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BAUGRUPPENFERTIGUNG
Neue ESD-Normen IEC 61340-5-1 und IEC 61340-5-2 gelten seit 08/2007
ESD unter Kontrolle
Nach mehrjähriger Diskussion in den internationalen Fachgremien sind im vergangenen Jahr die neuen Versionen
der ESD-Normen erschienen.
ESD Ausrüstungen
Überprüfungsintervalle
Anmerkungen
Personenausrüstungen
Handgelenkbandsysteme
+ Schuhe
täglich
Vor Betreten der EPA
Bekleidung
halbjährlich
oder nach jedem Waschvorgang, Stichprobenprüfung
Handschuhe, Fingerlinge
täglich
mit der Überprüfung des Handgelenkbandsystems
Arbeitsplätze
jährlich
Fußboden
jährlich
Eventuell im Winter und im Sommer, um Abhängigkeiten von der Luftfeuchtigkeit
festzustellen.
Ionisatoren
monatlich, jährlich
Monatliche Kontrolle ob Geräte in Betrieb sind und ob die Pins sauber sind,
jährlich: Kalibrierung, wenn vom Hersteller nicht anders vorgeschrieben
Verpackungsmaterialien
nach Anlieferung Stichprobenprüfung, halbjährlich
Nach Anlieferung neuer Verpackungsmaterialien müssen diese auf ordnungsgemäße
Funktion/Eigenschaften stichprobenartig überprüft werden. Halbjährlich muss
überprüft werden, ob die Eigenschaften der Verpackungsmaterialien noch erfüllt werden.
Maschinen, Anlagen
halbjährlich
Während der Überprüfung muss festgestellt werden, ob die Maschine noch
ordnungsgemäß geerdet ist und ob alle eingesetzten ESD-Materialien (z. B. Plexiglas)
ihre Eigenschaften besitzen.
Tabelle 1: Empfohlene Intervalle für die Überprüfung auf Einhaltung von ESD-Normen
Die deutsche Ausgabe der DIN EN 613405-1 ist 07/2008 erschienen, die Ausgabe der
DIN EN 61340-5-2 wird voraussichtlich
Ende dieses Jahres verfügbar sein.
Zu beachten ist, dass es sich hier um den 1.
Internationalen Standard handelt. Damit
ist die korrekte Bezeichnung IEC 61340-5-1
Edition 1. Das Handbuch IEC 61340-5-2 ist
klassifiziert als Technischer Report (TR). Die
neuen Versionen unterscheiden sich komplett von den vorhergehenden Ausgaben. Das
liegt daran, dass inzwischen eine Einigung
mit der ESD-Association erzielt wurde und
der amerikanische Standard ANSI/ESD S20.20
komplett in diese neuen Fassungen eingeflossen ist. Das kann Vor- und Nachteile haben. Ein Vorteil ist, wir haben einen weltweit
einheitlichen ESD-Standard. Ein Nachteil
kann sein, dass der amerikanische Standard
fast wortwörtlich übernommen wurde.
˘ AUTOR
Dipl.-Ing Hartmut Berndt ist Inhaber und Präsident der B.E.STAT
group. Er ist Experte in nationalen
und internationalen Normungsgremien, Sekretär des zuständigen IEC
Komitees TC 101 „Electrostatics“.
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Der Grundbaustein „ESD-Kontrollprogramm“ wurde 100 %ig übernommen und
bildet den Schwerpunkt für alle weiteren
ESD-Anforderungen. Grundsätzlich muss
festgestellt werden, dass sich die Grundprinzipien des ESD-Schutzes nicht geändert
haben, jedoch die Art und Weise der Umsetzung. So muss heute jede Firma ein eigenes ESD-Kontrollprogramm erstellen.
Die neue Norm ist dabei behilflich, allerdings gibt es kein konkretes ESD-Kontrollprogramm. Jede Firma muss ausgehend von ihren Anforderungen, den
Anforderungen der ESDS und Baugruppen
ein eigenes Programm erarbeiten.
Ein Nachteil ist hier gerade die Tatsache, dass
jede Firma ein eigenes Programm besitzen
kann, das sich von dem einer anderen Firma
total unterscheidet. Problematisch ist es,
wenn es sich z. B. um einen Auftragsfertiger
handelt und er viele Kunden hat. Jeder Kunde kann ein eigenes (sehr unterschiedliches)
ESD-ontrollprogramm besitzen, das dann
auch von ihm umgesetzt werden muss.
