se seu equipamento de medição está
adequadamente imune a interferências. Todos os controladores
Edwards têm imunidade adequada.
A saída do ponto de operação no pino 6 é ativa no nível baixo, por
transistor de coletor aberto, adequada para acionar um relé CC ou
uma lógica de controle. Se você conectar um relé, use um diodo de
supressão para proteger o aferidor de tensões transitórias, geradas
quando o relé é desligado, como mostra a Figura 4.
Se você precisar de calibração remota, estabeleça uma conexão com
o pino 7. Conecte momentaneamente (>50 ms) o pino 7 ao 2
(aterramento) para ajustar de forma automática a leitura da
atmosfera ou do vácuo. Consulte a seção Manutenção para obter
o procedimento correto.
Página 11
América
Página 12
CUIDADO
Consulte a Figura 2
Temperatura ambiente
Os símbolos a seguir são exibidos no APG100:
Conectar a seu próprio equipamento elétrico
Massa:
Versões NW16
P em Pa
Voltage
Leia este manual antes de instalar e operar o APG100.
As informações importantes de segurança estão destacadas
como instruções de AVISO e CUIDADO; essas instruções devem
ser obedecidas. O uso de AVISOS e CUIDADOS é definido abaixo.
Figura 2 – Dimensões (mm)
P = 10(V -4)
Por exemplo, se a tensão medida for V = 4 V, a pressão medida será
P = 1 x 10-2 mbar. Consulte a Figura 5 e 6.
Página 9
Página 6
Página 3
P em mbar
P = 10(V -6,125) P em Torr
Voltage
D026-01-000
APG100 - XM NW25
P = 10(V -6)
Indicated pressure (mbar)
APG100 - XM NW16
Se o aferidor estiver conectado a um voltímetro, converta a tensão
(V) em pressão (P) usando as seguintes equações:
1E-1
1E+0
1E+1
1E+2
1E+3
True pressure (mbar)
Figura 8 – Dependência de gás do APG100-XLC
1E+3
He
Indicated pressure (mbar)
Descrição
Medida de pressão
Reino Unido
Ne
N2
1E+2
1E+1
CO2
1E+0
CO2
Ar
Kr
1E-1
1E-2
1E-2
1E-1
1E+0
1E+1
True pressure (mbar)
Página 14
1E+2
1E+3
© Edwards Limited 2007.
Todos os direitos
reservados.
Edwards e a logomarca
da Edwards são marcas
registradas da
Edwards Limited.
www.edwardsvacuum.com
[email protected]
Pressão real = GCF x pressão indicada
Tabela 2 – Fatores de calibração de gás abaixo de 1 mbar
Gás
GCF
He
1,1
Ne
1,5
N2
1,0
Ar
1,7
CO2
1,0
Kr
2,6
Ajuste do ponto de operação
CUIDADO
Quando o botão ‘S/P’ for pressionado, a saída do aferidor
será alterada. Não pressione o botão ‘S/P’ para ajustar o
ponto de operação se a alteração na saída puder provocar
um mau funcionamento do sistema.
Monitoramento de erro
1. Ligue a fonte de alimentação no APG100.
Se ocorrer um erro durante a operação do APG100, o LED de status
ficará vermelho para indicar um erro e a tensão de saída será alterada
para indicar a condição do erro. As tensões de erro são mostrada na
Tabela 3 abaixo. O ponto de operação será desativado assim que for
detectado um erro. Consulte o guia de detecção de falhas.
2. Com o aferidor em pressão atmosférica, pressione o botão ‘CAL’
e segure-o por mais de cinco segundos. O LED de status começará
a piscar alternadamente em vermelho e verde e o aferidor será
automaticamente ajustado para que corresponda ao novo tubo.
Este processo pode demorar vários segundos.
Se você usar um Controlador Edwards, uma mensagem de erro será
mostrada no visor.
3. Permita que o aferidor opere em pressão atmosférica por,
no mínimo, 10 minutos e repita a Etapa 2.
4. Agora, é necessário executar o ajuste do vácuo conforme
descrito acima.
