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Spezialgraphite für die Halbleiter
Graphite Materials and Systems Spezialgraphite für die Halbleiterindustrie 2 Spezialgraphit- und Prozesslösungen – made by SGL Group. ̤̤ Fortschrittliche Material-, Equipmentund Prozesslösungen ̤̤ Entwickelt für Kunden aus mehr als 35 Industrien ̤̤ Maßgeschneidert aus dem umfangreichsten Produktportfolio ̤̤ Tiefgreifendes Produktions- und Material-Know-how ̤̤ Konstant hohe Qualität, Performance und Service ̤̤ Attraktive Gesamtbetriebskosten Broad Base. Best Solutions. Business Unit Graphite Materials and Systems 3 Fortschrittliche Lösungen verschaffen unseren Kunden einen Vorsprung. Die SGL Group bietet fortschrittliche Lösungen – selbst für herausfordernde Anwendungen. Wir verstehen die spezifischen Anforderungen unserer Kunden und kombinieren tiefgreifendes Produktions-, Materialund Engineering-Know-how mit dem umfangreichsten SpezialgraphitPortfolio. Das macht uns zum Partner der Wahl führender Unternehmen. Extreme Korrosions- und Hitzebeständigkeit sowie entwickeln wir in enger Partnerschaft mit hohe Reinheit und mechanische Festigkeit sind nur unseren Kunden maßgeschneiderte Lösungen. einige der herausragenden Eigenschaften unserer Werkstoffe. Spezialgraphitprodukte der SGL Group Die SGL Group vereint die gesamte Wertschöpfungs- führen auch dort zu optimalen Ergebnissen, wo kette der Spezialgraphitherstellung. Von der Roh- andere Materialien längst an ihre Grenzen stoßen. stoffaufbereitung über die Halbzeugproduktion sowie die Präzisionsbearbeitung bis hin zur Reini- Abgestimmt auf Ihre spezifischen Anforderungen gung und Beschichtung. Auch bei Equipment- und identifizieren wir für Sie die jeweils beste Lösung Prozesslösungen macht unser Leistungsangebot aus dem umfangsreichsten Spezialgraphit-Sortiment. den Unterschied aus: Wir bieten Konstruktion, Auslegung, Produktion, Montage, Inbetriebnahme ̤̤ Feinkorngraphite: isostatisch, vibrationsverdichtet, gesenkgepresst, extrudiert und Service aus einer Hand. So kontrollieren und sichern wir die konstant hohe ̤̤ Expandierter Naturgraphit Qualität und Performance unserer Produkte – ̤̤ Carbonfaserverstärkter Kohlenstoff (CFC) und verschaffen damit unseren Kunden einen ̤̤ Graphitweichfilze und -hartfilze entscheidenden Vorsprung. Fordern Sie uns heraus. ̤̤ Siliziumcarbidbeschichtete Graphitmaterialien Wir sind weltweit für Sie da. Zusätzlich verwenden wir auch Materialien wie PTFE, Siliziumcarbid und Spezialmetalle. Spezialgraphitlösungen für die Halbleiterindustrie Mit diesem Portfolio und dem anwendungs- Innovative Spezialgraphit-Lösungen spielen für technischen Wissen aus über 35 Industrien die anspruchsvollen Prozesse der Halbleiterherstellung eine entscheidende Rolle. Mit optimierten Anlagenkomponenten und Hochleistungswerk- b Bearbeitung eines Wafer-Trägers stoffen sind wir ein gefragter Partner führender Erstausrüster (OEM) und Halbleiterproduzenten. 