Grundlagen der Mess- und Sensortechnik
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Grundlagen der Mess- und Sensortechnik
Grundlagen der Mess- und Sensortechnik © Sönke Carstens-Behrens SoSe 2010 RheinAhrCampus 1 Inhaltsverzeichnis 1 Grundlagen des Messens 1.1 1.2 1.3 1.4 Motivation . . . . . . . Grundlegende Begrie SI-Einheitensystem . . Normale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 Messverfahren 2.1 2.2 2.3 2.4 Ausschlag- und Kompensationsverfahren Direkte und indirekte Messverfahren . . Zeitlich (dis)kontinuierliche Verfahren . Analoge und digitale Messverfahren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.1 Vorbetrachtungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.2 Systematische Messabweichungen . . . . . . . . . . . . . 3.2.1 Bekannte systematische Abweichungen . . . . . . 3.2.2 Unbekannte systematische Abweichungen . . . . 3.2.3 Fortpanzung systematischer Messabweichungen 3.3 Zufällige Messabweichungen . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3.1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3.2 Verteilungsfunktion und Dichte . . . . . . . . . . 3.3.3 Normalverteilung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.3.4 Auswertung endlicher Messreihen . . . . . . . . . 3.3.5 Vertrauensbereich einer Messreihe . . . . . . . . 3.3.6 Fortpanzung von Unsicherheiten . . . . . . . . . 3.4 Bericht des Messergebnisses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 Messabweichungen 4 Eigenschaften von Messeinrichtungen 4.1 Statische Kenngröÿen . . . . . . . . . . . . . . . 4.1.1 Übertragungsfaktor und Kennlinie . . . . 4.1.2 Empndlichkeit . . . . . . . . . . . . . . . 4.1.3 Anzeigebereich und Messbereich . . . . . 4.1.4 Auösung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.1.5 Hysterese . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.1.6 Fehlergrenzen und Genauigkeitsklassen . . 4.2 Dynamische Kenngröÿen von Messeinrichtungen . 5 Strukturen von Messeinrichtungen 5.1 5.2 5.3 5.4 Reihenstrukur . . . . . . . . . . . . . . Parallelstruktur . . . . . . . . . . . . . Kreisstruktur . . . . . . . . . . . . . . Rechnergestützte Messdatenerfassung . 6 Messung elektrischer Gröÿen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6.1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6.2 Stromstärke und Spannung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6.2.1 Drehspulmessgerät . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 5 7 7 9 9 9 11 12 13 13 13 15 16 16 17 18 18 19 24 29 32 34 37 39 40 40 40 41 42 42 43 43 46 46 47 49 50 50 50 51 51 6.2.2 Elektronische Messgeräte . . . . . . . . . . . . . 6.3 Leistung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6.3.1 Elektrodynamisches Messwerk . . . . . . . . . . . 6.3.2 Elektronische Messgeräte . . . . . . . . . . . . . 6.4 Wirkwiderstände . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6.4.1 Messung mittels Strom- und Spannungsmessung 6.4.2 Messung mittels Messbrücken . . . . . . . . . . . 6.5 Kapazität und Induktivität . . . . . . . . . . . . . . . . 6.5.1 Messung mittels Strom- und Spannungsmessung 6.5.2 Messung mittels Wechselstrombrücken . . . . . . 7 Temperaturmessung 7.1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7.2 Zur Temperaturdenition . . . . . . . . . . 7.3 Ausdehnungsthermometer . . . . . . . . . . 7.3.1 Bimetallthermometer . . . . . . . . . 7.4 Widerstandsthermometer . . . . . . . . . . 7.4.1 Metallwiderstandsthermometer . . . 7.4.2 Halbleiterwiderstandthermometer . . 7.4.3 Auswertung der Sensorsignale . . . . 7.5 Thermoelemente . . . . . . . . . . . . . . . 7.6 Pyroelektrischer Eekt . . . . . . . . . . . . 7.7 Temperatureekte bei Halbleiterübergängen 7.8 Schwingquarzthermometer . . . . . . . . . . 7.9 Pyrometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7.9.1 Grundlagen . . . . . . . . . . . . . . 7.9.2 Gesamtstrahlungspyrometer . . . . . 7.9.3 Spektralpyrometer . . . . . . . . . . 7.9.4 Bandstrahlungspyrometer . . . . . . 7.9.5 Verhältnispyrometer . . . . . . . . . 7.9.6 Glühfadenpyrometer . . . . . . . . . 7.9.7 Thermographiegeräte . . . . . . . . . 7.10 Ursachen für Messabweichungen . . . . . . . 7.11 Zeitverhalten von Berührungsthermometern 8 Messung geometrischer Gröÿen 8.1 Länge und Winkel . . . . . . . . . 8.1.1 Potentiometrische Sensoren 8.1.2 Kapazitive Sensoren . . . . 8.1.3 Induktive Sensoren . . . . . 8.1.4 Photoelektrische Sensoren . 8.2 Dehnung . . . . . . . . . . . . . . . 8.2.1 Metall-DMS . . . . . . . . . 8.2.2 Halbleiter-DMS . . . . . . . 8.3 Geschwindigkeit und Drehzahl . . . 8.3.1 Dopplereekt . . . . . . . . 8.3.2 Tachometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52 52 52 53 54 54 55 59 59 61 62 62 63 63 64 65 66 71 77 79 84 85 87 89 89 93 93 94 94 95 95 96 96 97 97 97 99 102 106 108 109 111 112 112 115 3 9 Kraft und abgeleitete Gröÿen 9.1 Messprinzipien . . . . . . . . . . . . . . 9.2 Kraft . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9.2.1 Dehnungsmessstreifen . . . . . . 9.2.2 Piezoelektrische Kraftaufnehmer 9.3 Drehmoment . . . . . . . . . . . . . . . 9.4 Druck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9.4.1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . 9.4.2 Absolutdruck . . . . . . . . . . . 9.4.3 Überdruck . . . . . . . . . . . . . 9.4.4 Dierenzdruck . . . . . . . . . . 9.4.5 Beispiele für Drucksensoren . . . 9.5 Schwingungen und Vibrationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117 117 118 118 120 121 123 123 124 125 125 126 128 10 Strömungsgeschwindigkeit, Volumenstrom, Massenstrom 132 11 Digital-Analog-Umsetzung 134 10.1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132 10.2 Flügelrad- und Turbinenprinzip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132 10.3 Corioliskraftprinzip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134 11.1 11.2 11.3 11.4 11.5 Einleitung . . . . . . . . . Parallelverfahren . . . . . Wägeverfahren . . . . . . Zählverfahren . . . . . . . Abweichungen und Fehler 12 Analog-Digital-Umsetzung 12.1 12.2 12.3 12.4 12.5 12.6 . . . . . . . . . . Einleitung . . . . . . . . . . . Shannonsches Abtasttheorem Abtast-Halte-Schaltung . . . Parallelverfahren . . . . . . . Wägeverfahren . . . . . . . . Dual-Slope-Umsetzer . . . . . 13 Automatisierte Messsysteme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134 135 136 137 137 138 138 139 140 141 143 144 145 13.1 Hardwarekonguration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145 13.2 Software zur Steuerung und Visualisierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147 13.3 TEDS-Sensoren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 148 4 Ergänzende Literatur Parthier, R.: Messtechnik. Vieweg Verlag, Wiesbaden, 2006. Bernhard, F. (Hrsg.): Technische Temperaturmessung, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 2004. Homann J. (Hrsg.): Handbuch der Meÿtechnik, Carl Hanser Verlag, München, Wien, 1999. Alfons, E.: Digitale Längen- und Winkelmesstechnik. Verlag Moderne Industrie, Landsberg/Lech, 1998. Lerch, R.: Elektrische Messtechnik. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 2005. Mühl, Th.: Einführung in die elektrische Messtechnik. Teubner Verlag, Wiesbaden, 2006. Göpel, W. et al. (Hrsg.): Sensors. VCH, Weinheim, ab 1991 (8 Bände). Tränkler, H.-R. u. E. Obermeier (Hrsg.): Sensortechnik. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 1998. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 1 Grundlagen des Messens 1.1 Motivation Grundlagen des Messens Motivation Motivation (1) Messen hat in der Technik eine zentrale Bedeutung, beispielsweise in der Produktion Automobiltechnik, Luft- und Raumfahrt Medizintechnik chemische Verfahrenstechnik ... ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 5 Grundlagen des Messens Motivation Motivation (2) Beispiele für Messaufgaben: Forschung Bestätigung theoretisch bestimmter oder vermuteter Zusammenhänge Entwicklung Bestimmung der Eigenschaften von Prototypen Produktion Regelung von Prozessabläufen und Produktqualität (DIN/ISO 9000 ) Betrieb von Anlagen Überwachung technischer Anlagen: Gas-, Wasser-, Elektrizitätsversorgung Gewährleistung der Betriebs- Sicherheit sicherheit Kernkraftwerk ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) eines Reaktorbehälters Mess- und Sensortechnik Grundlagen des Messens im SoSe 2010 Motivation Motivation (3) Gründe für die Notwendigkeit des Messens: Menschen verfügen über kei- Elektromagnetische ne geeigneten Sinnesorgane strahlung, . . . viele Temperaturen bei physikalische Gröÿen liegen auÿerhalb des Erfas- von 6000 U/min, Felder, 1000 ◦ C, Röntgen- Drehzahlen ... sungsbereichs der menschlichen Sinnesorgang menschliche Sinnesorgane liefern nur qualitative Werte Masse, . . . Messort ist nicht für Me- Druckverlauf im Zylinder eines Verbren- schen zugänglich nungsmotors ©Sönke Carstens-Behrens 6 Geruch, Temperatur, Geschmack, Farbe, (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 1.2 Grundlegende Begrie Grundlagen des Messens Grundlegende Begrie Grundlegende Begrie Messung: (engl. measurement): Ausführen von geplanten Tätigkeiten zum quantitativen Vergleich der Messgröÿe mit einer Einheit. Messgröÿe: (engl. measurand): Gröÿenwert = Zahlenwert Beispiel: Spannung = Fünache der Einheit Messwert: (engl. · 5 V, 1 V. Physikalische Gröÿe, der die Messung gilt. Einheit d. h. die zu messende Spannung beträgt das measured value): Wert, der zur Messgröÿe gehört und der Ausgabe eines Messgerätes oder einer Messeinrichtung eindeutig zugeordnet ist. Messergebnis: (engl. result of measurement): Aus Messungen gewonnener Schätzwert für den wahren Wert einer Messgröÿe. Quelle: DIN 1319 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 1.3 SI-Einheitensystem Grundlagen des Messens SI-Einheitensystem SI-Einheitensystem Die sieben Basiseinheiten des SI-Einheitensystems: Basisgröÿe Länge Masse Zeit Stromstärke Temperatur Lichtstärke Stomenge ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Formel- Basis- Einheiten- zeichen einheit zeichen l m t I T Iv n Meter m Kilogramm kg Sekunde s Ampere A Kelvin K Candela cd Mol Mess- und Sensortechnik mol SoSe 2010 7 Grundlagen des Messens SI-Einheitensystem Beispiele für abgeleitete SI-Einheiten abgeleitete Gröÿe Formel- Name Zeichen Hertz Hz in SI-Einheiten zeichen f F p E P U R Q C Φ L