Tabela 3 – Indicação do erro
Condição do erro
Saída (V) Visor TIC
Filamento quebrado
ou tubo removido
9,5
Erro de calibração
9,6
Visor
ADC
Visor
AGC
Falha do
filamento
Erro 25
Erro E
Erro Cal
Erro 26
Erro F
Cozimento
Em algumas aplicações UHV, é desejável cozer os componentes do
sistema de vácuo para obter uma pressão base mais baixa. O tubo
do APG100 pode ser cozido a 150 °C, mas o gabinete eletrônico
deve ser removido.
• Conforme mostra a Figura 12, remova o gabinete eletrônico.
Observação: Se você usar um Controlador Edwards, o ponto de
operação do APG100 não será usado.
• Faça o cozimento do tubo no sistema de vácuo.
Não exceda 150 °C.
Para ler a pressão em que a saída do ponto de operação é ativada,
pressione o botão “S/P” com uma ferramenta adequada (consulte
a Figura 9). A saída de sinal do aferidor será alterada para indicar
o limiar do ponto de operação por três segundos, após os quais
a saída retornará ao normal.
• Deixe o tubo resfriar antes de recolocar o gabinete eletrônico.
Página 15
O ponto de operação tem uma histerese fixa de 500 mV. Quando
a pressão medida fica abaixo da pressão do ponto de operação,
a saída do transistor é alterada para ON (fechada). A saída do
transistor será desligada quando a pressão medida subir para
500 mV acima da pressão do ponto de operação. Um relé externo
conectado como mostra a Figura 4 será ligado quando a pressão
cair abaixo do ponto de operação e será desligado quando
a pressão for elevada para 500 mV acima do ponto de operação.
Para ajustar o limiar do ponto de operação, pressione o botão
“S/P” e segure-o por mais de três segundos. O valor do limiar
aumentará de forma constante. Solte o botão quando o valor
requerido for atingido. Para tornar o ajuste mais adequado, solte
o botão antes do valor requerido ser atingido e pressione-o
imediatamente quantas vezes forem necessárias. Cada vez que
você pressionar o botão, o valor do limiar aumentará em 10 mV.
Se, durante o ajuste, o limiar atingir o valor máximo (9,2 V),
ele saltará para o mínimo (1,8 V) e aumentará novamente.
Substituir o filtro
Sintoma
Causa possível
Solução
Leitura de
pressão
incorreta
Vazamento de vácuo
Verifique o vazamento
do sistema de vácuo
O tubo desviou e necessita
de ajuste
Execute os ajustes da
atmosfera e do vácuo
Tubo contaminado
Substitua o tubo
O aferidor
indica
erro de
calibração
Não limpe o interior do tubo do aferidor, pois você
poderá danificar o filamento.
Foi instalado um novo tubo
O filtro colocado dentro do flange de vácuo do aferidor fornece
proteção contra contaminação do processo. Com o uso, o filtro
pode ficar sujo ou bloqueado e será necessário substituí-lo.
Consulte a Figura 11 e siga este procedimento para substituir
o filtro.
1. Desconecte o cabo elétrico, abra o sistema de vácuo para
a pressão atmosférica e remova o aferidor do sistema de vácuo.
2. Use um alicate de trava para remover o anel de pressão
retentor. Cuidado para não danificar a superfície de vedação
do flange de vácuo ou a parte interna do tubo do aferidor.
3. Remova e descarte o filtro de óleo.
4. Recoloque o filtro no tubo do aferidor e recoloque o anel
de pressão.
Página 21
Manutenção
A tentativa de ajuste foi feita Repita o ajuste, mas
em uma pressão incorreta
verifique se a pressão
está em atmosfera ou
vácuo adequado
Foi colocado um tipo errado de Verifique se o tipo
tubo
correto de tubo está
colocado (M ou LC)
CUIDADO
Página 18
Ajuste da atmosfera e do vácuo
O tubo foi desviado além dos Substitua o tubo
limites permissíveis e não pode
mais ser ajustado
O aferidor
indica
filamento
quebrado
O tubo está ausente
Instale o tubo. Remova
e reinsira o conector
elétrico
Foi colocado um tipo errado
de tubo
Verifique se o tipo
correto de tubo está
colocado (M ou LC)
O filamento está quebrado
Substitua o tubo
Edwards
Manor Royal,
Crawley,
West Sussex RH10 9LW, RU
declaramos, sob nossa total responsabilidade, que o(s) produto(s)
APG100-XM NW16
APG100-XM NW25
APG100-XLC NW16
APG100-XLC NW25
D026-01-000
D026-02-000
D026-03-000
D026-04-000
a qual esta declaração está relacionada, está(ão) em conformidade com o(s) padrão(ões)
a seguir ou com outro(s) documento(s) normativo(s)
EN61010-1:2001
CSA C22.2 No. 61010.1-4
UL 61010-1 (2ª edição)
EN61326-2-3:2006
(Localização industrial,
Emissões de Classe B)
Requisitos de segurança para equipamento elétrico de medição,
Controle e uso do laboratório – Parte 1: Requisitos gerais.