Erarbeitung eines
ESD-Kontrollprogrammes
Die neue Norm erfordert die Erarbeitung
eines ESD-Kontrollprogramms und eines
ESD-Kontrollprogramm-Planes, der sowohl
administrative als auch technische Maßnahmen enthält. Der administrative Teil beinhaltet den Plan für die Einführung, den
Schulungsplan sowie den Plan zur Überprüfung der ESD-Kontrollmaßnahmen.
Ausgehend von der ESD-Empfindlichkeit
der zu bearbeitenden Bauelemente und
Baugruppen (ESDS) sind die einzelnen ESDKontrollmaßnahmen an den notwendigen Arbeitsplätzen festzulegen. Sind ESDKontrollmaßnahmen vorhanden, müssen
diese erfasst und auf ihre Notwendigkeit
und Wirksamkeit überprüft werden.
Zu den administrativen Anforderungen
gehört der eigentliche ESD-Kontrollprogramm-Plan. Dieser besteht aus
˘ Training,
˘ Überprüfungsmethoden,
˘ Erdungssysteme,
˘ Personenerdung,
˘ EPA-Anforderungen und -Ausrüstungen,
˘ Verpackungssysteme sowie
˘ Kennzeichnung.
Sehr wichtig ist das Training des Personals. Nur wenn das Personals unterwiesen
ist und mit den notwendigen ESD-Kontrollmaßnahmen vertraut ist, kann das
Personal bewusst mit den ESD-Maßnah-
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BAUGRUPPENFERTIGUNG
men umgehen und diese einhalten. Die
Schulung des Personals muss, wenn möglich, vor der Einführung der ESD-Kontrollmaßnahmen erfolgen. Wiederholungsschulungen müssen mindestens einmal
im Jahr und bei Veränderungen oder neuen ESD-Kontrollmaßnahmen durchgeführt
werden. Folgende Fragestellungen und
Schwerpunkte muss das Personaltraining
beinhalten:
˘ Was ist ESD? Wie entstehen elektrostatische Aufladungen?
˘ Was kann dagegen getan werden?
˘ Wie beeinflussen elektrostatische Entladungen die Produktqualität?
˘ Erkennen von ESDS,
˘ ESD-Kontrollmaßnahmen (Personenausrüstungen, ESD Arbeitsplatzausrüstungen),
˘ Verpackungstechnologien (Verpackungsmaterialien) sowie
˘ spezielle ESD-Handhabungstechnologien.
Neu ist der Plan zur Überprüfung der ESDKontrollmaßnahmen. Er beinhaltet alle
ESD-Maßnahmen, die Überprüfungszyklen und die notwendigen Messverfahren
sowie die festgelegten Grenzwerte. Die
Überprüfung muss in den vorgegeben Zeitabständen erfolgen. Die Messwerte sind zu
erfassen und zu dokumentieren. Gibt es
Abweichungen oder werden Grenzwerte
überschritten, ist der ESD-Koordinator zu
informieren. Grundsätzlich muss eine Erstprüfung aller ESD-Kontrollmaßnahmen
vor Inbetriebnahme und dann regelmäßige Kontrollen durchgeführt werden
(Tabelle 1).
Im ESD-Überprüfungsplan sind neben den
Messverfahren auch die Messgrößen und
die Grenzwerte festzulegen. Werden spezielle Messverfahren verwendet, sind diese zu spezifizieren. Ändern sich die Messverfahren oder die Parameter, dann muss
auch der Überprüfungsplan geändert werden. Der Plan enthält zusätzlich die notwendigen Vorlagen, für die Erfassung der
Messwerte.