4 Spezialgraphite – made by SGL Group. Lösungen für die Halbleiter- und LED-Industrie. Basismaterial Saphir (Al2O3) Al2O3 Einkristallzüchtung Substrat Wafer Siliziumkarbid (SiC) SiC Sublimationszüchtung Substrat Wafer Halbleiter Wafer Si Monokristall ziehen (CZ-Verfahren) Silizium (Si) Konverter Substrat Wafer Halbleiter Wafer Siemens-Reaktor Wertschöpfungskette Polysilizium Kristallzüchtung Einkristalle Produkte der SGL Group Heizer Hitzeschilde Isolation Elektroden (Polychucks) Heizer Tiegel Hitzeschilde Isolation Sägeunterlagen Materialien aus Kohlenstoff und Graphit SIGRAFINE® extrudierte, isostatische und vibrationsverdichtete Graphite SIGRABOND® carbonfaserverstärkter Kohlenstoff (CFC) SIGRATHERM® Kohlenstoff- und Graphitfilze SIGRAFINE® SiC Coating SIGRAFINE® extrudierte, isostatische Graphite SIGRABOND® carbonfaserverstärkter Kohlenstoff (CFC) SIGRATHERM® Kohlenstoff- und Graphitfilze SIGRAFINE® SiC Coating SIGRAFINE® isostatische Graphite Wafersägen spezialgraphitlösungen für die Halbleiterindustrie 5 Für viele Prozesse in der Halbleiterproduktion sind Kompo Unser Portfolio umfasst Heizer, Stütztiegel, Hitzeschilde und nenten aus Spezialgraphiten unverzichtbar: ob für die Kristall Isolationsbauteile für viele Verfahren zur Züchtung von züchtung oder die anschließende Veredelung mittels Epitaxie, Einkristallen, wie z. B. dem Czochralski-Prozess (CZ), der Ionen-Implantation oder Plasmaätzen, wie auch für die Her- Sublimations- auch Physical Vapor Transport-Methode (PVT) stellung von LED-Chips. Denn die Prozesse laufen meist bei oder auch der Heat Exchange-Methode (HEM). Hinzu kom- sehr hohen Temperaturen und in extrem korrosivem Milieu men Suszeptoren für die Silizium-Epitaxie, wie auch für ab; gleichzeitig sind höchste Reinheit und absolute Präzision MOCVD-Reaktoren (Metal Organic Chemical Vapor Depositi- gefordert. on). Unsere Komponenten werden vorwiegend nach individuellen Anforderungen gefertigt. Außerdem unterstützen Für die anspruchsvollen Prozesse der Halbleiterproduktion wir unsere Kunden bei Planung und Entwurf sowie bei der bieten wir zuverlässige Lösungen aus Spezialgraphit. Optimierung im Betrieb. + SIGRAFINE® ist der neue Markenname für unsere Feinkorngraphite, bisher bekannt unter RINGSDORFF®, SIGRAFORM®, SIGRAMENT® und CRYSTA-SIL®. MOCVD Silizium Epitaxie Epitaxie Weitere Schritte der Waferbearbeitung Suszeptoren Teile zur Ionen-Implantation SIGRAFINE® isostatische Graphite SIGRAFINE® SiC Coating SIGRAFINE® isostatische Graphite 6 Produkte für die Halbleiterindustrie Als zuverlässiger Lieferant und Partner unserer Kunden bieten wir für jede Anwendung perfekte Lösungen und maximale Prozesssicherheit. Was uns auszeichnet: ̤̤ Breiteste Auswahl hochreiner Spezialgraphite ̤̤ Konstant hohe Material- und Produktqualität ̤̤ Langjähriges Anwendungs- und Werkstoff-Know-how ̤̤ Individuelle Fertigung exakt nach Kundenwunsch ̤̤ Anwendungsspezifische Veredelung durch Reinigung, mechanische Bearbeitung oder Beschichtung spezialgraphite für die halbleiterindustrie 7 Spezialgraphite für die Polysiliziumproduktion c Elektroden (Polychucks) für Siemens-Reaktoren b Mäanderheizer für CZ-Anlagen c Graphithartfilz-Zylinder zur Isolation von Konvertern In Siemens-Reaktoren und sogenannten STC-TCS-Konvertern, Konverter sowie Hitzeschilde und thermische Isolationsteile. zur Wiederaufbereitung der Prozessgase herrschen Tempera Abhängig von Anforderungen und Betriebsbedingungen turen bis über 1000 °C und ein hochkorrosives Milieu. Hier wählen unsere Experten