Requisitos de segurança para equipamento elétrico de medição,
Controle e uso do laboratório – Parte 1: Requisitos gerais.
Requisitos de segurança para equipamento elétrico de medição,
Controle e uso do laboratório – Parte 1: Requisitos gerais.
Equipamento elétrico de medição, controle e uso em laboratório
- Requisitos EMC.
seguindo as disposições de
2004/108/EC
2002/96/EC
2002/95/EC
Diretiva de Compatibilidade Eletromagnética
Diretiva europeia sobre Descarte de equipamento elétrico e eletrônico
Diretiva europeia sobre Restrição do uso de determinadas substâncias
perigosas em equipamento elétrico e eletrônico.
17.6.10 - Eastbourne
Sr. L Marini, Gerente Técnico
Data e local
Este produto foi fabricado sob um sistema de qualidade registrado na ISO9001
Serviço de calibração
ESCREVER CLARAMENTE O NÚMERO DE AUTORIZAÇÃO DE DEVOLUÇÃO
NO EXTERIOR DO ENVELOPE OU NO EXTERIOR DA EMBALAGEM DO EQUIPAMENTO.
Está disponível um serviço de calibração para todos os aferidores
Edwards. A calibração é feita por comparação com aferidores de
referência, seguindo os Padrões nacionais. Entre em contato com
a Edwards para obter detalhes.
Armazenamento e descarte
Descarte o APG100 e todos os componentes com segurança, de
acordo com todos os requisitos de segurança e ambientais locais e
nacionais. Como alternativa, você pode reciclar o APG100 e os
cabos: entre em contato com a Edwards ou com seu fornecedor
para obter orientação (também consulte as instruções abaixo).
Cada APG100 é individualmente ajustado antes do envio.
No entanto, os aferidores de condutividade térmica podem desviar
com o tempo ou à medida que há acúmulo de contaminação no
filamento. Use os procedimentos descritos abaixo para ajustar as
configurações de atmosfera e vácuo do aferidor. A frequência com
que eles devem ser repetidos variará, dependendo do nível e da
natureza da contaminação associada ao processo.
Formulário HS2
Devolução de Equipamento
Número de Autorização de
Devolução:
Edwards - Declaração
O expedidor do equipamento deverá:
• Conhecer todas as substâncias que foram utilizadas e produzidas
com/no equipamento, antes do preenchimento da Declaração
• Ler o Procedimento para a Devolução de Equipamento Edwards
(HS1) antes do preenchimento desta Declaração
• Contactar a Edwards para obter um Número de Autorização
de Devolução e orientação ou respostas a quaisquer dúvidas
• Enviar este formulário para a Edwards, antes da expedição
do equipamento
O APG100 e os cabos associados estão dentro do escopo da Diretiva
europeia sobre Descarte de equipamento elétrico e eletrônico,
2002/96/EC. A Edwards oferece aos clientes europeus um serviço
de reciclagem do APG100 e dos cabos no fim da vida útil do
produto. Entre em contato com a Edwards para obter orientação
sobre como devolver o APG100 e os cabos para reciclagem.
Figura 10 – Ajuste do APG100
SECÇÃO 1: EQUIPAMENTO
Tome cuidado especial se o APG100 tiver sido contaminado com
substâncias perigosas do processo.
1.
2.
3.
Tubo do aferidor
Filtro
Anel de pressão
Consulte a Figura 12 e siga este procedimento para substituir
o tubo do aferidor.
1. Desconecte o cabo elétrico, abra o sistema de vácuo para
a pressão atmosférica e remova o aferidor do sistema de vácuo.