Nachdem der administrative Plan erstellt
wurde, sind die technischen ESD-Kontrollmaßnahmen festzulegen. Dabei wird
zwischen Maßnahmen für das Personal
und den eigentlichen ESD-Ausrüstungen
unterschieden. Zu den technischen Maßnahmen gehören:
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ESD Maßnahme
Anforderung Überprüfungsmethode
Anforderung Produktprüfung
Norm
Norm
Grenzwerte
ANSI/ESD S1.1
≤ 1 x 105 Ω (innen)
> 1 x 107 Ω (außen)
Grenzwerte
Handgelenkband
siehe Handgelenkbandsystem
Handgelenkbandsystem
DIN EN
61340-5-1 A.1
Spiralkabel
siehe Handgelenkbandsystem
ANSI/ESD S1.1
< 5 x 106 Ω oder
vom Anwender
festgelegter Wert
Schuhwerk
siehe Personen-Schuhwerk System
DIN EN
61340-4-3
leitfähig
< 1 · 105 Ω
ableitfähig
1 · 105 Ω ≤ R
≤ 1 · 108 Ω
Personen-Schuhwerk-System
DIN EN
61340-5-1 A.2
Personen-SchuhwerkFußboden-System
siehe Personen-Schuhwerk System
R < 3.5 · 107 Ω
R < 3.5 · 107 Ω
Keine
Keine
DIN EN
61340-4-5
Rg < 3,5 x 107 Ω
oder Rg < 1 x 109 Ω
und Körperspannung < 100 V
(Mittelwert der 5
höchsten Spitzen)
Tabelle 2: Anforderungen an die Personenerdung
Bemerkung 1: Wird ESD-Bekleidung als Teil des Personenerdungssystem mit dem Handgelenkband
verwendet, dann muss das gesamte System einen Widerstand kleiner 3,5 x 107 Ohm aufweisen.
Bemerkung 2: RG bedeutet Widerstand gegen Erde
ESD Maßnahme
Anforderung Überprüfungsmethode
Arbeitsplatzoberfläche,
Lagerregale, Wagen
DIN EN
61340-2-3
Rg < 1 ·
Fußboden
DIN EN
61340-4-1
Rg < 1 · 109 Ω
Stühle
DIN EN
61340-2-3
Rg < 1 · 1010 Ω
Anforderung Produktprüfung
109 Ω
DIN EN
61340-2-3
DIN EN
61340-4-1
Rgp < 1 · 109 Ω
Rp-p < 1 · 109 Ω
(siehe Note 6)
Rgp < 1 · 109 Ω
(siehe Note 4 und 5)
(8.6.3. mit Ausnahme, dass die Messung gegen Erde erfolgt)
DIN EN
61340-2-3
Rgp < 1 · 1010 Ω
(Widerstand zu einem Erdungspunkt
– Messverfahren
– 8.6.3.)
Bekleidung
ANSI/ESD STM2.1 Rp-p < 1 · 1012 Ω
ANSI/ESD STM2.1 Rp-p < 1 · 1012 Ω
Bekleidung, erdungsfähig
ANSI/ESD STM2.1 Rp-p < 1 · 109 Ω
ANSI/ESD STM2.1 Rp-p < 1 · 109 Ω
Maschinen, Anlagen
Zur Zeit gibt es keine Anforderungen, außer das alle Teile geerdet sein
müssen und keine Materialien verwendet werden dürfen, die sich elektrostatisch aufladen.
Ionisatoren
ANSI/ESD STM 3.1
Entladezeit
von 1 000 V
auf 100 V
ANSI/ESD STM 3.1
< 20 s
Offsetspannung/ < ± 50 V
Balance
Entladezeit
von 1 000 V
auf 100 V
< 20 s
Offsetspannung/ < ± 50 V
Balance
Tabelle 3: Anforderungen an die Arbeitsplatzausrüstungen mit zugeschnittenen ESD-Anforderungen („Anpassung“ bzw. Tailoring)
1: Handgelenkband und Kabel
2: Arbeitsoberflächen
3: Beispiele eines gemeinsamen Erdungspunktes
4: ESD-Fußbodenmatte
5: ESD-Fußboden
6: Funktionserde oder Schutzerde (falls Funktionserde verwendet wird, sollte sie mit Schutzerde
verbunden sein)
˘ Erdungssystem,
˘ Personenerdung,
˘ ESD-Ausrüstungen (EPA),
˘ Verpackungsmaterialien und
˘ Kennzeichnungen.
Die Tabelle 2 zeigt die Anforderungen
an die Personenausrüstungen und die
Tabelle 3 die Arbeitsplatzausrüstungen.
Zwei Grundprinzipien müssen immer
gelten:
˘
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1. Elektrostatische Aufladungen zu vermeiden und
2. Elektrostatische Aufladungen gefahrlos abzuleiten.
Es wird nicht möglich sein, elektrostatische Aufladungen 100 %ig zu vermeiden.
Es gibt immer Quellen für elektrostatische
Aufladungen, also muss auch der zweite
Grundsatz unbedingt erfüllt werden.