die besten Materialien und fertigen überzeugen unsere Graphitbauteile vor allem, weil sie extrem daraus maßgeschneiderte Produkte. Durch unsere neu ent- temperatur- und korrosionsbeständig sind. wickelten Formgebungs- und Verbindungslösungen können wir zum Beispiel Konverter-Isolationen in fast jeder Länge Seit Jahrzehnten unterstützen wir Polysiliziumhersteller und nahezu jedem Durchmesser liefern. Um die Lebensdauer mit vielfältigen Anlagenkomponenten. besonders beanspruchter Bauteile zu erhöhen – etwa bei Dazu zählen gereinigte Elektroden für die Polysilizium Konvertern –, bieten wir Spezialbeschichtungen aus Silizium- abscheidung, Heizer und Gasführungen für STC-TCS- carbid (SiC). Anwendungsspezifische Spezialgraphite für die Polysiliziumproduktion Graphit Anwendungen Wirbelschichtreaktor (FBR) Siemens CVD-Prozess Konverter (STC-TCS) Produkte isostatisch Reaktor ○ Polychuck ○ Gasverteiler ○ Heizelemente ○ Hitzeschilde ○ Isolationszylinder extrudiert vibrationsverdichtet Weichfilz Hartfilz CFC SiCbeschichtet ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 8 Spezialgraphite für die Züchtung von Halbleiter- und Saphir-Einkristallen c Stütztiegel aus CFC c Hartfilz-Zylinder zur Isolation c Graphitkomponenten für CZ-Anlagen Ganz gleich, welches Verfahren zur Züchtung von Einkristallen Dazu zählen Heizer, Tiegel, Reflektoren und Hitzeschilde aus betrachtet wird, ob HEM für Saphir, CZ für Silizium oder PVT hochfestem, homogenem Feinkorngraphit oder carbonfaser- für SiC: Fast immer laufen die Kristallisationsprozesse bei sehr verstärktem Kohlenstoff sowie Isolationsbauteile aus Graphit- hohen Temperaturen und in aggressivem Milieu ab. Deshalb filzen. Je nach Anlage wählen wir die jeweils besten Materialien besteht der Hochtemperaturbereich im Ofen („Heiße Zone“) in höchster Reinheit (Aschewert < 5 ppm). Um die Lebensdauer fast vollständig aus temperatur- und korrosionsbeständigen besonders beanspruchter Bauteile zu erhöhen, bieten wir SiC- Graphitbauteilen. Spezialbeschichtungen. Hierfür besonders gut geeignet sind unsere isostatischen Graphite R6510 und R6810. Für Kristallzuchtanlagen aller Art liefert die SGL Group sämtliche Graphitkomponenten einzeln oder als Set. Anwendungsspezifische Spezialgraphite für Kristallzuchtanlagen Graphite Anwendung Einkristallziehen Produkte isostatisch Tiegel ○ Heizer ○ Hitzeschilde ○ Reflektoren ○ extrudiert Hartfilz CFC SiCbeschichtet ○ ○ Heizer ○ ○ Hitzeschilde ○ ○ Isolation Weichfilz ○ Isolation SaphirEinkristallzüchtung vibrationsverdichtet ○ ○ ○ ○ ○ spezialgraphite für die halbleiterindustrie 9 Spezialgraphite für die Silizium-Epitaxie Bis zum fertigen Halbleiterprodukt durchläuft ein Wafer unzählige Schritte. Ein zunehmend wichtiger Prozess ist die Silizium-Epitaxie, in welcher die Wafer von Graphit-Suszeptoren getragen werden. Eigenschaften und Qualität der Suszeptoren wirken sich wesentlich auf die Qualität des Endprodukts aus. Unsere SiC-beschichteten Graphit-Suszeptoren überzeugen vor allem durch höchste Reinheit sowie eine homogene Beschichtung und eine ausgezeichnete Lebensdauer. Darüber hinaus bieten sie eine hohe chemische und thermische Beständigkeit. Die SiC-Beschichtung erfolgt homogen und innerhalb engster Toleranzen. Für