2. Retire o grampo de retenção da lateral do aferidor.
3. Retire o tubo do gabinete eletrônico.
4. Instale o tubo de substituição no gabinete eletrônico,
observando o alinhamento correto.
5. Recoloque o grampo de retenção.
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Ajuste da atmosfera
1. Ligue a fonte de alimentação no APG100 e permita que
o aferidor opere em pressão atmosférica por, no mínimo,
10 minutos. Verifique se o LED de status verde está aceso.
Figura 12 – Substituição do tubo do aferidor
Peça de reposição
Número do item
Gabinete eletrônico de substituição
D026-01-800
APG100-XLC
D026-03-800
APG100-XM NW16
D026-01-801
APG100-XM NW25
D026-02-801
APG100-XLC NW16
D026-03-801
APG100-XLC NW25
D026-04-801
2. Deixe o aferidor operar por, no mínimo, 10 minutos.
Kit de filtro de substituição
3. Pressione o botão ‘CAL’. O LED de status piscará e o aferidor
será automaticamente ajustado para fazer a leitura do vácuo.
Acessórios
D026-01-805
Os cabos para usar com o APG100 são descritos a seguir. Esses
cabos são fornecidos com conectores elétricos machos de 8 vias nas
duas extremidades.
Ajuste remoto
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Comprimento do cabo
Gabinete eletrônico
Grampo de retenção
Tubo do aferidor
Guia de detecção de falhas
Tabela 4 – Informações sobre detecção de falhas
Sintoma
Causa possível
O LED não
acende
Tensão de alimentação
Verifique a alimentação
elétrica incorreta. Polaridade e as conexões elétricas
de alimentação invertida.
Solução
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NÃO
Número do item
0,5 m
18 polegadas
D400-01-005
1m
3 pés
D400-01-010
3m
10 pés
D400-01-030
5m
15 pés
D400-01-050
10 m
30 pés
D400-01-100
15 m
50 pés
D400-01-150
25 m
80 pés
D400-01-250
50 m
150 pés
D400-01-500
100 m
325 pés
D400-01-999
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Formulário HS1
SECÇÃO 3: LISTA DAS SUBSTÂNCIAS EM CONTACTO COM O EQUIPAMENTO
Designação da substância
Símbolo químico
Devolução de Equipamento Edwards - Procedimento
APG100-XM
Tubo de substituição
1. Reduza a pressão do sistema para 1 x 10-4 mbar (ou menos) para
o APG100-XM, ou para 1x10-5 mbar (ou menos) para o APG100-XLC.
Se um tubo de reposição for colocado no aferidor, será necessário
ajustar o aferidor para que corresponda ao novo tubo. O ajuste será
necessário apenas se for instalado um novo tubo. Posteriormente,
será sempre necessário executar um ajuste do vácuo.
Para obter cópias imprimíveis do formulário HS2 abaixo, entre em contato
com seu fornecedor ou com a Edwards.
Peças de reposição
Ajuste do vácuo
Ajuste do novo tubo
policlorados (PCBs), dioxinas ou azeto de sódio?
SIM
(se SIM, ver a Nota 1)
• Perigosas para a saúde e segurança de
SIM
NÃO
seres humanos?
Nota 1: A Edwards recusa a recepção de qualquer equipamento
contaminado com substâncias radioactivas, agentes biológicos ou
infecciosos, mercúrio, PCBs, dioxinas ou azeto de sódio, excepto se
o expedidor:
• Descontaminar previamente o equipamento
• Fornecer prova da descontaminação efectuada
CONTACTAR PREVIAMENTE A EDWARDS ANTES DE EXPEDIR
EQUIPAMENTO NESTAS CONDIÇÕES
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Sempre que um novo tubo for colocado, será necessário ajustar
o aferidor para que corresponda ao novo tubo. Consulte ‘Ajuste do
novo tubo’ acima.
1.
2.
3.