B Frequenz Kraft Druck Energie Leistung elektr. Spannung elektr. Widerstand elektr. Ladung elektr. Kapazität magnetischer Fluss Induktivität Induktion ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Newton N Pascal Pa Joule J Watt W Volt V Ohm Ω Coulomb C Farad F Weber Wb Henry H Tesla T 1 Hz = 1/s 1 N = 1 kg m/s2 1 Pa = 1 N/m2 1 J = 1 Nm 1 W = 1 J/s 1 V = 1 W/A 1 Ω = 1 V/A 1 C = 1 As 1 F = 1 C/V 1 Wb = 1 Vs 1 H = 1 Wb/A 1 T = 1 Wb/m2 Mess- und Sensortechnik Grundlagen des Messens SoSe 2010 SI-Einheitensystem Beispiel für Einheitenwirrwarr: Mars Climate Orbiter 1999-09-23: Der Mars Climate Orbiter geht verloren. Eine der Ursachen: es war nicht aufgefallen, dass Lockhead Martin (Hersteller der Navigationssoftware) das imperiale System verwendete, die NASA dagegen das SI-Einheitensystem. Quelle: NASA ©Sönke Carstens-Behrens 8 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 1.4 Normale Grundlagen des Messens Normale Normale Denition der SI-Einheiten Primärnormal (eines pro Land) Sekundärnormal (regionales Eichlabor) Referenz-/Arbeitsnormal (betriebliches Kalibrierlabor) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 2 Messverfahren 2.1 Ausschlag- und Kompensationsverfahren Messverfahren Ausschlag- und Kompensationsverfahren Ausschlagverfahren Ausschlagverfahren: Die zur Anzeige erforderliche Energie wird zumindest teilweise dem Messobjekt entzogen. ⇒ die Messgröÿe verändert sich und es entsteht zwangsläug ⇒ die Energiebelastung muss so gering sein, dass die ein Messfehler. Messung nicht unzulässig verfälscht wird. Typische Beispiele: Spannungsmesser Druckmesser Flüssigkeitsausdehnungsthermometer ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 9 Messverfahren Ausschlag- und Kompensationsverfahren Druckmesser als Beispiel für das Ausschlagverfahren Messwertanzeige 0 5 10 p Kolben ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Feder Mess- und Sensortechnik Messverfahren SoSe 2010 Ausschlag- und Kompensationsverfahren Kompensationsverfahren Kompensationsverfahren: Kompensation der Wirkung der Messgröÿe durch Gegenschalten einer gleichartigen, messbar einstellbaren Gröÿe. Die Auswertung erfolgt mit einem Nullindikator und die Vergleichsgröÿe, oft Kompensationsgröÿe genannt. Dieses Verfahren besitzt drei wesentliche Vorteile: Im Kompensationsfall wird dem Messobjekt keine Energie entzogen. Der Indikator kann für den Kompensationsfall mit einer gegen unendlich gehenden Empndlichkeit arbeiten. Störungen, die mit gleichem Betrag und Vorzeichen auf Messgröÿe und Kompensationsgröÿe wirken, verfälschen das Messergebnis nicht. ©Sönke Carstens-Behrens 10 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messverfahren Ausschlag- und Kompensationsverfahren Balkenwaage als Beispiel für das Kompensationsverfahren ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 2.2 Direkte und indirekte Messverfahren Messverfahren Direkte und indirekte Messverfahren Direkte Messverfahren gesuchte Messwert wird durch unmittelbaren Vergleich mit einem Bezugswert der gleichen physikalischen Gröÿe gewonnen. Beispiel: Maÿband, Balkenwaage Maÿverkörperung: direkte Messverfahren: Der x1e Messgröÿe: xe xe x1e Vergleich: N = xe /x1e N · Messwertbildung: x1e xa = N x1e xa Anzeigegröÿe: ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik xa SoSe 2010 11 Messverfahren Direkte und indirekte Messverfahren Indirekte Messverfahren Messgröÿe: xe xe xb auf eine andere (leichter messbare) Gröÿe zurückgeführt. Beispiel: Federwaage → Längenmessung Maÿverkörperung: x1b Der Messwert wird x1b Vergleich: N = xb /x1b N · Messwertbildung: x1b xa = N x1e xa Anzeigegröÿe: ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) xb = f (xe ) xe = f −1 (xb ) indirekte Messverfahren: Abbildungsgesetz: Abbildung: xb = f (xe ) xa Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 2.3 Zeitlich kontinuierliche und diskontinuierliche Messverfahren Messverfahren Zeitlich (dis)kontinuierliche Verfahren Zeitlich kontinuierliche und diskontinuierliche Messverfahren zeitlich kontinuierliche Messverfahren: Die Messgröÿe wird ohne zeitliche Unterbrechung erfasst und auch dargestellt. Beispiel: Flüssigkeitsausdehnungsthermometer. zeitlich diskontinuierliche Messverfahren: Die Messgröÿe wird nur zu bestimmten (diskreten) Zeitpunkten erfasst oder dargestellt. D. h. mindestens ein Element der Messeinrichtung arbeitet zeitlich diskontinuierlich. ©Sönke Carstens-Behrens 12 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 2.4 Analoge und digitale Messverfahren Messverfahren Analoge und digitale Messverfahren Analoge und digitale Messverfahren analoge Messverfahren: Die Messgröÿe wird durch eine eindeutige und stetige Anzeigegröÿe dargestellt, häug durch Skalen mit Zeiger als Strecke oder Winkel. Beispiel: Federwaage. digitale Messverfahren: Die Messgröÿe wird in Form einer in festgelegten Schritten quantisierten Anzeigegröÿe dargestellt, häug durch eine Ziernanzeige, z. B. Digitalanzeige. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 3 Messabweichungen 3.1 Vorbetrachtungen Messabweichungen Vorbetrachtungen Vorbetrachtungen Ziel eines Messvorgangs: Bestimmung des wahren Wertes einer Messgröÿe. Aber: Es kann prinzipiell nur ein Näherungswert bestimmt werden. Hauptursachen für Abweichungen sind: Das Messnormal ist nie absolut exakt deniert bzw. reproduzierbar. Der Messvorgang entzieht dem Prozess Energie. Die Übertragung und Umformung des Messsignals erfordert Energie, die dem Prozess entzogen wird. Innere und äuÿere Störeinwirkungen. Die erfasste Messgröÿe kann für dieses System nicht repräsentativ sein (z.B. Messung einer Stromlinie). Unvollkommenheit des Beobachters (z.B. unterschiedliches Farbempnden etc.). ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 13 Messabweichungen Vorbetrachtungen Weitere Begrie der Messtechnik Wahrer Wert (einer Messgröÿe): (engl. true value): Wert der Messgröÿe (nie exakt bestimmbar). Richtiger Wert (einer Messgröÿe): (engl. conventional true value): Bekannter Wert für Vergleichszwecke, dessen Abweichung vom wahren Wert für den Vergleichszweck als vernachlässigbar betrachtet wird. Messabweichung: (engl. (absolute) error of measurement): Abweichung eines aus Messungen gewonnenen und der Messgröÿe zugeordneten Wertes vom wahren Wert. Fehlergrenzen: (engl. limits of permissible error): Abweichungsgrenzbeträge für Messabweichungen eines Messgerätes. Quelle: DIN 1319 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Vorbetrachtungen Zum Begri Messabweichung Messwert x: Summe des wahren Wertes xw und der Messabweichung e: x = xw + e. In der Praxis: wahrer Wert xw ersetzt durch richtigen Wert xR , also x = xR + e Deshalb Denition der (absolute) Abweichung e e = x − xR Für Vergleiche oft vorteilhaft: relative Abweichung er = Wenn e x, e xR näherungsweise er = ©Sönke Carstens-Behrens 14 er (RAC) e x Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 3.2 Systematische Messabweichungen Messabweichungen Systematische Messabweichungen Systematische Messabweichungen Systematische Messabweichungen (engl. systematic errors) besitzen folgende Kennzeichen: Sie bewirken unter gleichen Messbedingungen immer Abweichungen mit dem gleichen Vorzeichen und dem gleichen Betrag, d. h. sie sind reproduzierbar. Sie werden durch Unvollkommenheit in den Messgeräten und in den angewandten Messverfahren verursacht. Typische Ursachen sind beispielsweise Spannungsabfall am Strommesser, Temperatureinüsse auf Messobjekt und Messeinrichtung, fehlerhafte Beschreibungsgleichungen für das Messergebnis bei indirekten Messungen. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Systematische Messabweichungen Bekannte und unbekannte systematische Abweichungen Die systematische Abweichung es besteht aus zwei Komponenten, der bekannten systematischen Abweichung systematischen Abweichung es,b und der unbekannten es,u : es = es,b + es,u ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 15 3.2.1 Bekannte systematische Abweichungen Messabweichungen Systematische Messabweichungen Bekannte systematische Abweichung Bekannte systematische Abweichungen können korrigiert werden. Beispiel: Spannungsmessung am Wi- I derstand: RL Es ist möglich, die Abweichung der gemessenen U Spannung von der Spannung über den Widerstand URx Rx anzugeben, wenn der Widerstand der U = URx + 2URL Zuleitung bekannt ist: es,b = 2URL . ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) URx RL Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 3.2.2 Unbekannte systematische Abweichungen Messabweichungen Systematische Messabweichungen Unbekannte systematische Abweichungen Unbekannte systematische Messabweichungen können nicht ermittelt und daher nicht korrigiert werden. Beispiel: nicht dokumentierte Temperatureinüsse ©Sönke Carstens-Behrens 16 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 3.2.3 Fortpanzung systematischer Messabweichungen Messabweichungen Systematische Messabweichungen Fortpanzung systematischer Messabweichungen Häug kann eine interessierende Messgröÿe y nicht direkt gemessen werden. Stattdessen besteht ein bekannter funktioneller Zusammenhang zwischen y und den der Messung zugänglichen Messgröÿen x1 , . . . ,xn y = f (x1 , . . . ,xn ) Wie wirken sich die systematischen Abweichungen d. h. wie groÿ die systematische Abweichung ∆x1 , . . . ,∆xn auf y aus, ∆y ? ∆y = f (x1 + ∆x1 , . . . , xn + ∆xn ) − f (x1 , . . . ,xn ) Für kleine absolute Einzelmessabweichung sich ∆y ∆xi , also folgendermaÿen bestimmen: ∆y ≈ ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) |∆xi | << |xi |, lässt n X ∂f ∆xi . ∂xi (1) i=1 Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Systematische Messabweichungen Beispiel: Leistungsmessung (1) Gleichzeitige Messung von Strom und Spannung (stromrichtige Messschaltung) an einem Widerstand RV . Gegeben: Innenwiderstand des Strommessers Innenwiderstand des Spannungsmessers Messwerte A RiA = 0,5 Ω, RiV = 150 Ω U = 1,25 V UB RV V und I = 0,2 A Gesucht: bekannte systematische Abweichung der Leistung und das korrigierte Messergebnis der Leistung ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik ∆P über RV PE . SoSe 2010 17 Messabweichungen Systematische Messabweichungen Beispiel: Leistungsmessung (2) Das unberichtigte Ergebnis der Leistungsmessung lautet · P = f (U,I) = U I = 1,25 V 0,2 A = 0,25 W. Nach Gleichung 1 ergibt sich bezogen auf die Leistungsmessung ∆P = 2 X ∂P ∂P ∂P ∆xi = ∆U + ∆I = I∆U + U ∆I. ∂xi ∂U ∂I i=1 Wegen stromrichtiger Schaltung: ∆I = 0 und ∆U = IRiA , also ∆P = I∆U = I(IRiA ) = I 2 RiA = (0,2 A)2 0,5 Ω = 0,02 W. Der korrigierte Messwert ergibt sich damit zu PE = P − ∆P = 0,25 W − 0,02 W = 0,23 W. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 3.3 Zufällige Messabweichungen 3.3.1 Einleitung Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Zufällige Messabweichungen zufällige Messabweichungen: Zufällige Messabweichungen sind alle nicht systematisch erfassbaren Abweichungen. Ein Messgerät erfasst die Summe des z(t) xe (t) + Wertes der Messgröÿe Messgerät xa (t) xe (t) und der z(t): xa (t) = xe (t) + z(t). Störung Eine Charakterisierung ist erst durch wiederholte Messungen möglich: wiederholte Messungen liegen innerhalb eines gewissen Bereiches Gröÿe des Bereichs als Maÿ für die Reproduzierbarkeit der Messung keine Vorhersage über ein einzelnes (Mess-)Ergebnis möglich trotzdem Gesetzmäÿigkeiten (z.B. Erwartungswert), ©Sönke Carstens-Behrens 18 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Beispiele zu Gesetzmäÿgkeiten bei Zufallsexperimenten Zufallsgenerator (0,1] Z(0,1] (Ausgabe einer zufälligen (reellen) Zahl im Intervall gleichverteilt): Vorhersage über die Ausgabe nicht möglich, aber z. B. im Mittel beträgt der Wert 0,5 (= die Wahrscheinlichkeit (= 0,5−0,4 ) 1 Zufallsgenerator (a,b], Z(a,b] P (Wert 0+1 2 ) liegt zwischen 0,4 und 0,5) beträgt 0,1 (Ausgabe einer zufälligen (reellen) Zahl im Intervall gleichverteilt): Vorhersage über die Ausgabe nicht möglich, aber z. B. im Mittel beträgt der Wert a+b 2 P (Wert liegt zwischen c1 −c1 ∈ [a,b], c1 < c2 ) beträgt c2b−a die Wahrscheinlichkeit (c1 , c2 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) und c2 ) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 3.3.2 Verteilungsfunktion und Dichte Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Verteilungsfunktion Verteilungsfunktion: (engl. F (x) distribution function): einer Zufallsvariablen X Die Verteilungsfunktion gibt an, mit welcher Wahrscheinlichkeit die Zufallsvariable einen Wert kleiner oder gleich x annimmt: F (x) = P (X ≤ x) x ∈ <. Jede Verteilungsfunktion hat folgende Eigenschaften: F (x) ist monoton steigend. F (x) ist rechtsseitig stetig. F (−∞) = 0 und ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) F (∞) = 1. Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 19 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Verteilungsfunktion für Zufallsgenerator Z(0,1] Die Verteilungsfunktion FZ(0,1] (x) des Zufallsgenerators Z(0,1] lautet: FZ(0,1] (x) 0, x ≤ 0 x, 0 < x ≤ 1 FZ(0,1] (x) = 1 1<x ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) 1 0 1 2 Mess- und Sensortechnik Messabweichungen x SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Verteilungsfunktion für Zufallsgenerator Z(a,b] Die Verteilungsfunktion Z(a,b] FZ(a,b] (x) für die Ausgabe des Zufallsgenerators lautet: FZ(a,b] (x) FZ(a,b] (x) = 0, x−a b−a , 1 ©Sönke Carstens-Behrens 20 x≤a a<x≤b b<x 1 a (RAC) Mess- und Sensortechnik b x SoSe 2010 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Berechnung von Wahrscheinlichkeiten mittels Verteilungsfunktion Nützlich sind Verteilungsfunktionen u. a. bei der Berechnung von Wahrscheinlichkeiten dafür, dass Ereignisse in ein bestimmtes Intervall (xu ,xo ] fallen: P (xu < X ≤ xo ) = P (X ≤ xo ) − P (X ≤ xu ) = F (xo ) − F (xu ). ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Beispiel zur Berechnung von Wahrscheinlichkeiten mittels Verteilungsfunktion Zufallsgenerator Z(0,1] : Wahrscheinlichkeit dafür, dass eine Zahl zwischen 0,7 und 0,84 ausgegeben wird: P (0,7 < X ≤ 0,84) = FZ(0,1] (0,84) − FZ(0,1] (0,7) = 0,84 − 0,7 = 0,14 Zufallsgenerator Z(a,b] : Wahrscheinlichkeit dafür, dass eine Zahl zwischen xu , xo ∈ (a,b] xu und xo , ausgegeben wird: P (xu < X ≤ xo ) = FZ(a,b] (xo ) − FZ(a,b] (xu ) xo − a xu − a xo − xu = − = b−a b−a b−a ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 21 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Wahrscheinlichkeitsdichtefunktion Wahrscheinlichkeitsdichtefunktion: (engl. probability density function) Ableitung einer Verteilungsfunktion (wenn die Ableitung existiert). Kurzbezeichnung: Dichte. Jede Dichte f (x) f (x) hat folgende Eigenschaften: ist nicht negativ, also f (x) ≥ 0 ∀ x ∈ < f (x) Das Integral über ist 1: Z ∞ f (x)dx = 1 −∞ ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Dichtefunktion des Zufallsgenerators Zufallsgenerator fZ(0,1] 0, x ≤ 0 1, 0 < x ≤ 1 = 0, 1 < x Zufallsgenerator fZ(a,b] = 0, 1 0 1 b−a , 0, (RAC) x≤a a<x≤b b<x 1 x 2 fZ(a,b] (x) Z(a,b] : ©Sönke Carstens-Behrens 22 fZ(0,1] (x) Z(0,1] : 1 b−a Mess- und Sensortechnik a b x SoSe 2010 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Berechnung von Wahrscheinlichkeiten mittels Dichte Auch die Dichte kann zur Berechnung von Wahrscheinlichkeiten dienen: P (xu < X ≤ xo ) = F (xo ) − F (xu ) = Z xo f (x)dx xu f (x) P (xu < X ≤ xo ) Wahrscheinlichkeit: Fläche unter der Dichte in den angegebenen Grenzen. xu ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) x xo Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Beispiel zur Berechnung von Wahrscheinlichkeiten mittels Dichte Zufallsgenerator Z(0,1] : Wahrscheinlichkeit dafür, dass eine Zahl zwischen 0,7 und 0,84 ausgegeben wird: P (0,7 < X ≤ 0,84) = Zufallsgenerator Z 0,84 0,7 1dx = [x]0,84 0,7 = 0,84 − 0,7 = 0,14 Z(a,b] : Wahrscheinlichkeit dafür, dass eine Zahl zwischen xu , xo ∈ (a,b] und xo , ausgegeben wird: P (xu < X ≤ xo ) = ©Sönke Carstens-Behrens xu (RAC) Z xo xu 1 x xo xo − xu dx = = b−a b − a xu b−a Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 23 3.3.3 Normalverteilung Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Normalverteilung (Gauÿ-Verteilung) In der Messtechnik ist die Normalverteilung, auch Gauÿ-Verteilung genannt, (engl. normal distribution, Gaussian distribution) von herausragender Bedeutung. Dichte der Normalverteilung: Die Normalverteilung mit dem Erwartungswert µ und der Varianz f (x) = √ 1 2πσ 2 σ2 e− besitzt die Dichte (x−µ)2 2σ 2 . Es gibt keine geschlossene Form zur Darstellung der Verteilungsfunktion. Sie wird meist mit Φ(x) bezeichnet und liegt in Tabellen vor. Standardnormalverteilung: (engl. standard normal distribution) Normalverteilung mit ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) µ=0 und σ2 = 1 Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Erwartungswert, Varianz und Standardabweichung Erwartungswert: (engl. expected value): Heuristisch kann der Erwartungswert als derjenige Wert interpretiert werden, der sich im Mittel ergibt, wenn das zugrundeliegende Experiment oftmals wiederholt wird: N 1 X µ = lim xn . N →∞ N n=1 Varianz: (engl. variance): Maÿ für die Abweichung einer Zufallsvariable von ihrem Erwartungswert. N 1 X σ = lim (xn − µ)2 . N →∞ N 2 n=1 Standardabweichung (engl. standard deviation): Varianz. ©Sönke Carstens-Behrens 24 σ= (RAC) √ (positive) Wurzel der σ2 Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Beispiele zur Dichte der Normalverteilung √ 1 2πσ 2 f (x) = 2 exp − (x−µ) 2 2σ σ= 2 1 5 1 σ= 1 2 σ=1 0 µ−2 µ µ−1 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) µ+1 µ+2 x Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Berechnung von Wahrscheinlichkeiten bei Normalverteilung Wahrscheinlichkeit P fällt: P = dafür, dass ein Messergebnis in das Intervall Z xo xu Spezialfall: f (x)dx = √ xu = µ − σ , xo = µ + σ 1 2πσ Z xo e− (x−µ)2 2σ 2 [xu ,xo ] dx (2) xu f (x) 1-σ -Grenze Intervall der Breite symmetrisch um 2σ P(x in 1-σ -Grenze)= ©Sönke Carstens-Behrens 68,27% µ (RAC) 68,27% Mess- und Sensortechnik µ−σ µ x µ+σ SoSe 2010 25 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Typische Wahrscheinlichkeiten für die Einhaltung von Messaussagen symmetrische Wahrscheinlichkeit, Trans- Bezeichnung Intervall- dass ein Messwert formation: betrieblichen Praxis grenzen im Intervall liegt t= µ±σ µ ± 2σ µ ± 3σ 0,6827 1 orientierende Messung 0,9545 2 Betriebsmessung 0,9973 3 Präzisionsmessung ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) der x−µ σ Mess- und Sensortechnik Messabweichungen in SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Transformation auf Standardnormalverteilung (1) Leider: Intergral aus Gleichung 2 nicht geschlossen lösbar. Stattdessen: Tabelle für Werte des Standardnormalverteilung Transformation der Normalverteilung in die Standardnormalverteilung Lösung des Integrals für die Standardnormalverteilung mit der Tabelle Transformation: x−µ 1 , dt = dx σ σ Wenn X normalverteilt ist mit Erwartungswert µx und Standardabweichung σx und T standardnormalverteilt ist (µt = 0, σt = 1), dann gilt t= P (x ∈ [xu ,xo ]) = P (t ∈ [tu ,to ]) für tu = ©Sönke Carstens-Behrens 26 (RAC) xu − µ , σ to = xo − µ σ Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Transformation auf Standardnormalverteilung (2) Beweis: P = = = = Z xo Z to (x−µ)2 (σt+µ−µ)2 1 1 − 2 √ e 2σ dx = √ e− 2σ2 σdt 2πσ xu 2πσ tu Z to 2 t 1 √ e− 2 dt 2π tu Z to Z tu 2 t2 1 1 − t2 √ √ e dt − e− 2 dt 2π −∞ 2π −∞ Φ(to ) − Φ(tu ) Verteilungsfunktion der Standardnormalverteilung: 1 Φ(t) = √ 2π Eigenschaften: Z t e− y2 2 dy −∞ Φ(0) = 0,5, Φ(−t) = 1 − Φ(t). ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Tabelle der Standardnormalverteilung Φ(x) 0 1 2 ,5 50398 50797 53982 54379 54775 57925 58316 58706 61791 62171 62551 65542 65909 66275 69146 69497 69846 72574 72906 73237 75803 76114 76423 78814 79102 79389 81593 81858 82121 84134 84375 84613 86433 86650 86864 88493 88686 88876 90319 90490 90658 91924 92073 92219 93319 93447 93574 94520 94630 94738 95543 95636 95728 96406 96485 96562 97128 97193 97257 97724 97778 97830 98213 98257 98299 98609 98644 98679 98927 98955 98982 99180 99202 99223 99379 99396 99413 99533 99547 99560 99653 99663 99673 99744 99752 99759 99813 99819 99824 Sönke Carstens-Behrens (RAC) x 0,0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 1,0 1,1 1,2 1,3 1,4 1,5 1,6 1,7 1,8 1,9 2,0 2,1 2,2 2,3 2,4 2,5 2,6 2,7 2,8 2,9 © 3 51196 55171 59095 62930 66640 70194 73565 76730 79673 82381 84849 87076 89065 90824 92364 93699 94844 95818 96637 97319 97882 98341 98712 99009 99245 99429 99573 99683 99767 99830 4 5 6 51595 51993 52392 55567 55961 56355 59483 59870 60256 63307 63683 64057 67003 67364 67724 70540 70884 71226 73891 74215 74537 77035 77337 77637 79954 80233 80510 82639 82894 83147 85083 85314 85542 87285 87492 87697 89251 89435 89616 90987 91149 91308 92506 92647 92785 93821 93942 94062 94949 95052 95154 95907 95994 96079 96711 96784 96855 97381 97441 97500 97932 97981 98030 98382 98422 98461 98745 98777 98808 99035 99061 99086 99265 99285 99305 99445 99461 99476 99585 99597 99609 99692 99702 99710 99774 99781 99788 99835 99841 99846 Mess- und Sensortechnik 7 52790 56749 60641 64430 68082 71566 74857 77935 80784 83397 85769 87899 89795 91465 92921 94179 95254 96163 96925 97558 98077 98499 98839 99110 99324 99491 99620 99719 99794 99851 8 53188 57142 61026 64802 68438 71904 75174 78230 81057 83645 85992 88099 89972 91620 93056 94294 95352 96246 96994 97614 98123 98537 98869 99134 99343 99505 99631 99728 99801 99855 9 53585 57534 61409 65173 68793 72240 75490 78523 81326 83891 86214 88297 90147 91773 93188 94408 95448 96327 97062 97670 98169 98573 98898 99157 99361 99520 99642 99736 99807 99860 SoSe 2010 27 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Beispiel zur Transformation auf Standardnormalverteilung (1) Aufgabe: In einem Zementwerk soll eine Maschine Säcke mit 25 kg Zement füllen. Von der Messeinrichtung der Maschine ist bekannt, dass ihre Messwerte einer Normalverteilung mit einer Standardabweichung von σ = 0,05 kg unterliegen. Der Erwartungswert entspricht dem eingestellten Wert. Frage: Wie groÿ ist die Wahrscheinlichkeit 24,9 kg und 25,1 kg ©Sönke Carstens-Behrens P, dass die Zementsäcke zwischen Zement enthalten? (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Beispiel zur Transformation auf Standardnormalverteilung (2) Lösung: Es müssen die Grenzen Wahrscheinlichkeit P tu Transformationsvorschrift tu = to = und to bestimmt werden, um die gesuchte aus der Tabelle entnehmen zu können. Mit der t = (x − µ)/σ folgt 24,9 kg − 25 kg −0,1 xu − µ = = = −2 σ 0,05 kg 0,05 xo − µ 25,1 kg − 25 kg 0,1 = = =2 σ 0,05 kg 0,05 Damit folgt für die gesuchte Wahrscheinlichkeit P ©Sönke Carstens-Behrens 28 = Φ(2) − Φ(−2) = Φ(2) − (1 − Φ(2)) · · = 2 Φ(2) − 1 = 2 0,97724 − 1 ≈ 0,9545. (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 3.3.4 Auswertung endlicher Messreihen Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Auswertung endlicher Messreihen Für viele messtechnische Aufgaben kann eine Normalverteilung zugrunde gelegt werden. Erwartungswert µ und Standardabweichung σ sind aber nicht immer bekannt. Zur Schätzung von Erwartungswert µ und Standardabweichung σ werden (theoretisch) unendlich viele Messwerte benötigt. Tatsächlich stehen in der Praxis nur Messreihen mit N Messwerten zur Verfügung. ⇒ Erwartungswert und Standardabweichung können nur aus den vorhandenen Messwerten geschätzt werden. Die Schätzwerte werden in der Regel von den wahren Werten abweichen. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Mittelwert und empirische Standardabweichung Der Erwartungswert µ wird durch den arithmetischen Mittelwert µ ⇒ x̄ = und die Standardabweichung Standardabweichung σ N 1 X xn N n=1 wird durch die empirische s, v u u σ⇒s=t N 1 X (xn − x̄)2 . N −1 Standardabweichung erwartungstreu ist. (Streuung) kann als Schätzung für ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) (3) n=1 ersetzt. Im Nenner von Gleichung 3 steht s2 x̄ N − 1, σ2 damit die Schätzung der verwendet werden. Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 29 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Eigenschaften des Mittelwerts Der Mittelwert x̄ werde aus N Messwerten bestimmt, die einer Normalverteilung mit Erwartungswert µ und Standardabweichung unterliegen. Die empirische Standardabweichung sei x̄ x̄ s. σ Dann gilt ist selbst normalverteilt ist erwartungstreu, d. h. µx̄ = µ die Standardabweichung von Messwerte, d. h. x̄ ist um Faktor √ N kleiner als die der σ σx̄ = √ N die empirische Standardabweichung von x̄ ist um Faktor √ N kleiner als die der Messwerte, d. h. s sx̄ = √ N ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Standardmessunsicherheit Die empirische Standardabweichung des Mittelwerts drückt die Unsicherheit eines Messergebnisses aus: s u(x) = sx̄ = √ . N Da die Aussage zur Unsicherheit von der Standardabweichung abgeleitet Standardunsicherheit wird, ist die Bezeichnung Oft sinnvoll: für u(x) üblich. relative Standardunsicherheit Standardunsicherheit U bezogen auf Messergebnis M Messergebnis: bester Schätzwert (Korrektur system. Abweichungen) bester Schätzwert ist oft der Mittelwert Dann beträgt die relative Standardunsicherheit: u(x)rel = ©Sönke Carstens-Behrens 30 (RAC) u(x) u(x) = . |M | |x̄| Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Beispiel zur Standardunsicherheit (1) Für eine Längenmessung wurden folgende zwanzig Messungen durchgeführt: Mess- Mess- Mess- Mess- wert l/m wert l/m wert l/m wert l/m x1 x2 x3 x4 x5 0,996 x6 x7 x8 x9 x10 1,013 x11 x12 x13 x14 x15 0,998 x16 x17 x18 x19 x20 1,001 0,983 1,001 1,003 0,989 1,012 1,000 1,003 1,002 1,007 0,994 1,022 0,999 1,011 1,001 0,999 0,992 Frage: Wir groÿ sind die Standardunsicherheit und die relative Standardunsicherheit? ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Beispiel zur Standardunsicherheit (2) Lösung: Der Mittelwert ergibt sich zu x̄ = 1 20 P20 i=1 xi = 20,026 m 20 = 1,0013 m. Damit kann die empirische Standardabweichung berechnet werden: v r u 20 u1 X 1,0422 10−3 m2 t 2 s= (xi − x̄) = ≈ 7,4063 10−3 m. 19 19 · · i=1 Aus der empirischen Standardabweichung lässt sich die Standardunsicherheit bestimmen: · · s 7,4063 10−3 m √ u(x) = √ ≈ ≈ 1,6561 10−3 m. 20 N Schlieÿlich folgt für die relative Standardunsicherheit u(x)rel = ©Sönke Carstens-Behrens · · u(x) 1,6561 10−3 m ≈ ≈ 1,6556 10−3 ≈ 0,17% |x̄| 1,0013 m (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 31 3.3.5 Vertrauensbereich einer Messreihe Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Vertrauensbereich einer Messreihe Ann.: Die Messwerte einer Messreihe unterliegen einer Normalverteilung. Es kann ein Vertrauensbereich v angegeben werden, in dem sich der wahre Wert der Messgröÿe mit einer vorgegebenen Wahrscheinlichkeit (1-α) bendet (Vertrauensniveau). Für die untere Vertrauensgrenze gilt · s vu = x̄ − t √ , N für die obere entsprechend · s vo = x̄ + t √ . N Der so genannte Student-Faktor t hängt vom gewählten Vertrauensniveau und der Anzahl an Messwerten ab. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Tabelle zum Student-Faktor Anzahl N Messwerte Vertrauensniveau (1 − α) = 68,27% 95,45% 2 1,84 18,44 235,80 3 1,32 4,93 19,21 4 1,20 3,48 9,22 5 1,15 2,98 6,62 6 1,11 2,73 5,51 8 1,08 2,50 4,53 10 1,06 2,37 4,09 20 1,03 2,18 3,45 50 1,01 2,08 3,16 100 1,00 2,04 3,08 N →∞ 1,00 2,00 3,00 ©Sönke Carstens-Behrens 32 der (RAC) Mess- und Sensortechnik 99,73% SoSe 2010 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Beispiel zur Berechung des Vertrauensbereichs (1) Fortsetzung des Beispiels der Längenmessung, von der nun auÿerdem bekannt ist, dass die Messwerte einer Normalverteilung unterliegen: Mess- Mess- Mess- Mess- wert l/m wert l/m wert l/m wert l/m x1 x2 x3 x4 x5 0,996 x6 x7 x8 x9 x10 1,013 x11 x12 x13 x14 x15 0,998 x16 x17 x18 x19 x20 1,001 0,983 1,001 1,003 0,989 1,012 1,000 1,003 1,002 1,007 0,994 1,022 0,999 1,011 1,001 0,999 0,992 Frage: Wie lauten die Grenzen des Vertrauensbereichs, wenn ein Vertrauensniveau von 95,45% gefordert ist? Wie groÿ ist der Vertrauensbereich? ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Beispiel zur Berechung des Vertrauensbereichs (2) Lösung: · x̄ = 1,0013 m, empirische Standardabweichung s = 7,4063 10−3 m (s. Beispiel zur Standardunsicherheit) aus der Tabelle zum Student-Faktor für N = 20 und (1 − α) = 95,45%: t = 2,18 Mittelwert untere Vertrauensgrenze: · · · · · s 2,18 7,4063 10−3 m √ vu = x̄ − t √ = 1,0013 m − ≈ 0,9977 m 20 N obere Vertrauensgrenze: · s 2,18 7,4063 10−3 m √ vo = x̄ + t √ = 1,0013 m + ≈ 1,0049 m 20 N Gröÿe des Vertrauensbereichs: ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) vo − vu = 7,2 mm Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 33 3.3.6 Fortpanzung von Unsicherheiten Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Fortpanzung von Unsicherheiten bei unkorrelierten Messgröÿen y sei eine Funktion der Messergebnissen xn n = 1, . . . ,N , y = f (x1 , . . . ,xN ). Unsicherheit von y: geeignete Kombination der Unsicherheiten u(xi ) der einzelnen Messergebnisse. Falls die einzelnen Messgröÿen nicht korreliert sind, gilt v uN 2 uX ∂f t ux . u(y) = ∂xn n n=1 kombinierte Standardunsicherheit Relative kombinierte Standardunsicherheit: u(y) wird auch als u(y)rel = ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) bezeichnet. u(y) |y| Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Fortpanzung von Unsicherheiten bei korrelierten Messgröÿen Bei vollständiger Korrelation der Messgröÿen, d. h. Korrelationskoezient ρ = 1, kann ein lineares Fortpanzungsgesetz angewandt werden: · n X ∂f u(xi ). u(y) = ∂xi i=1 Von vollständiger Korrelation kann beispielsweise dann ausgegangen werden, wenn die Werte der Messgröÿen mit demselben Messgerät gemessen wurden. ©Sönke Carstens-Behrens 34 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Beispiel 1 zur Fortpanzung von Unsicherheiten Leistungsbestimmung: Der Widerstand eines ohmschen Verbrauchers wurde mit R = 301,4 Ω gemessen. Aus vorhergehenden Untersuchungen ist bekannt, dass diese Messung mit einer Unsicherheit von u(R) = 0,4 Ω behaftet ist. Die Messung der Spannung über den Verbraucher wurde mit U = 230,1 V gemessen. Die ebenfalls bekannte Unsicherheit der Spannungsmessung beträgt u(U ) = 0,1 V. Frage: Welche Leistung fällt am Verbraucher ab und mit welcher Unsicherheit ist dieser Wert behaftet? ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Beispiel 1 zur Fortpanzung von Unsicherheiten (2) Lösung: Für die Leistung gilt P = f (x1 ,x2 ) = U2 R = (230,1 V)2 301,4 Ω = 175,67 W. Unter der Annahme, dass die Einzelmessungen nicht korreliert sind, gilt für P: v u n 2 s 2 2 uX ∂P 2U U2 t u(P ) = u(xi ) = u(U ) + − 2 u(R) ∂xi R R i=1 s 2 2 2 230,1 V (230,1 V)2 = 0,1 V + − 0,4 Ω 301,4 Ω (301,4 Ω)2 = 0,279 W die Unsicherheit von · · · · · · Bei einer indirekten Messung sollten nicht mehr Stellen angegeben werden, als bei den gegebenen Werten vorhanden sind: P = 175,7 W, u(P ) = 0,3 W. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 35 Messabweichungen Zufällige Messabweichungen Beispiel 2 zur Fortpanzung von Unsicherheiten Von einem Widerstandsmessgerät sei bekannt, dass es mit einer Unsicherheit von u(R) = 0,3 Ω misst. Mit diesem Messgerät werden die Werte von zwei Widerständen bestimmt: R1 = 119,5 Ω, R2 = 76,6 Ω Fragen: Wie groÿ ist der Gesamtwiderstand und die Unsicherheit, wenn die beiden Widerstände a) in Reihen und b) parallel geschaltet werden? ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Zufällige Messabweichungen Beispiel 2 zur Fortpanzung von Unsicherheiten (2) Lösung: Reihenschaltung: RR = R1 + R2 = 196,1 Ω. P R u(RR ) = 2i=1 ∂R ∂Ri u(Ri ) = u(R1 ) + u(R2 ) = 0,6 Ω. · Gesamtwiderstand: Unsicherheit: Parallelschaltung: Gesamtwiderstand: RP = R1 R2 R1 +R2 = 46,68 Ω. Unsicherheit: u(RP ) = 2 X ∂RP i=1 = = u(Ri ) R2 (R1 + R2 ) − R1 R2 R1 (R1 + R2 ) − R1 R2 u(R1 ) + u(R2 ) (R1 + R2 )2 (R1 + R2 )2 R22 u(R1 ) R12 u(R2 ) + ≈ 0,16 Ω (R1 + R2 )2 (R1 + R2 )2 ©Sönke Carstens-Behrens 36 ∂Ri (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 3.4 Bericht des Messergebnisses Messabweichungen Bericht des Messergebnisses Bericht des Messergebnisses vollständiges Messergebnis: Mitteilung des Messergebnisses mit allen zugänglichen, relevanten Informationen Darstellung Beispiel x = M ± u(x) l = 1,13 cm ± 1,8 mm oder l = (1,13 ± 0,18) cm l = 1,13 (1 ± 0,16) cm 1,13 cm; 1,8 mm 1,13 cm; 0,16 1,13 cm (1,8 mm) 1,13 cm (0,16) · x = M (1 ± u(x)rel ) M ; u(x) M ; u(x)rel M (u(x)) M (u(x)rel ) · M : berichtigtes Messergebnis (systematische u(x): Standardunsicherheit von x u(x)rel : relative Standardunsicherheit von x ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Fehler sind korrigiert) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Bericht des Messergebnisses Beispiel zum Bericht eines Messergebnisses (1) Im Ergebnis der Messung eines Vergleichsgewichts liegen folgende Resultat vor: unberichtigtes Messergebnis: bekannte systematische Abweichung: Standardunsicherheit x = 1,0003 kg es,b = −0,0011 kg u(x) = 0,6 g Frage: Wie lautet das vollständige Messergebnis? ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 37 Messabweichungen Bericht des Messergebnisses Beispiel zum Bericht eines Messergebnisses (2) Für das (berichtigte) Messergebnis M gilt: M = x − es,b = 1,0003 kg − −0,0011 kg = 1,0014 kg Damit kann das vollständige Messergebnis z. B. in der Form Y = 1,0014 kg ± 0,0006 kg berichtet werden. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messabweichungen SoSe 2010 Bericht des Messergebnisses Beispiel Multimeter ©Sönke Carstens-Behrens 38 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messabweichungen Bericht des Messergebnisses Beispiel Laserentfernungsmesser ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 4 Eigenschaften von Messeinrichtungen Eigenschaften von Messeinrichtungen Messeinrichtung Messeinrichtung: Eine Messeinrichtung besteht aus mehreren zusammenhängenden Messgeräten mit zusätzlichen Einrichtungen zur Erzielung eines Messergebnisses. Einfachster Fall: ein einziges Messgerät. Eingangsgröÿe xe ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Messeinrichtung Mess- und Sensortechnik Ausgangsgröÿe xa SoSe 2010 39 4.1 Statische Kenngröÿen 4.1.1 Übertragungsfaktor und Kennlinie Eigenschaften von Messeinrichtungen Statische Kenngröÿen Übertragungsfaktor (Kennlinie) Übertragungsfaktor: Der Übertragungsfaktor überführt die xe (Wert der Messgröÿe) in die Ausgangsgröÿe xa (Ausgangs-/Anzeigegröÿe). Eingangsgröÿe statische Kennlinie: (engl. characteristic): Ausgangsgröÿe aufgetragen über den gesamten Eingangsbereich der Messeinrichtung xa Übertragungsfaktor: lineare Kennlinie in elektronischen Messeinrichtungen: Verstärkung Idealfall: linearer Zusammenhang zwischen xe und xa ⇒ Übertragungsfaktor konstant: reale Kennlinie k, xe lineare Kennlinie ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 4.1.2 Empndlichkeit Eigenschaften von Messeinrichtungen Statische Kenngröÿen Empndlichkeit Empndlichkeit: (engl. sensitivity): Änderung der Ausgangsgröÿe bezogen auf die verursachende Änderung der Messgröÿe, xa Kennlinie Arbeitspunkt ∆xa im jeweiligen Arbeitspunkt dxa ∆xa = ∆xe →0 ∆xe dxe E = lim ∆xe xe Spezialfall: linearer Zusammenhang zwischen xe und xa ⇒ Empndlichkeit ist gleich dem konstanten Übertragungsfaktor ©Sönke Carstens-Behrens 40 (RAC) k, E = k Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 4.1.3 Anzeigebereich und Messbereich Eigenschaften von Messeinrichtungen Statische Kenngröÿen Messbereich und Ausgabebereich (1) xa ideale Kennlinie xa,1 Ausgabebereich tolerierbare Messabweichungen Fehlergrenzen des Sensors/Messgerätes Verlassen des Toleranzbereiches xa,0 xe,0 xe xe,1 Messbereich ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Eigenschaften von Messeinrichtungen SoSe 2010 Statische Kenngröÿen Anzeigebereich und Messbereich (2) Messbereich: der Bereich von xe,0 bis xe,1 , für den die Messabweichungen innerhalb festgelegter Grenzen bleiben Messspanne: xe,1 − xe,0 Ausgabebereich: der Bereich von xa,0 bis xa,1 , den der Sensor bzw. das Messgerät bereitstellen kann Anzeigebereich: der Ausgabebereich bei anzeigenden Messgeräten ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 41 Ansprechschwelle 4.1.4 Auösung Eigenschaften von Messeinrichtungen Statische Kenngröÿen Auösung Auösung: (engl. resolution): Angabe zur quantitativen Erfassung des Merkmals einer Messeinrichtung, zwischen nahe beieinanderliegenden Messwerten eindeutig zu unterscheiden. Sie kann z. B. durch die kleinste Dierenz zweier Messwerte, die die Messeinrichtung eindeutig unterscheidet, gekennzeichnet werden. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 4.1.5 Hysterese Eigenschaften von Messeinrichtungen Statische Kenngröÿen Hysterese und Umkehrspanne xa Hysterese: zu ein und demselben Wert der Messgröÿe xe,0 hängt die Ausgangsgröÿe von dem Umkehr- vorausgegangenen Verlauf der spanne Messgröÿe ab. Umkehrspanne: Dierenz der beiden Ausgangsgröÿen, die zu demselben Wert der Messgröÿe gehören. ©Sönke Carstens-Behrens 42 (RAC) Mess- und Sensortechnik xe,0 xe SoSe 2010 4.1.6 Fehlergrenzen und Genauigkeitsklassen Eigenschaften von Messeinrichtungen Statische Kenngröÿen Fehlergrenzen und Genauigkeitsklassen Fehlergrenzen: (engl. limits of permissible error): Abweichungsgrenzbeträge für Messabweichungen eines Messgeräts Unterscheiden sich untere und obere Fehlergrenze anzugeben. Wird nur eine Fehlergrenze G Gu und Go , so sind beide G = G u = Go angegeben, so gilt Genauigkeitsklasse (statistische Sicherheit 95%), symmetrische Fehlergrenze bezogen auf den Endwert des Messbereichs in Prozent. Beispiel: Genauigkeitsklasse 0,1: Abweichung vom Endwert Kategorie ±0,1% Genauigkeitsklasse Präzisionsmessgerät 0,001; 0,002; 0.005; 0,01; 0,05 Feinmessgeräte 0,1; 0,2; 0,5 Betriebsmessgeräte 1; 1,5; 2,5; 5 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 4.2 Dynamische Kenngröÿen von Messeinrichtungen Eigenschaften von Messeinrichtungen Dynamische Kenngröÿen von Messeinrichtungen Dynamische Kenngröÿen von Messeinrichtungen xe xa dynamische Messabweichung: zeitabhängige Messabweichung, dadurch verursacht, dass die Ausgangsgröÿe xa einer edyn (te ) Messeinrichtung den zeitlichen Änderungen der Eingangsgröÿe xe nicht verzögerungsfrei folgen kann. edyn (t) = xa (t) − xe (t). ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik te t SoSe 2010 43 Eigenschaften von Messeinrichtungen Dynamische Kenngröÿen von Messeinrichtungen Messeinrichtung als System Dynamische Eigenschaften eines Messsystems lassen sich mit Methoden der Systemtheorie untersuchen. xe xa Messeinrichtung xe xa System Besonders häug lässt sich das Übertragungsverhalten beschreiben als Verzögerungsglied 1. Ordnung Verzögerungsglied 2. Ordnung ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Eigenschaften von Messeinrichtungen SoSe 2010 Dynamische Kenngröÿen von Messeinrichtungen Verzögerungsglied 1. Ordnung elektrotechnisch: Verzögerungsglied 1. Ordnung = Tiefpass 1. Ordnung R uR (t) ue (t) Die Elemente Widerstand i(t) R und Kapazität C C ua (t) lassen sich bei Messeinrichtungen meist realen elektrischen Schaltungsteilen zuordnen. C: Eingangskapazität der elektronischen Messeinrichtung und Kapazität der Messkabel R: Parallelschaltung von Quellwiderstand des Messsignals und Eingangswiderstand des Messeinrichtung. ©Sönke Carstens-Behrens 44 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Eigenschaften von Messeinrichtungen Dynamische Kenngröÿen von Messeinrichtungen Zeitverhalten des Verzögerungsgliedes 1. Ordnung Eingangsgröÿe: ue (t), Ausgangsgröÿe: ua (t) ue (t) = uR (t) + ua (t) = Ri(t) + ua (t) Für den Strom i(t) gilt i(t) = C dua (t) . dt Damit ergibt sich eine DGL 1. Ordnung: ue (t) = RC dua (t) + ua (t). dt ue (t) Sprungfunktion von 0 V auf U0 Zeitkonstanten τ = RC folgt für die Ausgangsgröÿe: 0, t<0 ua (t) = U0 (1 − e−t/τ ) t ≥ 0 Beispiel: Eingangsgröÿe Mit der ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) bei t = 0. Mess- und Sensortechnik Eigenschaften von Messeinrichtungen SoSe 2010 Dynamische Kenngröÿen von Messeinrichtungen Sprungantwort des Verzögerungsglieds 1. Ordnung ua (t) U0 Je kleiner die Zeitkonstante τ ist, desto kürzer ist der 0.95 Einschwingvorgang. 0.63 ⇒ elektrische Messeinrichtung: R und C möglichst klein halten, damit die Messeinrichtung der Eingangsgröÿe möglichst schnell τ ©Sönke Carstens-Behrens 3τ (RAC) t folgen kann. Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 45 5 Strukturen von Messeinrichtungen 5.1 Reihenstrukur Strukturen von Messeinrichtungen Reihenstrukur Reihenstruktur Messgröÿe Sensor Anzeige Verstärker Häug eingesetzte Struktur Übertragungsfaktoren ki , i = 1, . . . ,N der N Elemente multiplizieren sich: k = k1 k2 · · · kN Sind die Übertragungsfaktoren u(ki )/ki ki mit den relativen Unsicherheiten behaftet, so ist die relative Unsicherheit des Übertragungsfaktors u(k) = k s k der gesamten Messkette u(k1 ) k1 2 + u(k2 ) k2 2 + ... + u(kN ) kN 2 Andere Bezeichnungen: Serienstruktur, Kettenstruktur ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Strukturen von Messeinrichtungen SoSe 2010 Reihenstrukur Beispiel einer Reihenstruktur (1) Ein Photoelement liefert Spannung Beleutungsstärke u in Abhängigkeit der EV : u = k1 EV Ein Verstärker wandelt das Spannungssignal in ein Stromsignal um: i = k2 u Ein Zeigerinstrument zeigt den Strom an. Für den Winkel des Zeigers gilt: α = k3 i Für die relativen Unsicherheiten gilt u(k1 )/k1 = 0,03, u(k2 )/k2 = 0,005, u(k3 )/k3 = 0,01 i Wie groÿ ist der Übertragungsfaktor und wie groÿ ist die relative Unsicherheit der gesamten Messkette? ©Sönke Carstens-Behrens 46 (RAC) Mess- und Sensortechnik u SoSe 2010 Strukturen von Messeinrichtungen Reihenstrukur Beispiel einer Reihenstruktur (2) Die einzelnen Übertragungsfaktoren multiplizieren sich zum gesamten Übertragungsfaktor, also k = k1 k2 k3 . Der Ausschlagwinkel des Strommessers ist proportional zur Beleuchtungsstärke EV : α = kEV . Für die relative Unsicherheit der gesamten Messkette gilt u(k) p = 0,032 + 0,0052 + 0,012 ≈ 0,032. k ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 5.2 Parallelstruktur Strukturen von Messeinrichtungen Parallelstruktur Parallelstruktur xe1 k xa1 xa xe2 k xa2 Mindestens zwei Gröÿen werden gleichzeitig oder nacheinander mit derselben Empndlichkeit k gemessen und verarbeitet. Beispiel (s. Abbildung): Die Messeinrichtng verarbeitet gleichzeitig die beiden Signale xe1 und xe2 und liefert das Signal xa = xa1 − xa2 = k(xe1 − xe2 ). Einsatz oft zur Gleichtaktunterdrückung ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 47 Strukturen von Messeinrichtungen Parallelstruktur Beispiel 1 zur Parallelstruktur Messung einer schwach radioaktiven Quelle Problem: der Detektor misst die Summe der Strahlung aus der Quelle und der natürlichen Strahlung. Lösung: ein zweiter Detektor erfasst allein die natürliche Strahlung das Signal des zweiten Detektor wird von dem des ersten Detektors abgezogen Dierenz ist ein Maÿ für die Strahlung der künstlichen Quelle. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Strukturen von Messeinrichtungen SoSe 2010 Parallelstruktur Beispiel 2 zur Parallelstruktur Kompensation von Temperatureinüssen bei Dehnungsmessstreifen: Dehnungsmessstreifen unterliegt einer Dehnung und einer Temperaturänderung. Für den Widerstand gilt: xa1 = R0 + ∆Rσ + ∆RT , mit R0 : ursprünglicher Wert, Dehnung, ∆RT : ∆Rσ : Widerstandsänderung durch Widerstandsänderung durch Temperaturänderung. Problem: Einuss der Widerstandsänderung durch Dehnung und Temperatur lässt sich nicht auseinander halten. Lösung: ein gleichartiger Widerstand wird nur der Temperaturänderung ausgesetzt. Nun lässt sich der Temperatureinuss auf den ersten Widerstand kompensieren: xa = xa1 − xa2 = R0 + ∆Rσ + ∆RT − R0 − ∆RT = ∆Rσ . ©Sönke Carstens-Behrens 48 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 5.3 Kreisstruktur Strukturen von Messeinrichtungen Kreisstruktur Kreisstruktur xe + xd Verstärker − xg Kompensation xa Kennzeichen: Rückführung des Ausgangs an den Eingang. Meistens: Seltener: xg xg ©Sönke Carstens-Behrens wird von wird zu (RAC) xe xe abgezogen (Gegenkopplung). addiert (Mitkopplung). Mess- und Sensortechnik Strukturen von Messeinrichtungen SoSe 2010 Kreisstruktur Kreisstruktur (2) Einfachster Fall: Vorwärtszweig mit Übertragungsfaktor Rückführungszweig mit Übertragungsfaktor ⇒ xd = k1 (xe − xg ) = k1 (xe − kg xd ) = Meistens wird xd ≈ xe kg k1 k1 , kg k1 xe . 1 + k1 kg sehr groÿ gewählt (Operationsverstärker), so dass Dann sind Eingangsgröÿe und Kompensationsgröÿe praktisch gleich: xg = kg xd ≈ xe . Aus dem Kompensationseinrichtung kann nun ein Maÿ für damit für xe xg und als Anzeigewert ausgekoppelt werden. Die Kreisstruktur ist eng mit dem Kompensationsverfahren verbunden. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 49 5.4 Allgemeine Struktur zur rechnergestützten Messdatenerfassung Strukturen von Messeinrichtungen Rechnergestützte Messdatenerfassung Allgemeine Struktur zur rechnergestützten Messdatenerfassung xe (t) Umwelt Rechner Sensor AD-Wandler [x1 ,x2 ,...,xn ] t u,i,q t t u u Halteglied Verstärker t u t u Anti-Aliasing- t ©Sönke Carstens-Behrens Multiplexer Filter (RAC) t Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 6 Messung elektrischer Gröÿen 6.1 Einleitung Messung elektrischer Gröÿen Einleitung Einleitung Messung von Stromstärke und Spannung: Grundlage für fast alle anderen Messungen elektrischer Gröÿen und nichtelektrischer Gröÿen mit elektrischen Messverfahren. elektromechanische Messgeräte: Ausnutzung der Kraftwirkung auf einen stromdurchossenen Leiter in einem Magnetfeld. Messung einer Spannung UM : Zurückführung auf Strommessung über UM = R · IM Der Messwiderstand R muss genau bekannt und konstant sein. Elektronische Messgeräte: Analog-Digital-Wandlung der Spannung. Strommessung durch Umwandlung in Spannung. ©Sönke Carstens-Behrens 50 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 6.2 Stromstärke und Spannung 6.2.1 Drehspulmessgerät Messung elektrischer Gröÿen Stromstärke und Spannung Drehspulmessgerät (1) Eine beweglich aufgehängte Spule bendet sich in einem radialhomogenen Feld eines Dauermagneten. Die Spule ist starr mit einem Zeiger und einer Drehfeder verbunden. Der zu messende Strom B die Spule I ⇒ I Lorentzkraft ieÿt durch FL ∼ I Diese Kraft dreht die Spule, bis die N S Rückstellkraft FR durch die Drehfeder entgegengesetzt gleich groÿ ist. FR ⇒ ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) proportional zu Ausschlagswinkel Zeigerausschlag ∼ I. Mess- und Sensortechnik Messung elektrischer Gröÿen α. SoSe 2010 Stromstärke und Spannung Drehspulmessgerät (2) Eigenschaften: Anpassung an verschiedene Messbereiche: Parallelschaltung oder Reihenschaltung von Widerständen Aufgrund seiner Trägheit zeigt das Drehspulmesswerk keine schnellen (im Vergleich zur Trägheit) Veränderungen des Stromes oder der Spannung an. Im Falle einer hochfrequenten reinen Wechselgröÿe bleibt der Ausschlag damit bei null. Messung von hochfrequenten, reinen Wechselgröÿen: Gleichrichtung des Spulenstroms Anzeige eines geeigneten Mittelwerts der pulsierenden Gleichspannung, meistens: Eektivwert ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 51 6.2.2 Elektronische Messgeräte Messung elektrischer Gröÿen Stromstärke und Spannung Elektronische Messgeräte Elektromechanische Messgeräte werden zunehmend durch elektronische Messgeräte mit digitaler Anzeige ersetzt. Elektronische Spannungsmesser: sehr groÿer Eingangswiderstand 7 (10 Ω . . . 1010 Ω) ⇒ fast rückwirkungsfreie Messung. Strommessung: Spannungsabfall über einen Messwiderstand (engl. shunt). Wert des Messwiderstand ist im mΩ-Bereich ⇒ im Vergleich zu elektromechanischen Messgeräten kleine systematische Abweichung. Messung von Wechselgröÿen: Gleichrichtung Spezielle analoge Schaltkreise mit integrierenden Multiplizierern oder numerisch (z. B. mit DSP) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 6.3 Leistung 6.3.1 Elektrodynamisches Messwerk Messung elektrischer Gröÿen Leistung Elektrodynamisches Messgerät (Dynamometer) Ähnlicher Aufbau wie beim Drehspulmessgerät, Dauermagnet ist durch Elektromagnet (feststehende Spule) ersetzt. Magnetfeld B = k 1 I1 Lorentzkraft auf Drehspule: FL = k2 BI2 = k1 k2 I1 I2 B I2 Wegen linearer Rückstellkraft der N S Feder: Zeigerausschlag α = kI1 I2 Anwendung: Leistungsmessung Verbraucherstrom: ieÿ durch feststehende Spule Verbraucherspannung: über Vorwiderstand als Strom durch die I1 Drehspule α ∼ UI ©Sönke Carstens-Behrens 52 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messung elektrischer Gröÿen Leistung Elektrodynamisches Messgerät: Eektivwertmessung Bei Wechselgröÿen i1 (t) und i2 (t) wird der Zeigerausschlag gedämpft (Tiefpassverhalten). Für phasenverschobene Ströme gleicher Frequenz i1 (t) = Iˆ1 cos(ωt) folgt für die Leistung p(t) mit den i2 (t) = Iˆ2 cos(ωt + ϕ), √ Eektivwerten Ik = Iˆk / 2: p(t) = i1 (t)i2 (t) = Iˆ1 cos(ωt)Iˆ2 cos(ωt + ϕ) 1ˆˆ = I1 I2 (cos(ϕ) + cos(2ωt + ϕ)) 2 = I1 I2 (cos(ϕ) + cos(2ωt + ϕ)) . Auslegung des Messwerks: Zeiger kann der Frequenz 2ω nicht folgen ⇒ α = kI1 I2 cos(ϕ). Wirkleistungsmessung: wieder Verbraucherstrom über Feldspule, Verbraucherspannung über Messwiderstand durch Drehspule. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 6.3.2 Elektronische Messgeräte Messung elektrischer Gröÿen Leistung Elektronische Messgeräte Messung des Strom- und Spannungsverlaufs (sehr geringe Messabweichungen) Bei geeigneter Abtastrate können die Momentanwerte von Strom und Spannung u(t) i(t) bestimmt werden Für die Momentanleistung folgt dann p(t) = u(t)i(t) Durch Integration bzw. Aufsummieren lässt sich auch die Wirkleistung bestimmen. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 53 6.4 Wirkwiderstände 6.4.1 Messung mittels Strom- und Spannungsmessung Messung elektrischer Gröÿen Wirkwiderstände Zweileiterschaltung R = U/I ⇒ Bestimmung Strom I und Spannung U des Widerstands aus gleichzeitiger Messung von RL Rx : RL I gesuchter Widerstand, (unbekannter) Wider- stand der Zuleitung. UM V Rx I Wenn RL Ri → ∞ Rx 2RL , Rx = Problem: Bei Messung sehr kleiner Widerstände Rx , dann UM U − 2RL ≈ . I I d. h. Rx ist in Gröÿenordnung der Zuleitungswiderstände, ist der unbekannte systematische Fehler zu groÿ! ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung elektrischer Gröÿen SoSe 2010 Wirkwiderstände Vierleiterschaltung I RL UM Rx I V RL Ri → ∞ Die Zuleitungswiderstände ≈I RL haben keinen Einuss auf I, die Spannung kann nahezu stromlos gemessen werden, deshalb gilt auch für sehr kleine Messwiderstände Rx Rx ≈ ©Sönke Carstens-Behrens 54 (RAC) UM I Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 6.4.2 Messung mittels Messbrücken Messung elektrischer Gröÿen Wirkwiderstände Wheatstone-Brücke im Abgleichverfahren Im Abgleichfall Ersetzen von R1 U0 A R1 R2 = R3 R4 . durch den R4 durch den (einstellbaren) Vergleichwiderstand Bestimmung von B Rx Rx = RV Rx R2 gilt unbekannten Widerstand und R3 UAB UAB = 0 indem RV durch · R1 RV R3 so gewählt wird, dass die Messbrücke wieder abgegelichen ist. in der Praxis: R1 /R3 Messunsicherheit Messbereich etwa in Dekaden einstellbar < | ± 10−4 | 1Ω bis möglich 10 MΩ, bei kleineren Widerständen stören die Zuleitungswiderstände. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung elektrischer Gröÿen SoSe 2010 Wirkwiderstände Anwendbarkeit von Messbrücken im Abgleichverfahren Zum Aufbau der Brücken ist jede Art von Widerständen geeignet. Anwedungsbeispiele: elektrische Messbrücken: induktive Messbrücken kapazitive Messbrücken ohmesche Messbrücken hydraulische Messbrücken pneumatische Messbrücken ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 55 Messung elektrischer Gröÿen Wirkwiderstände Wheatstone-Brücke im Ausschlagverfahren R1 = R3 = R4 = R R2 = R + ∆R, ∆R R Für die Spannung R U0 R UAB A UAB = B = R + ∆R R ≈ UAB gilt dann: R R + ∆R U0 − U0 2R + ∆R 2R ∆R U0 4R + 2∆R U0 ∆R, 4R Widerstandsänderung: ∆R ≈ 4RUAB U0 Bestimmung kleiner Widerstandsänderungen mit Vorzeichen. Viertelbrücke, ©Sönke Carstens-Behrens da nur ein Widerstand veränderlich ist (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung elektrischer Gröÿen SoSe 2010 Wirkwiderstände Thomson-Brücke im Abgleichverfahren RL1 I0 U0 Rx , RV RV ≈ I0 der Zuleitungswiderstände Rm RM UAB Rm /Rn = RM /RN . Rm , Rn , RM , RN Rx praktisch kein Strom durch die Rn RN rechte Brücke Im Abgleichfall gilt Rx = Rx Messung Vierleiterschaltung ©Sönke Carstens-Behrens 56 RL1 , RL2 ,RL3 . RL3 RL2 in der Gröÿenordnung (RAC) Mess- und Sensortechnik RN RV RM Rx ≥ 10−7 Ω SoSe 2010 Messung elektrischer Gröÿen Wirkwiderstände Viertelbrücken R UAB U0 R ∆R U0 4R + 2∆R ∆R U0 4R ≈ ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) R R ∆R U0 4R + 2∆R ∆R ≈ − U0 4R UAB = − Mess- und Sensortechnik Messung elektrischer Gröÿen R UAB U0 R + ∆R UAB = R + ∆R R SoSe 2010 Wirkwiderstände Halbbrücken R + ∆R R + ∆R R UAB U0 U0 R + ∆R R ∆R U0 2R + ∆R ∆R ≈ − U0 2R UAB = − ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik R UAB R − ∆R UAB = − R ∆R U0 2R SoSe 2010 57 Messung elektrischer Gröÿen Wirkwiderstände Halbbrücken (2) R + ∆R R − ∆R UAB U0 R R −2R∆R U0 4R2 − (∆R)2 ∆R ≈ − U0 2R UAB = ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung elektrischer Gröÿen SoSe 2010 Wirkwiderstände Vollbrücke R + ∆R U0 UAB R − ∆R UAB = − ©Sönke Carstens-Behrens 58 (RAC) R − ∆R R + ∆R ∆R U0 R Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 6.5 Kapazität und Induktivität Messung elektrischer Gröÿen Kapazität und Induktivität Einleitung Kapazität eines Kondensators und Induktivität einer Spule sind nur mit Wechselspannungsmessschaltungen zu ermitteln. Anlegen einer sinusförmigen Spannung Frequenz aber verschobene Phase. Komplexe Gröÿen Leitwert Y = I U. U, I ⇒ ⇒ sinusförmiger Strom: gleiche komplexer Widerstand = Z= U I , komplexer Z = R + jX . √ Z = R2 + X 2 . komplexer Widerstand: Z X Scheinwiderstand: ϕ R ©Sönke Carstens-Behrens Phasenwinkel: < (RAC) ϕ = arctan X R. Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 6.5.1 Messung mittels Strom- und Spannungsmessung Messung elektrischer Gröÿen Kapazität und Induktivität Kondensator Rp Realer Kondensator: neben der erwünschten C Ls Kapazität auch induktive Blindanteile und Wirkanteile. Rp Realer Kondensator, vereinfacht: neben der C C erwünschten Kapazität auch Wirkanteile. Reicht oft zur Analyse eines Kondensators. Idealer Kondensator: reine Kapazität. Reicht zur Analyse hochwertiger, sehr verlustarmer Kondensatoren. Nicht für hohe Frequenzen ©Sönke Carstens-Behrens 1 MHz, (RAC) nicht bei Elektrolytkondensatoren. Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 59 Messung elektrischer Gröÿen Kapazität und Induktivität Kondensator (2) Idealer Kondensator: 1 ωC XC = = 1 2πf C = Realer Kondensator, vereinfacht: U I ⇒C= I 2πf U . IR IC δ I U Verlustwinkel Kapazität: δ = 90◦ − ϕ: tan δ = XC = ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) 1 ωC = U IC = U I cos δ IR IC = ⇒C 1 ωCRp . cos δ = I ωU . Mess- und Sensortechnik Messung elektrischer Gröÿen SoSe 2010 Kapazität und Induktivität Spule Cp Reale Spule: neben der erwünschten L Rs Induktivität auch kapazitive Blindanteile und Wirkanteile. Reale Spule, vereinfacht: neben der L Rs erwünschten Induktivität auch Wirkanteile (Widerstand der Drahtwicklung, Wirbelstrom). Reicht zur Analyse einer Spule auÿer im Höchstfrequenzbereich. L Ideale Spule: reine Induktivität. Ist in der Praxis nicht anzutreen. ©Sönke Carstens-Behrens 60 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messung elektrischer Gröÿen Kapazität und Induktivität Spule (2) Zur Bestimmung der Induktivität einer Spule sind eine Gleichspannungsmessung (Bestimmung des ohmschen Widerstands) und eine Wechselspannungsmessung (Bestimmung des Scheinwiderstands) nötig: Z 2 = R2 + XL2 = R2 + (ωL)2 . √ XL = ωL = Z 2 − R2 . Damit folgt für die Induktivität: L= ©Sönke Carstens-Behrens √ (RAC) Z 2 − R2 = ω r Uw Iw 2 − 2πf Ug Ig 2 Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 6.5.2 Messung mittels Wechselstrombrücken Messung elektrischer Gröÿen Kapazität und Induktivität Wechselstrombrücken Z1 Z3 Abgleichbedingung: U AB U0 Z2 Mit Z1 Z2 = Z3 Z4 Exponentialschreibweise Z = Z ejϕ : Z1 ejϕ1 Z3 ejϕ3 =Z . Z ejϕ2 ejϕ4 Z4 2 4 Der Abgleich der Wechselstrombrücke ist nach Betrag und Phase durchzuführen! Z1 Z3 = Z2 Z4 und Analog zur Gleichstrombrücke: ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) ϕ1 − ϕ2 = ϕ3 − ϕ4 . Z1 , ϕx = ϕv − ϕ3 + ϕ1 . Zx = Zv Z 3 Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 61 Messung elektrischer Gröÿen Kapazität und Induktivität Wechselstrombrücke: Beispiel In der Praxis: Zwei Abgleichschritte, die iterative ausgeführt werden. Verschiedene Varianten möglich, ein Beispiel zur Bestimmung einer Kapazität: R1 L U AB U0 Cx Cx : zu bestimmende Kapazität R1 : Betragsabgleich L: R2 Phasenabgleich ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7 Temperaturmessung 7.1 Einleitung Temperaturmessung Einleitung Temperatur Bedeutung der Temperaturmessung praktisch alle mechanischen, elektrischen, magnetischen oder optischen Stoeigenschaften sind temperaturabhängig chemische Reaktionen, biologische Vorgänge, technisch physikalsiche Prozesse sind temperaturabhängig Wirkungsgrad bei Erzeugung, Umformung, Speicherung und Transport von Energie ist temperaturabhängig ⇒ Temperaturmessung eine der wichtigsten und am häugsten gemessenen technisch-physikalsischen Gröÿen z. B. in der Verfahrenstechnik: 30 bis über 50% der gesamten Messstellen dienen der Temperaturmessung ©Sönke Carstens-Behrens 62 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.2 Zur Temperaturdenition Temperaturmessung Zur Temperaturdenition Denierende Fixpunkte der ITS-90 ◦C Gleichgewichtszustand T90 Tripelpunkt Helium -259,3467 13,8033 Tripelpunkt Neon -248,5939 24,5561 Tripelpunkt Sauersto -218,7916 54,3584 Tripelpunkt Argon -189,3442 83,8058 Tripelpunkt Quecksilber -38,8344 234,3156 in T90 in K Tripelpunkt Wasser 0,01 273,16 Schmelzpunkt Gallium 29,7646 302,9146 Erstarrungspunkt Indium 156,5985 429,7485 Erstarrungspunkt Zinn 231,928 505,078 Erstarrungspunkt Zink 419,527 692,677 Erstarrungspunkt Aluminium 660,323 933,473 Erstarrungspunkt Silber 961,78 1234,93 Erstarrungspunkt Gold 1064,18 1337,33 Erstarrungspunkt Kupfer 1084,62 1357,77 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Unterscheidung Schmelzpunkt und Erstarrungspunkt: abhängig davon, ob während der Temperaturmessung Energie zu- oder abgeführt wird. 7.3 Ausdehnungsthermometer Temperaturmessung Ausdehnungsthermometer Ausdehnungsthermometer Messeekt: Wärmeausdehnung, insbesondere fester und üssiger Materialien. Gas- oder Dampfdruckthermometer werden heute selten verwendet. Beispiele: Bimetallthermometer Flüssigkeitsthermometer ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 63 7.3.1 Bimetallthermometer Temperaturmessung Ausdehnungsthermometer Bimetallthermometer Bimetallthermometer bestehen aus zwei miteinander verbundenen Metallen verschiedener Ausdehnungskoezienten. Meist werden Bimetallspiralen oder -federn eingesetzt. Mit l: Streifenlänge s: Streifendicke a: spezische thermische Ausbiegung r: Radius ∆T : Temperaturänderung ergibt sich für die Änderung des Drehwinkels α= ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) 360◦ al ∆T. πs Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Ausdehnungsthermometer Flüssigkeitsthermometer Volumenänderung: β: ∆V = βV ∆T relativer Volumenausdehnungskoezient der thermometrischen Flüssigkeit (T -abhängig) V: ∆T : Volumen Temperaturänderung Beispiele für Temperaturbereiche: Quecksibler: Isopentan: Maschinen- Probleme: −30 ◦ C −195 ◦ C . . . 1000 . . . 35 ◦ C (unter Druck) ◦C 356,6 ◦ C Glasthermometer Siedepunkt von Quecksilber: nach DIN 16190 Abweichungen durch nicht ganz eingetauchten Faden ©Sönke Carstens-Behrens 64 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Ausdehnungsthermometer Flüssigkeitsthermometer: Fadenkorrektur Für ganz eintauchend kalibirierte Thermometer entsteht ein so genannter Fadenfehler, wenn das Thermometer nur teilweise in das Messmedium eintaucht. Der Fehler lässt sich näherungsweise korrigieren: Tk = Ta + Tk : korrigierte Temperatur Ta : abgelesene Temperatur Tf : Fadentemperatur l: E: βl (Ta − Tf ) E Länge des herausragenden Fadens Empndlichkeit des Thermometers ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.4 Widerstandsthermometer Temperaturmessung Widerstandsthermometer Widerstandsthermometer Messeekt: der elektrische Widerstand verschiedener Materialien ist vorhersagbar temperaturabhängig. Folgende Typen sind zu unterscheiden: Metallwiderstandsthermometer Halbleiter-Widerstandsthermometer (Thermistoren) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 65 7.4.1 Metallwiderstandsthermometer Temperaturmessung Widerstandsthermometer Metallwiderstandsthermometer Widerstand in Abhängigkeit von der Temperatur: R(T ) = R(T0 ) 1 + α(T − T0 ) + β(T − T0 )2 + . . . R(T ): Widerstand T: Temperatur T0 : α, β : Bezugstemperatur Temperaturkoezienten (Materialkonstanten) Die Terme höherer Ordnung sind bei groÿen Messspannen zu berücksichtigen. Für kleine Messspannen gilt näherungsweise: R(T ) = R(T0 ) (1 + α(T − T0 )) R(T ) − R(T0 ) ∆R ⇒ T = T0 + = T0 + αR(T0 ) αR(T0 ) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Widerstandsthermometer Anforderungen an Materialien für Metallwiderstandsthermometer gute Wiederholpräzision der elektrischen Widerstandsänderung in Abhängigkeit von Temperatur und Zeit (Alterung) groÿer Temperaturkoezient des elektrischen Widerstands kleiner spezischer Widerstand (sonst Eigenerwärmung!) möglichst lineares Verhalten Resistenz gegenüber Korrosion und chemischen Verunreinigungen geringer thermischer Ausdehnungskoezient ©Sönke Carstens-Behrens 66 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Materialien für Metallwiderstandsthermometer und ihre Temperaturkoezienten Einige Beispiele bei einer Temperatur von Material spez. elektr. T = 20 ◦ C: Temperaturkoezient α Widerstand in Ω in mm2 /m 10−3 K−1 Platin 0,107 3,9 Iridium 0,053 4,3 Nickel 0,087 6,5 Molybdän 0,054 4,7 Kupfer 0,017 3,9 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Widerstandsthermometer Pt-100: Widerstand in Abhängigkeit von der Temperatur Wichtigster Metallwiderstandssensor: Pt-100 (Norm: DIN EN 60751) Rϑ = R0 1 + Aϑ + Bϑ2 + C(ϑ − 100 ◦ C)ϑ3 Rϑ = R0 1 + Aϑ + Bϑ2 −200 ◦ C bis 0 ◦ C: 0 ◦ C bis 850 ◦ C: · A = 3,9083 10−3 ◦ C−1 · −4,183 · 10 B = −5,775 10−7 ◦ C−2 C = −12 ◦ C−4 R0 = 100 Ω −200 ◦ C bis 850 ◦ C: 0 ◦ C bei 100 ◦ C ±0,35 ◦ C ±0,8 ◦ C Toleranzklassen, Temperaturbereich Klasse Grenzabweichung bei Klasse A Klasse B ©Sönke Carstens-Behrens ±0,15 ◦ C ±0,3 ◦ C (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 67 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Pt-100: Farbkennzeichnung 2-Leiterschaltung 3-Leiterschaltung 4-Leiterschaltung rot rot rot rot rot weiÿ weiÿ weiÿ weiÿ ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.4.1.1 Beispiele für den Aufbau Temperaturmessung Widerstandsthermometer Mantelwiderstandsthermometer biegsame mineralisolierte Mantelleitung geeignet für hohe mechanische Belastungen, aggressive Medien kleine Einstellzeiten (t90 =2s . . . 