ein gleichmäßiges Suszeptor-Profil sorgt die hochpräzise mechanische Bearbeitung. Auch für induktiv beheizte Systeme bieten wir Material mit einem optimalen elektrischen Widerstand an. Die fertigen Bauteile liefern wir inklusive Reinheits- und Dimensions zertifikat. Die SGL Group bietet Suszeptoren und Graphitbauteile für die gängigen Typen von Epitaxie-Reaktoren. c Suszeptoren für Epitaxie-Reaktoren Unser Portfolio umfasst Barrel-Suszeptoren für Applied Materials, Moore und LPE-Anlagen, Pancake-Suszeptoren für LPE-, CSD- und Gemini-Anlagen sowie Single-Wafer- kontrollen bieten wir unseren Kunden lückenlos rückverfolg- Suszeptoren für Applied Materials und ASM-Anlagen. Alle bare Produkte bester Qualität. Parallel entwickeln wir unsere unsere Suszeptoren werden aus hochfestem isostatischem Werkstoffe und Produkte weiter, in enger Zusammenarbeit Graphit hergestellt. Darüber hinaus fertigen wir Bauteile für mit Herstellern und Betreibern von Epitaxie-Anlagen. die Ionen-Implantation aus besonders geeignetem hoch reinem, isostatischem Graphit. Dank umfassender Qualitäts- Anwendungsspezifische Spezialgraphite für die Silizium-Epitaxie Graphite Anwendung Silizium-Epitaxie Produkte isostatisch extrudiert vibrationsverdichtet Weichfilz Hartfilz CFC SiCbeschichtet Barrel-Suszeptoren ○ ○ Pancake-Suszeptoren ○ ○ Single-Wafer-Suszeptoren ○ ○ 10 Spezialgraphite für die LED-ChipHerstellung in MOCVD-Reaktoren Während des Beschichtungsprozesses im MOCVD-Reaktor werden Substrat-Wafer von Suszeptoren aus SiC-beschichtetem isostatischem Graphit, auch Platter genannt, getragen. Deren Eigenschaften beeinflussen die Beschichtungsqualität der Wafer und somit die Chip-Ausschussrate maßgeblich. Unsere SiC-beschichteten Suszeptoren unterstützen eine effiziente Fertigung von hochwertigen LED-Wafern mit geringer Wellenlängenabweichung. Hierzu tragen viele wichtige Faktoren bei wie die sehr hohe Reinheit und die gleichmäßige Wärmeleitfähigkeit sowohl unseres isostatischen Graphits als auch der SiC-Beschichtung. Für unsere Platter verwenden wir ausgesuchte Graphitsorten. Die hochpräzise mechanische Bearbeitung wie auch die homogene Beschichtung sorgen für ein gleichmäßiges Profil der Wafer-Trägertaschen und für eine hohe Planheit der Suszeptoren. Dank umfassender Qualitätskontrollen entstehen c Wafer-Träger für LED-Chip-Herstellung im MOCVD-Reaktor lückenlos rückverfolgbare Produkte von bester Qualität. In enger Kooperation mit Herstellern und Betreibern von MOCVD-Anlagen entwickeln wir unsere Werkstoffe und Komponenten laufend weiter. Gemeinsam wollen wir die Chip-Ausbeute bei der Produktion von LED-Wafern erhöhen und die Wellenlängenabweichungen weiter minimieren. Wir liefern neben Suszeptoren auch weitere Graphitbauteile für alle gängigen MOCVD-Reaktoren. Und nahezu jedes Bauteil kann SiC-beschichtet werden, selbst bei Durchmessern von mehr als 1 m. a Vormontage eines Hochtemperaturofens bei der SGL Group Anwendungsspezifische Spezialgraphite für MOCVD-Reaktoren Graphite Anwendung MOCVD (Metallorganische Gasphasenepitaxie) Produkte isostatisch extrudiert vibrationsverdichtet Weichfilz Hartfilz CFC SiCbeschichtet Suszeptoren/Platter ○ ○ Deckel, Ringe, Satelliten ○ ○ 11 Full-Service-Partner für