SECÇÃO 2: SUBSTÂNCIAS EM CONTACTO COM O EQUIPAMENTO
• Modelo e Número de item do equipamento
• Número de item e descrição da peça
Avançar para a Secção 2
Avançar para a Secção 4
As substâncias utilizadas ou produzidas com/no equipamento são:
• Radioactivas, biológicas ou infecciosas, mercúrio, bifenis
Solicite peças de reposição e acessórios para a empresa ou
distribuidor Edwards mais próximos. Ao fazer seu pedido, informe
o seguinte para cada peça solicitada:
• Número de série (se houver)
SIM
NÃO
SE APLICÁVEL:
Nº de Referência da Ferramenta
Processo
Data da Falha
Número de Série do Equipamento Sobresselente
Os produtos, peças de reposição e acessórios da Edwards estão
disponíveis nas empresas da Edwards da Bélgica, Brasil, Canadá,
China, França, Alemanha, Hong Kong, Itália, Japão, Coreia, Suíça,
Reino Unido, EUA e em uma rede mundial de distribuidores.
A maioria desses centros emprega engenheiros de manutenção que
passaram por cursos de treinamento abrangentes da Edwards.
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2. Pressione o botão 'CAL'. O LED de status piscará e o aferidor
será automaticamente ajustado para fazer a leitura da pressão
atmosférica. Não mantenha o botão ‘CAL’ pressionado por mais
de cinco segundos (consulte ‘Ajuste de novo tubo’ a seguir).
Os ajustes da atmosfera e do vácuo podem ser executados
remotamente com uma chave conectada, como mostra a Figura 4.
Siga os procedimentos anteriores, mas feche momentaneamente
a chave remota, em vez de usar o botão ‘CAL’ do aferidor.
Os controladores Edwards usam esse recurso, de forma que as
leituras da atmosfera e do vácuo possam ser automaticamente
ajustadas no painel frontal do controlador.
O equipamento foi utilizado, testado
ou operado?
Introdução
Se o tubo do aferidor ficar muito contaminado, de forma que
o ajuste da atmosfera ou do vácuo não possa ser atingido, ou se
o filamento estiver quebrado, você poderá instalar um tubo de
reposição no aferidor.
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Nome do Produto do Fabricante
Nº de Referência do Fabricante
Nº de Série do Fabricante
Peças de reposição e acessórios
Substituir o tubo do aferidor
O ponto de operação também pode ser usado para indicar que
o aferidor está operando corretamente. Se você ajustar o limiar
para 9,2 V, a saída do ponto de operação será ON (ligada)
enquanto o aferidor estiver operando corretamente e será
desligada se for detectado um erro.
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Execute o ‘Ajuste
do novo tubo’
Declaração de conformidade
Nós,
PROCEDIMENTO
1. Contactar a Edwards e obter um Número de Autorização de Devolução
(Return Authorisation Number) para o equipamento a ser expedido.
2. Preencher a Declaração de Devolução de Equipamento Edwards (HS2).
3. Se o equipamento se encontrar contaminado, contactar a empresa
transportadora, de modo a assegurar a correcta classificação do risco
e a marcação, declaração e expedição do equipamento, de acordo
com os regulamentos oficiais em vigor sobre transporte de materiais
contaminados/perigosos. Como encarregado do equipamento a ser
expedido, será responsável pelo cumprimento de todas as leis e
regulamentos aplicáveis. Nota: O equipamento contaminado com
alguns materiais perigosos, como subprodutos da fabricação de
semicondutores, pode não ser adequado para transporte por via
aérea - para mais informações, contactar a empresa transportadora.
4. Remover todos os vestígios de gases perigosos: passar um gás inerte
pelo equipamento e quaisquer outros acessórios a devolver à Edwards.
Sempre que possível, drenar todos os fluidos e lubrificantes do
equipamento e dos respectivos acessórios.
5. Selar todos os orifícios de entrada e saída do equipamento (incluindo
os orifícios de ligação a acessórios) com flanges cegas ou, para
produtos não contaminados, com fita autocolante de resistência adequada.
6. Selar o equipamento num saco ou embalagem de filme de
politeno/polietileno espesso.
7. Em caso de equipamento de grandes dimensões, fixar o equipamento
e respectivos acessórios a uma palete de madeira. Se o equipamento
for demasiado pequeno para ser fixado a uma palete, deverá embalar
o mesmo numa caixa de resistência adequada.
8. Enviar por fax ou por correio uma cópia da Declaração (HS2) para a
Edwards. A Declaração deverá chegar antes do equipamento.