Personenerdung
Grundsätzlich müssen alle Personen geerdet und mit dem Potentialausgleich verbunden werden. Das Handgelenkband
bzw. das Handgelenkbandsystem ist die
beste Möglichkeit um zu gewährleisten,
dass die Personen nicht elektrostatisch
aufgeladen sind. In sitzender Tätigkeit gibt
es keine bessere Methode als das Handgelenkband. In stehender Tätigkeit kann das
Handgelenkbandsystem oder die Möglichkeit der Erdung der Person über die
Schuhe und den Fußboden angewandt
werden. Der Systemwiderstand muss dann
dem Wert in der Tabelle 2 entsprechen.
Den Zusammenhang zwischen Personenableitwiderstand und elektrostatischer
Bild 1: Zusammenhang zwischen Personenaufladung und Widerstand zum Erdpotential [4]
Aufladung einer Person zeigt das Bild 1. Bei
einer maximal zulässigen Personenaufladung von 100 V darf der Systemwiderstand Person-Schuhe-Fußboden den Wert
von 3.5 x 107 Ω nicht übersteigen.
Folgende Besonderheiten gegenüber den
vorhergehenden Normen sind zu beachten:
Grundsätzlich wird zwischen Personenerdung und ESD-Arbeitsplatz bzw. ESD-Bereich unterschieden. Die Maßnahmen zur
Personenerdung sind unbedingt umzusetzen. Die Ausrüstungen des ESD-Arbeitsplatzes bzw. -Bereiches sind optional
und als Ergänzung zur Personenerdung zu
betrachten.
Außerdem enthält die Tabelle 2 Vorschriften zur Produktprüfung. Diese Prüfungen
sind durch den Hersteller durchzuführen.
Der Anwender kann diese Prüfungen auch
selbst zur Kontrolle durchführen. Der ESDKoordinator ist verpflichtet, nur die ESDProdukte einzusetzen, die den Anforderungen der Norm entsprechen.
ESD-Arbeitsplatz und ESD-Bereich (EPA)
Die Tabelle 3 enthält alle möglichen ESDMaßnahmen für die Einrichtung von einem
Bild 2: Erdungssystem (EPA mit Referenzmasse) [3]
Technische Anforderungen
ESD-Eigenschaft
Prüfverfahren (siehe Note 2)
Geforderter Grenzwert
Verpackung
elektrostatisch
ableitfähig
IEC 61340-2-3
elektrostatisch
leitfähig
IEC 61340-2-3
1 x 102 ≤ Rs < 1 x 105 Ω
abschirmend (Beutel)
ANSI/ESD STM 11.31
<50 nJ
1 x 105 ≤ Rs < 1 x 1011 Ω
(siehe Note 1)
Tabelle 4: Verpackungsmaterialien [3]
Note 1: Auf die Norm DIN EN 61340-2-3 ist Bezug zu nehmen und das Messverfahren für den Oberflächenwiderstand ist anzuwenden.
Note 2: Für die Produktqualifikation von Verpackungsmaterialien muss die Umgehungsbedingung für die Messung bei 12 % r. F. und 23 °C liegen.
Note 3: Low charging Material ist nicht definiert und nicht erlaubt.
Note 4: Die ESD-Schutzverpackung und die Kennzeichnung müssen in Übereinstimmung mit den
Kundenverträgen, Einkaufsbestellungen, Zeichnungen oder anderen Dokumentationen
erfolgen. Wenn in diesen Dokumenten keine Definitionen erfolgt sind, dann muss die Firma
die Anforderungen für die ESD-Verpackungen in dem ESD-Kontrollprogrammplan festlegen.
Wenn notwendig, muss die Verpackung für alle Materialbewegungen und Transporte
innerhalb einer EPA, zwischen EPAs, zwischen Arbeitsstätten, zu Serviceaktivitäten außerhalb der Firma und zum Kunden definiert werden.
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ESD-Arbeitsplatz oder einen ESD-Arbeitsbereich. Wenn Abweichungen zu diesen
ESD-Maßnahmen festgelegt werden, sind
diese zu begründen. Die Anforderungen
weichen im Wesentlichen nicht von den
früheren ESD-Anforderungen aus der vorhergehenden ESD-Norm ab.
Das Bild 2 zeigt ein Erdungssystem für die
EPA. Es wurde wesentlich vereinfacht.