Anlagenbauer von Hochtemperaturöfen Ein Anlagenbauer kaufte Komponenten für seine „Heiße Zone“ früher einzeln ein, montierte sie bei sich und lieferte dann von dort aus. Dieser Prozess jenseits der Kernkompetenzen war komplex und verzögerte die Lieferzeit. Gemeinsam haben wir diesen Prozess optimiert. Heute fertigen wir die benötigten Produkte, montieren diese gleich bei uns und liefern vielfach direkt an die Endkunden in aller Welt. So spart unser Kunde Zeit und Geld. Nur ein Beispiel für anwendungsspezifisch optimierte Lösungen der SGL Group. 12 Feinkorngraphite für die Halbleiterindustrie Viele Anwendungen der Halbleiter produktion profitieren von unserer breiten Palette an isostatischen, extrudierten und vibrationsverdichteten Feinkorn graphiten und ihren herausragenden Eigenschaften: ̤̤ Hohe mechanische Festigkeit ̤̤ Gleichbleibend hohe Qualität ̤̤ Hohe Reinheit ̤̤ Große Bandbreite an Abmessungen ̤̤ Hohe Korrosionsbeständigkeit ̤̤ Ausgezeichnete Temperatur beständigkeit feinkorngraphit 13 SIGRAFINE® Feinkorngraphite Isostatisch, extrudiert, vibrationsverdichtet. Unsere SIGRAFINE Materialien umspannen das gesamte fertigen. Für extragroße Komponenten führen wir spezielle Spektrum an Feinkorngraphiten: von isostatischen über vibrationsverdichtete und isostatische Graphitsorten. extrudierten bis hin zu vibrationsverdichteten Graphiten. Alle Bauteile aus den genannten Materialien können bei Bedarf in höchster Reinheit geliefert werden. Zur SiC- Für die vielfältigen Anwendungen der Halbleiterindustrie Beschichtung, die die Lebensdauer der Bauteile verlängert, liefern wir das jeweils optimale Material in marktüblichen verwenden wir in der Regel isostatische Graphite. Größen. Für Heizer-Systeme eignen sich bestimmte Sorten unserer isostatischen und extrudierten Graphite. Sehr lange, einteilige Rohre lassen sich hervorragend aus extrudiertem Graphit + Mehr Information unter: www.sglgroup.com/HerstellungsprozessFeinkorngraphite Materialdaten unserer isostatischen SIGRAFINE® Feinkorngraphite Typische Eigenschaften Mittlere Korngröße Dichte Spezifischer elektrischer Widerstand Biegefestigkeit Druckfestigkeit Einheiten Isostatischer Graphit R6300 R6340 R6500 R6510 µm 20 15 10 10 R6650 7 g/cm3 1,73 1,72 1,77 1,83 1,84 µΩm 16 12 14 13 14 MPa 40 45 50 60 65 150 MPa 85 90 110 130 10-6 K-1 2,7 3,2 4,2 4,2 4,1 ≤ 200 ≤ 200 ≤ 200 ≤ 200 ≤ 200 Aschewert (gereinigt, P30) 1) ppm ppm ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10 Aschewert (hochrein, P5) 2) ppm ≤2 ≤2 ≤2 ≤2 ≤2 Wärmeausdehnung 20 – 200 °C Aschewert Materialdaten unserer extrudierten und vibrationsverdichteten SIGRAFINE® Feinkorngraphite Typische Eigenschaften Mittlere Korngröße Dichte Spezifischer elektrischer Widerstand Biegefestigkeit Druckfestigkeit Einheiten Extrudierter Graphit Vibrationsverdichteter Graphit HLM3) SDR MKUN MKUS4) 0,8 0,2 0,8 0,8 g/cm3 1,72 1,75 1,67 1,79 µΩm 7,8/9,5 9,0 10/12 8/9 MPa 19/19 33 10/10 18/17 mm MPa 40/39 – 25/25 41/39 10-6 K-1 3,0/3,5 2,2 2,3/3,2 2,7/3,3 ppm ppm ≤ 800 ≤ 500 ≤ 700 ≤ 700 Aschewert (gereinigt, P30) 1) ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10 Aschewert (hochrein, P5) 2) ppm ≤2 ≤2 ≤2 ≤2 Wärmeausdehnung 20 – 200 °C Aschewert 1) Spezifikationslimit der Aschewerte: < 30 ppm 2) Spezifikationslimit der Aschewerte: < 5 ppm 3) Ø 400 ... 