Poster IGF-07/09

Projekt der Industriellen Gemeinschaftsforschung
Laufzeit: 01.07.08 – 30.06.10
Vorhabensnummer:
15693 BR
Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V.
European Society of Thin Films
Material- und Designoptimierungen
für hochstabile AR-Schichten auf
Saphirglas („MARS“)
Das Forschungsvorhaben der EFDS wurde im Programm zur Förderung der „Industriellen Gemeinschaftsforschung (IGF)“ vom Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie über die AiF finanziert.
Forschungsziel
•Zusammenhänge zwischen den mechanischen
Eigenschaften dünner Schichten, deren Anordnung
in Mehrschichtsystemen und daraus resultierender
Kratz- und Abriebfestigkeit untersuchen
•Steigerung der Kratzfestigkeit von AR-Schichten
auf Saphir
Anwendungsbeispiel für entspiegeltes Saphirglas und schematische
Darstellung des Scanning-Scratch-Testers
Wirtschaftliche Bedeutung für KMU‘s
•Verschiedene hochbrechende Materialien
beeinflussen die Kratzfestigkeit trotz ähnlicher
physikalischer Kennwerte stark
• Art des Schichtversagens von Gesamtdicke
abhängig, optimale Kratzfestigkeit bei rund 500 nm
•Kratzfestigkeit kann durch thermische
Nachbehandlung gesteigert werden.
Umsetzung der Ergebnisse
•Es wurden Demonstratoren für eine kratzfeste
Beschichtungen mit guten Entspiegelungseigenschaften auf Substraten eines Projektpartners
abgeschieden
kritische Last [mN]
400
350
300
360
320
280
HfO2
240
250
Y2O3
TiO2
ZrO2
0
HfO2
500
1000
1500
2000
Gesamtschichtdicke [nm]
H-Material
Kritische Last als Maß der Kratzfestigkeit für verschiedene
hochbrechende Materialien und verschiedene Gesamtschichtdicken
16
14
12
Reflexion [%]
Forschungsergebnisse
440
400
kritische Last
•Herstellung besonders kratzfester Entspiegelungen
für stark beanspruchende Umgebungen
•Möglichkeit zur Optimierung bestehender
Beschichtungen und Prozesse
beidseitige Entspiegelung
Saphirglas
10
8
6
4
2
0
400
500
600
700
800
Wellenlänge [nm]
Erzielte Entspiegelungswirkung bei beidseitiger kratzfester
Antireflexbeschichtung
Unternehmen und Organisationen des Projektbegleitenden Ausschusses:
• Cotec GmbH
• ASMEC GmbH
• Innowep GmbH
• Glashütter Uhrenbetrieb GmbH
• Optics Balzers Jena GmbH
• Leybold Optics GmbH
• Frank Optic Products GmbH
• Layertec GmbH
• Sentronic GmbH