Die einzige Abweichung gibt es bei der
ESD-Bekleidung. Hier wird zwischen leitfähiger und ableitfähiger Bekleidung unterschieden. Begründet ist dies dadurch,
dass es ESD-Bekleidung mit z. B. Carbonund Metallfasern gibt, die außen zugängig
sind, und es andere ESD-Bekleidung gibt,
die aus einer sogenannten Core-Faser beseht. Diese Fasern besitzen einen leitfähigen Kern, der nicht durch eine Widerstandsmessung überprüft werden kann.
Beide Materialien erfüllen aber die heutigen ESD-Anforderungen.
Eine andere Besonderheit ist der Einsatz
von Aluminium oder eloxiertem Material.
Aluminium wird sehr oft verwendet. Vor
vielen Jahren wurde es allerdings als ungeeignetes Material eingestuft. Trotzdem
wird es weiter verwendet.
Aluminium ist nach einer gewissen Zeit
ein elektrostatisch isolierendes Material,
Grund ist die Oxidschicht auf der Oberfläche, die sich durch den Kontakt mit der
Umgebungsluft aufbaut und immer dicker
wird. Die Dauer für die Bildung der Oxidschicht ist nicht abschätzbar. Sie hängt von
den aktuellen Umgebungsbedingungen
ab. Aus diesem Grund muss in Zukunft Aluminium in einer EPA vermieden werden.
Unter dem Punkt 5.1.3. Anpassung oder
besser wie im Englischen „Tailoring“ wird
beschrieben, dass jede Firma (Organisation) ihre eigenen ESD-Anforderungen und
-Kontrollmaßnahmen festlegen kann, je
nachdem wie die Empfindlichkeit der verwendeten Bauelemente und Baugruppen
eingestuft wurde. Voraussetzung ist die
Analyse der vorhandenen ESDS, die verarbeitet werden. Dies ist schwierig, weil
nicht jede Firma die ESDS analysieren kann
und viele Hersteller machen nur ungenaue Angaben zur eigentlichen ESD-Empfindlichkeit.
Dies ist zum einen darin begründet, dass
„schlechte“ oder hohe ESD-Empfindlichkeit
nicht gerade ein Verkaufsargument ist.
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Zum anderen ist die Frage nach dem verbindlichen Testmodell für die ESDS nicht
endgültig geklärt. Jede Firma benutzt z. B.
verschiedene CDM-Modelle.
Das sogenannte Tailoring lässt die freie
Gestaltung des ESD-Bereiches zu. Es ist zu
beachten, dass aber eine umfangreiche
Kenntnis des ESD-Problematik vorausgesetzt wird. Danach kann das ESD-Kontrollprogramm erstellt werden. Warum ESDKontrollmaßnahmen eingeführt oder nicht
umgesetzt werden, ist in jedem Fall zu begründen. Sehr wichtig ist die Qualifikation
und Erfahrung des ESD-Koordinators.
Ein weiterer Nachteil ist, dass ESD-Kontrollmaßnahmen bzw. -Kontrollprogramme verschiedener Firmen nicht mehr vergleichbar sind, besonders wenn eine Firma
z. B. Auftragsfertiger (EMS) ist und mehrere
Kunden hat. Jeder Kunde hat ein eigenes
ESD-Kontrollprogramm und der Auftragsfertiger muss die ESD-Anforderungen jedes Kunden erfüllen.
Anforderungen an
Verpackungsmaterialien
Nach der neuen Norm gibt es für ESD-gerechtes Verpackungsmaterial drei zulässige Kategorien
˘ conductive (leitfähig),
˘ dissipative (ableitfähig) und
˘ shielding (abschrimend).
Die Grenzwerte für die einzelnen Kategorien haben sich nicht geändert. Die Materialklassifikation, „low charging“ wurde
entfernt. Mit den oben angegebenen drei
Kategorien kann ESD-Verpackungsmaterial
ausreichend klassifiziert werden. Alle drei
Kategorien können durch Grenzwerte eindeutig definiert werden. Standardmessverfahren gestatten die Überprüfung der
Grenzwerte. Die Eigenschaft „low charging“ wird also nicht mehr benötigt, außerdem war es immer schwierig Messungen zur Überprüfung dieser Kategorie
durchzuführen. Grenzwerte konnten nicht
festgelegt werden.