780 mm; ¨ 500 x 500 ... 610 x 760 mm 4) Ø 760 ... 1360 mm; ¨ 630 x 1300 x 1420 mm 14 SIGRATHERM® Graphitweichfilze Für eine optimale thermische Isolation. c SIGRATHERM Weichfilz Unsere Graphitweichfilze bieten eine einzigartige Kombination aus thermischen, chemischen und textilen Eigenschaften. Wärmeleitfähigkeit von SIGRATHERM GFA in Abhängigkeit von der Temperatur (Vakuum-/Schutzgasatmosphäre) Dadurch eignen sie sich ideal zur Isolation von Czochralski0,6 Aufgrund spezieller Herstellungsprozesse zeichnen sich 0,5 unsere SIGRATHERM Graphitweichfilze durch eine sehr geringe Wärmeleitfähigkeit aus. Außerdem besitzen sie eine einzigartige, über die gesamte Rollenlänge besonders homogene Dicken- und Dichteverteilung. So garantieren unsere Weichfilze eine gleichmäßige und gleichbleibend hohe Isolationswirkung. Unsere SIGRATHERM Graphitweichfilze bieten wir auch in höchster Reinheit sowie in kundenspezifischen Sonderabmessungen. Wärmeleitfähigkeit [Wm-1K-1] Kristallzuchtanlagen. 0,4 Schutzgas 0,3 0,2 Vakuum 0,1 0 200 1000 2000 Temperatur [°C] Materialdaten unserer SIGRATHERM® Graphitweichfilze Typische Eigenschaften Dicke Flächengewicht Einheiten GFA5 mm 6 GFA10 11,5 g /m2 500 1000 Breite mm 1220 1270 Länge m 25 – 30 25 – 30 Aschewert ppm ≤ 400 ≤ 400 Aschewert (nachgereinigt) ppm ≤ 20 ≤ 20 Maximale Anwendungstemperatur °C 2000 bei inerter Atmosphäre oder bei Vakuum kohlenstoff- und graphitfilze 15 SIGRATHERM® Graphithartfilze Für eine mechanisch stabile thermische Isolation. Wärmeleitfähigkeit von SIGRATHERM MFA in Abhängigkeit von der Temperatur (Schutzgasatmosphäre) Wärmeleitfähigkeit [Wm-1K-1] 1,0 0,8 0,6 0,4 0,2 0 c SIGRATHERM Hartfilz mit verschiedenen Beschichtungsoptionen 1000 0 2000 Temperatur [°C] Platten und Zylinder aus SIGRATHERM Graphithartfilzen zum Beispiel maßgefertigte Zylinder in nahezu jeder Größe überzeugen vor allem durch gleichbleibend gute thermische anbieten, wovon besonders Polysilizium-Hersteller profitieren. Isolationseigenschaften. Darüber hinaus sind sie erosionsfest, Speziell für die Halbleiteranwendungen bieten wir auch Hart- lassen sich leicht verarbeiten und erlauben selbsttragende filze in hochreiner Qualität. Konstruktionen zur Isolation auch größerer Bauteile. Als Konvektionssperre und Reflexionsschicht lassen sich eine Neben SIGRATHERM Isolationsplatten als Halbzeug liefern oder mehrere Lagen Graphitfolie aufbringen, die untrennbar wir auch einsatzfertige Bauteile nach kundenspezifischen mit dem Isolationsfilz verbunden sind. Für einen mechanischen Anforderungen. Oberflächenschutz bieten wir einen Isolationsverbund aus Durch unsere innovativen Verbindungslösungen können wir Filz und beidseitig aufgebrachtem CFC-Gewebe. Materialdaten unserer SIGRATHERM® Graphithartfilze Typische Eigenschaften Einheiten Platten Zylinder MFA RFA MFA RFA g/cm3 0,2 0,2 0,2 0,2 Druckfestigkeit MPa 1 1 1 1 Biegefestigkeit MPa 1 1 1 1 % < 1,0 < 1,0 < 1,0 < 1,0 ppm ≤ 1000 ≤ 1000 ≤ 1000 ≤ 1000 ppm < 20 < 20 < 20 < 20 1524/1219 1524/1219 unbegrenzt 2000/2500 20 – 400 20 – 400 150 300 Dichte Feuchtigkeitsaufnahme Aschewert Aschewert (nachgereinigt) Länge/Breite Durchmesser max /Länge max Dicke Wandstärke