9. Fornecer uma cópia da Declaração (HS2) à empresa transportadora.
O expedidor deverá informar a empresa transportadora sobre o estado
de contaminação do equipamento.
10. Fechar o original da Declaração num envelope adequado: afixar
devidamente o envelope no exterior da embalagem do equipamento,
num saco transparente e resistente às condições climatéricas.
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Figura 11 – Substituição do filtro
Se não precisar usar o ponto de operação ou se precisar que
o ponto de operação seja permanentemente desativado, você
poderá ajustar o limiar para 1,8 V. Isso garantirá que o ponto
de operação não funcione. O APG100 é fornecido da fábrica
com o limiar definido como 1,8 V.
Figura 9 – Ajuste do ponto de operação
Tabela 4 – Informações sobre detecção de falhas
P200-01-716 Issue C
Para pressões abaixo de 1 mbar, um fator de calibração simples
pode ser usado para corrigir diferentes tipos de gás. Os GCFs
(Gas Calibration Factors - Fatores de calibração de gás) para
gases comuns são mostrados na Tabela 2.
INTRODUÇÃO
Antes da devolução do equipamento, a Edwards deverá ser previamente
notificada sobre a eventual utilização (e produção) de substâncias
potencialmente perigosas. Esta informação é fundamental para a segurança
dos empregados do nosso Centro de Assistência e destina-se a permitir
determinar os procedimentos mais adequados para a assistência ao seu
equipamento.
Antes da expedição do equipamento, preencher a Declaração (HS2) e enviar
a mesma para a Edwards. É importante notar que esta declaração se destina
apenas para uso interno da Edwards e que não tem quaisquer implicações
com regulamentos locais, nacionais e internacionais relativos à segurança
ambiental ou de transportes. Como encarregado do equipamento a ser
expedido, será responsável pelo cumprimento de todas as leis e
regulamentos aplicáveis.
PROCEDIMENTOS RECOMENDADOS
• O equipamento é considerado como “não contaminado” se nunca
tiver sido utilizado ou se tiver sido utilizado apenas com substâncias
que não sejam perigosas. O equipamento é considerado como
“contaminado” se tiver sido utilizado com quaisquer substâncias
classificadas como perigosas, nos termos da Directiva da União
Europeia 67/548/CEE (e respectivas alterações) ou dos regulamentos
americanos OSHA Occupational Safety (29 CFR 1910).
• Se o equipamento tiver sido utilizado com substâncias radioactivas,
biológicas ou infecciosas, mercúrio, bifenis policlorados (PCBs),
dioxinas ou azeto de sódio, deverá o mesmo serdescontaminado,
antes da sua devolução à Edwards. Nestas condições, deverá enviar
para a Edwards uma prova de descontaminação independente (como,
por exemplo, um certificado de análise) juntamente com a Declaração
(HS2). Para instruções específicas, contactar a Edwards por telefone.
• Se o equipamento se encontrar contaminado, deverá:
• Remover todos os vestígios de contaminação (nos termos dos
regulamentos oficiais sobre transporte de substâncias perigosas).
• Ou, classificar correctamente o risco e marcar, declarar e expedir
o equipamento de acordo com os regulamentos em vigor sobre
transporte de materiais perigosos.
Nota: Alguns equipamentos contaminados poderão não ser
adequados para transporte por via aérea.
Precauções recomendadas
(por exemplo, uso de luvas de
protecção, etc.)
Acção em caso de derrame,
fuga ou exposição
SECÇÃO 4: INFORMAÇÃO PARA DEVOLUÇÃO
Razão para a devolução e sintomas de anomalia:
Em caso de reclamação no âmbito da garantia:
• onde adquiriu o equipamento?
• indicar número da factura do fornecedor
SECÇÃO 5: DECLARAÇÃO
Nome (apenas maiúsculas):
Cargo ou função (apenas maiúsculas):
Empresa (apenas maiúsculas):
Endereço (apenas maiúsculas):
Nº de telefone:
Data de entrega do equipamento:
Nesta Declaração foram envidados esforços razoáveis e fornecidas informações
rigorosas. Não foram omitidas quaisquer informações e foram observadas as
instruções do Procedimento de Devolução de Equipamento Edwards (HS1).
Assinatura:
Data:
Nota: Imprimir este formulário, assinar e enviar o exemplar assinado.
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