Entscheidend ist aber auch der Einsatz der
Materialien. In einer EPA dürfen alle drei Kategorien verwendet werden. Werden aber
ESDS außerhalb der EPA transportiert, dann
dürfen nur Materialien eingesetzt werden, die die Eigenschaften „abschirmend“
erfüllen. Materialien, die ableitfähig sind,
sind aber nicht ausreichend abschirmend.
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˙
ÜBER BESTAT
Die B. E. Stat Group liefert ein ESD-Komplettsystem beginnend bei der Erstellung
des ESD-Kontrollprogramms, Lieferung
der kompletten ESD-Ausrüstungen, Training und Qualifizierung der ESD-Koordinatoren sowie die Abnahme und Auditierung der fertiggestellten EPA.
Bild 3:
Kennzeichnung von ESDS
Bild 4: Kennzeichnung von
ESD-Material, das in eine
EPA gebracht werden kann
D. h. je nach Festlegung in der Verpackungsvorschrift der Firma „Organisation“, darf diese Art für den Transport von
ESDS außerhalb einer EPA eingeschränkt
verwendet werden.
In der Tabelle 4 sind die Eigenschaften einschließlich den Standardgrenzwerten angegeben. Außerdem werden die normgerechten Messverfahren angegeben. Der
Grenzwert „Static Decay Time“ oder Entladezeit/Ableitfähigkeit wird nicht mehr
angegeben. Das hat zum einen den Vorteil, dass er nicht mehr gemessen werden
muss (das Messverfahren ist sehr aufwendig und wenig reproduzierbar) aber
oberhalb von einem Widerstandswert von
1 x 109 Ohm ist das Messverfahren auch
sehr abhängig von verwendeten Messsystem und dem Messaufbau. Es ist nicht
einfach, Hochohmwiderstände zu messen. Herkömmliche Hochohmmessgeräte
haben gerade in diesem Bereich Messfehler von mehr als 20 %.
Anforderung an die Kennzeichnung
Alle ESDS müssen gekennzeichnet werden. Weiterhin gibt es die bekannten ESDKennzeichen für ESD-Ausrüstungen. Beide
Kennzeichnungssymbole haben sich nicht
geändert.
Bild 3 zeigt die Kennzeichnung von elektrostatisch empfindlichen Bauelementen
(ESDS) und das Symbol ist ein Symbol, das
ESD-Ausrüstungen kennzeichnet, die die
ESD-Anforderungen erfüllen. Bei Verpackungsmaterialien wird „EPA“ im Bild 4
durch S für Shielding Material, D für dissipatives Material und C für leitfähiges
Material ersetzt.
Zusammenfassung
Mit den neuen ESD-Normen wurde alle
verfügbaren weltweiten Normen angepasst. Jede Firma, die ESDS herstellt oder
verarbeitet, muss jetzt ein eigenes ESDKontrollprogramm erstellen. In diesem
sind alle notwendigen ESD-Maßnahmen
festzulegen. Es ist eine große Eigen verantwortung jeder Firma notwendig.
ESD-Koordinatoren müssen benannt und
qualifiziert werden. Ein wesentlicher Bestandteil aller ESD-Maßnahmen ist das
Training des Personals. Das Personal muss
in die Einführung des ESD-Kontrollprogramms aktiv eingebunden werden. Einige Prüfnormen und -vorschriften liegen
zur Zeit noch als amerikanischer ESD
Association Standard vor. In den nächsten
2 Jahren sollen diese aber als IEC Standard
veröffentlicht werden.
Literatur
[1] IEC 61340-5-1 Ed. 1 Electrostatics –
Part 5-1: Protection of electronic devices from electrostatic phenomena –
General requirements
[2] IEC 61340-5-2 Ed. 1 Electrostatics –
Part 5-2: Protection of electronic devices from electrostatic phenomena –
User quide
[3] DIN EN 61340-5-1 Ed. 1 Elektrostatik –
Teil 5-1: Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene – Allgemeine Anforderungen
[4] DIN EN 61340-5-2 Ed. 1 Elektrostatik
– Teil 5-2: Schutz von elektronischen
Bauelementen gegen elektrostatische
Phänomene - Benutzerhandbuch
[5] H. Berndt: Electrostatic discharge (ESD),
the Technology Roadmap of the Semiconductor Industries to 2020 and the
development of PCB’s; APEX 2008, Las
Vegas, NV, USA
˘
infoDIRECT
410pr1008
www.productronic.de
˘ Link zur Bestat
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