max Maximale Anwendungstemperatur mm mm °C 2000 bei inerter Atmosphäre oder bei Vakuum 16 CARBONFASERVERSTÄRKTER KOHLENSTOFF SIGRABOND® carbonfaserverstärkter Kohlenstoff (CFC) Für leichte, steife und langlebige Trägerkonstruktionen. Mechanisch hoch belastbar, gering in Gewicht und thermischer Ausdehnung, extrem korrosions- und temperaturbeständig und auch noch hochrein: Das sind unsere SIGRABOND Verbundwerkstoffe. Neben Platten und Profilen fertigen wir aus SIGRABOND auch rotationssymmetrische Bauteile wie Tiegel und Zylinder. Unsere SIGRABOND Performance ist eine neu entwickelte c SIGRABOND Performance CFC-Platte mit verbesserter Steifigkeit für noch leichtere Bauteile wie Wafer-Trägersysteme für PEVCD-Anlagen oder Abdeckplatten für DSS-Anlagen. SIGRABOND FilWound- Wärmeausdehnungskoeffizient Produkte kommen vorwiegend als CFC-Stütztiegel in CZAnlagen zum Einsatz. Je nach Kundenanforderung werden 12 unsere CFC-Halbzeuge mechanisch bearbeitet oder auch 10 senkrecht zur Faserrichtung 8 6 mittels SiC-Beschichtung weiterveredelt. α = x × 10-6/K 4 2 parallel zur Faserrichtung 0 -2 0 400 1200 2000 Temperatur [°C] Materialdaten unserer SIGRABOND® carbonfaserverstärkten Kohlenstoffe Typische Eigenschaften Einheiten Platten Rotationssymmetrische Teile Performance Standard FilWound g/cm3 1,5 1,5 1,4 Biegefestigkeit MPa 200 150 E-Modul GPa 70 60 Dichte abhängig vom Lagenaufbau Interlaminare Scherfestigkeit MPa 8 8 Aschewert ppm ≤ 1000 ≤ 1000 ≤ 1000 Aschewert (nachgereinigt) ppm ≤ 10 ≤ 10 ≤ 10 Länge/Breite 1) Durchmesser max /Länge max mm 1220 x 1220/2450 x 1220 Sondermaße auf Anfrage 1220 x 1220/2450 x 1220 Sondermaße auf Anfrage 2000/2500 Dicke Wandstärke max mm 1,8 – 15 0,7 – 30 100 Maximale Anwendungstemperatur 1) Standardabmessung °C 2000 bei inerter Atmosphäre oder bei Vakuum sic-beschichtung 17 SIGRAFINE® SiC Coating Zur Verlängerung der Lebensdauer von Graphitkomponenten. SIGRAFINE SiC Coating ist eine dichte, verschleißfeste Mit dem Coating verlängern wir die Lebensdauer von Siliziumcarbid-Beschichtung mit hoher Korrosions- und Graphitkomponenten und erzielen hochreine Oberflächen- Temperaturbeständigkeit sowie einer hervorragenden strukturen, wie sie bei der Verarbeitung von Halbleiter Wärmeleitfähigkeit. Mittels chemischer Gasphasenabschei- materialien gefordert sind. Die SGL Group liefert SiC- dung (CVD-Verfahren) bringen wir SiC in dünnen Schichten beschichtete Produkte aus hochfestem isostatischem Graphit auf den Graphit auf. und carbonfaserverstärktem Kohlenstoff. Dazu zählen Die Beschichtung verbessert die Produktqualität, erhöht die Komponenten für die Polysilizium-Herstellung oder auch Prozesseffizienz und senkt somit die Gesamtbetriebskosten Reflektoren für CZ-Anlagen sowie Suszeptoren für die unserer Kunden. Silizium-Epitaxie und für MOCVD-Reaktoren. Reinheitsdaten SIGRAFINE® SiC Coating (Glow Discharge Mass Spektroskopie) Element ppm Element ppm Natrium < 0,05 Kupfer < 0,01 Magnesium < 0,01 Zink < 0,05 Aluminium < 0,04 Gallium < 0,05 Phosphor < 0,01 Germanium < 0,05 Schwefel < 0,04 Arsen < 0,005 Kalium < 0,05 Indium < 0,01 < 0,01 Kalzium < 0,05 Zinn Titan < 0,005 Antimon < 0,01 Vanadium < 0,001 Wolfram < 0,01 Chrom Mangan < 0,05 Tellur < 0,01 < 0,005 Blei < 0,01 < 0,01 Wismut < 0,01 Eisen Nickel < 0,005 c Mikroskopie der SiC Oberfläche Materialdaten SIGRAFINE® SiC Coating Typische Eigenschaften Einheiten Struktur Orientierung Dichte Fraction [%] g/cm3 Stöchiometrie Wert Analysetechnik Beta (cubic) 3C Polytype XRD 111 preferred XRD 3,2 XRD 1:1 Si/C XPS GPa 40 Nanoindentation MPa m1/2 3,0 Vickers identer 10-6 K-1 4,3 Dilatometer GPa 435 Nanoindentation Typische Schichtdicke µm 100 Beta backscatter Oberflächenrauheit µm 2,5 Profilometer Härte Bruchzähigkeit Wärmeausdehnung 100 – 600 °C E-Modul 18 Gemeinsam mit Ihnen finden wir die beste Lösung. Die faszinierenden Möglichkeiten des Werkstoffs Carbon begeistern uns und spornen uns an, gemeinsam mit unseren Kunden die optimale Lösung zu entwickeln. Mit unserem umfassenden Materialportfolio und wertvollen Spezialwissen fertigen wir maßgeschneiderte Produkte – selbst für anspruchsvollste Anwendungen. Konstant hohe Qualität, weltweite Präsenz, Innovationskraft und langjährige Erfahrung unserer Mitarbeiter machen uns zum zuverlässigen Partner unserer Kunden. Wie immer Ihre Herausforderung aussieht – gemeinsam mit Ihnen finden wir die beste Lösung. sgl group – The Carbon Company 19 SGL Group – The Carbon Company. Ein weltweit führender Hersteller von Produkten aus Carbon. ̤̤ Einzigartiges Produktportfolio ̤̤ Innovative Technologien und Lösungen ̤̤ Produktionsstandorte nahe den Absatzmärkten ̤̤ Technology & Innovation Center in Deutschland mit internationalen Netzwerken b Bearbeitung eines SIGRAFINE Mäanderheizers bei SGL Group Wir verfügen über ein breites Rohstoffverständnis, Mit dieser breiten Basis bieten wir unseren Kunden ausgereifte Herstellungsprozesse und langjähriges beste Lösungen. Daher unser Claim: Broad Base. Anwendungs- und Engineering-Know-how. Best Solutions. Er wird gestützt durch SGL Unser Portfolio an Kohlenstoff-, Graphit- und Excellence, unsere Unternehmensphilosophie der Carbonfaserprodukten ist umfassend und unsere kontinuierlichen Verbesserung. integrierte Wertschöpfungskette reicht von Carbonfasern bis hin zu Verbundwerkstoffen. Mit einem flächendeckenden Vertriebsnetz und modernen Produktionsstandorten in Europa, Nordamerika und Asien sind wir weltweit nah bei unseren Kunden. + Mehr Informationen unter www.sglgroup.com sglgroup sglgroup Kontakt EUROPA/NAHER OSTEN/AFRIKA SGL CARBON GmbH Drachenburgstraße 1 53170 Bonn/Germany [email protected] AmeriKa SGL CARBON LLC 900 Theresia Street PE 15857 St. Marys/USA [email protected] asien/paZifiK SGL CARBON Far East Ltd. 12 Fl, Shanghai Oriental Plaza, 31 Wujiang Road Shanghai 200041/PR China [email protected] ® eingetragene Marken der SGL CARBON SE 07 2015/0 2NÄ Printed in Germany Die Angaben in dieser Druckschrift entsprechen dem heutigen Stand unserer Kenntnisse und sollen über unsere Produkte und deren Anwendungsmöglichkeiten informieren. Sie haben somit nicht die Bedeutung, bestimmte Eigenschaften für einen konkreten Einsatzzweck zuzusichern. Etwaige bestehende gewerbliche Schutzrechte sind zu berücksichtigen. Eine einwandfreie Qualität gewährleisten wir im Rahmen unserer „Allgemeinen Verkaufsbedingungen“. Graphite Materials & Systems SGL CARBON GmbH Söhnleinstraße 8 | 65201 Wiesbaden/Germany www.sglgroup.com/gms