15 s in Luft) guter thermischer Kontakt zum Messobjekt bei Löt- oder Schweiÿverbindung ©Sönke Carstens-Behrens 68 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Messwiderstände in verschiedenen Ausführungsformen ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Widerstandsthermometer Drahtmesswiderstand in Keramikausführung (mit Innenwicklung) Pt-Drahtdurchmesser . . . 30 µm Temperaturbereich: bis 15 µm 800 ◦C −200 ◦ C gute Langzeitstabilität auch bei groÿen TemperaturWechselbelastungen ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 69 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Drahtmesswiderstand in Glasausführung Pt-Drahtdurchmesser . . . 30 µm Temperaturbereich: bis 15 µm 550 ◦C −200 ◦ C Einsatz in Flüssigkeiten ohne Schutzrohr möglich ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Widerstandsthermometer Flachmesswiderstand in Dünnschichttechnik Pt-Schichtdicke . . . 1,3 0,5 µm µm Abgleich auf Nennwert durch Auftrennen von Leiterbrücken und Einschneiden eines Nebenwiderstands mit einem Laser Schutz der Struktur durch Glasschicht, Dicke < Temperaturbereich: 600 ◦C 20 µm −50 ◦ C bis kleine Einstellzeiten, geringe Wärmekapazität ©Sönke Carstens-Behrens 70 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.4.2 Halbleiterwiderstandthermometer Temperaturmessung Widerstandsthermometer Halbleiterwiderstandsthermometer Heiÿleiter (NTC-Thermistoren, NTC: (engl. coecient)) Kaltleiter (PTC-Thermistoren, PTC: (engl. coecient)) negative temperature positive temperature Silizium-Widerstandstemperatursensoren ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.4.2.1 Heiÿleiter (NTC-Thermistoren) Temperaturmessung Widerstandsthermometer Heiÿleiter Material: p- oder n-Halbleiter (meistens Metalloxide wie Eisenoxid oder Zinktitanoxid) Widerstand nimmt annähernd exponentiell mit der Temperatur ab: B R(T ) = RT0 e T: T0 : RT0 : 1 T − T1 0 Temperatur in K Bezugstemperatur in K Widerstand bei der Bezugstemperatur (oft R(T0 ) = 100 Ω B: oder T0 = 25 ◦ C und 1000 Ω) Materialkonstante in K (Form-, Werksto-, Temperaturabhängigkeit) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 71 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Heiÿleiter: Bestimmung der Materialkonstanten Die Beträge von B und RT0 sind herstellungsbedingt Schwankungen unterworfen. Bestimmung von B: 1 Messung des Widerstandes 2 Berechnung gemäÿ R(T ) B= Nach DIN EN 143000 soll T1 = 298,15 K = 25 ◦ C Typische Werte für ©Sönke Carstens-Behrens B und T1 und T2 T1 T2 R(T1 ) ln T2 − T1 R(T2 ) in Datenblättern im Allgemeinen auf T2 = 358,15 K = 85 ◦ C B : 1500 K (RAC) bei den Temperaturen . . . 7000 bezogen sein. K. Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Widerstandsthermometer Heiÿleiter: Empndlichkeit und Temperaturkoezient Empndlichkeit: Widerstandsänderung bezogen auf Temperaturänderung E(T ) = dR(T ) B B = −RT0 2 e dT T 1 T − T1 0 = −R(T ) B T2 Temperaturkoezient: Empndlichkeit bezogen auf Widerstand αR (T ) = E(T ) B =− 2 R(T ) T Temperaturkoezient ist negativ, daher der Name NTC-Thermistor: (engl. negative temperature coecient). ©Sönke Carstens-Behrens 72 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Heiÿleiter: Einsatztemperaturbereich Nutzbarer Einsatzbereich von < 250 ◦ C, ◦ nicht-oxidischen Materialien < 500 C, ◦ Hochtemperatur-NTC < 1000 C. Metall-Oxid-Thermistoren: von von ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Widerstandsthermometer Heiÿleiter: Vergleich zu Metallwiderstandsthermometer Vorteile der NTC-Thermistoren: gröÿere Empndlichkeit (typisch: betragsmäÿig Faktor 10) gröÿerer Widerstandsbereich Widerstand gröÿer (Abgleich der Zuleitung meist nicht nötig) preisgünstiger Nachteile der NTC-Thermistoren: Toleranz um etwa eine Gröÿenordnung höher geringere Langzeitstabilität ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 73 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Einsatzgebiete von Heiÿleitern Da Heiÿleiter vergleichsweise preisgünstig sind, nden sie Einsatz in Erzeugnissen der Groÿserienproduktion, z. B. Automobilbau: Messung von Ansaug-, Kühlwasser- und Öltemperatur, Frostwächter, in der Klimaanalge Haustechnik: in Kühlschrank, Wasch- und Spülmaschine, Toaster, Heizungs- und Klimasteuerung Wegen ihrer geringen Abmessungen und hohen Empndlichkeiten werden sie häug eingesetzt in wissenschaftlichen Temperaturmessungen Raumfahrt Militärtechnik Medizintechnik Lebensmitteltechnik ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.4.2.2 Kaltleiter oder PTC Temperaturmessung Widerstandsthermometer Kaltleiter Ein Kaltleiter ist ein Halbleiterwiderstand, dessen Widerstandswert nach Überschreiten einer Bezugstemperatur Tb extrem ansteigt. kein einfaches Modell für die Kennlinie im Arbeitsbereich (Breite nur ca. Temperaturkoezient typische Werte für α (⇒ α: 0,07 20 ◦ C, um Tb ) positiver PTC) K−1 bis 0,7 K−1 PTC-Eekt ist stark frequenzabhängig, Widerstandswert sinkt mit steigender Frequenz geringe Wiederholpräzision Material: polykristalline Keramik auf Basis von Bariumnitrat Bezugstemperatur durch Beimengen von Zusatzstoen im Herstellungsprozess einstellbar, typisch 25 ◦ C bis 180 ◦ C Norm für PTC-Halbleiterwiderstände: DIN 44080 ©Sönke Carstens-Behrens 74 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Kaltleiterkennlinien Quelle: Bernhard: Technische Temperaturmessung. Springer-Verlag, 2004. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Widerstandsthermometer Einsatzgebiete von Kaltleitern Wegen der Schaltcharakteristik: Übertemperaturschutz Elektromotoren, Transformatoren, Generatoren, Heiÿwassergeräte, Dampferzeugung Ausnutzung des Eekts der Eigenerwärmung (bei konstanter Umgebungstemperatur) Kurzschluss- und Überlastschutz in Leistungskaltleitern Strombegrenzung von Lautsprechern selbstregelnde Heizelemente (Haartrockner) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.4.2.3 Silizium-Widerstandstemperatursensor 75 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Silizium-Widerstandstemperatursensoren n-dotiertes Silizium (hochgenau dotiert) Temperaturbereich: −50 ◦ C bis 150 ◦ C extrinsische Leitfähigkeit (keine zusätzlichen Ladungen) spezischer Widerstand hängt fast linear von der Temperatur ab positiver Temperaturkoezient (wie bei Metallwiderstandsthermometer) übliche Ausführung: ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Spreading-Resistance-Sensor Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Widerstandsthermometer Spreading-Resistance-Temperatursensor ©Sönke Carstens-Behrens 76 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Spreading Resistance Sensor (2) Wenn d D, gilt unabhängig von R= D näherungsweise ρ(T ) πd Kennlinie von der Stromrichtung abhängig, deshalb Kombination zweier Einzelelemente in entgegengesetzter Reihenschaltung üblicher Widerstandswert RN der Reihenschaltung bei TN = 25 ◦ C: RN = 2 kΩ typischer Temperaturkoezient bei Toleranz des Nennwiderstands ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) TN : α = 7,8.10−3 K−1 ∆R/RN : ±1% Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.4.3 Auswertung der Sensorsignale Temperaturmessung Widerstandsthermometer Auswertung der Sensorsignale Normwerte für Widerstandsthermometer beziehen sich im Allgemeinen nur auf die Messwiderstände und ihre Anschlussdrähte Abweichung der Widerstandsmessung durch Zuleitungen, Kontaktstellen usw. Je nach Genauigkeitsanforderungen und Wirtschaftlichkeitsüberlegungen müssen entsprechende Maÿnahmen ergrien werden ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.4.3.1 Zweileiterschaltung 77 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Zweileiterschaltung Vorteile: einfache Verdrahtung Nachteile: Abweichungen durch Widerstände in den Zweileiterschaltung Signalleitungen diese Widerstände sind in der Regel nicht nicht genau vorhersagbar und können sich mit der Zeit Pt100 ändern (Alterung) Abweichung daher nur begrenzt korrigierbar Beispiel PT 100: Abweichung von Abweichung von ⇒ 2,5 K 1Ω⇒ (Nullpunktverschiebung) bei langen Zuleitungen sollten Pt 500- oder Pt 1000- Widerstände verwendet werden, Abweichung wird auf 20% bzw. 10% reduziert. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.4.3.2 3-Leiteranschluss Temperaturmessung Widerstandsthermometer Dreileiterschaltung Vorteile: Mit einer zusätzlichen Leitung werden die (temperaturabhängigen) Leitungs- und Übergangswiderstände gemessen. Dreileiterschaltung Durch eine geeignete elektronische Schaltung lässt sich ihr Einuss weitgehend eliminieren. Nachteile: Pt100 Die Widerstände der drei Leitungen und der jeweiligen Übergangsstellen müssen genau übereinstimmen. Pt 100: Abweichung von von 1K 0,39 Ω ⇒ Abweichung Es können thermoelektrische Eekte auftreten. ©Sönke Carstens-Behrens 7.4.3.3 4-Leiteranschluss 78 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Widerstandsthermometer Vierleiterschaltung Über zwei Leitungen ieÿt der konstante Messtrom, über die beiden anderen Leitungen wird der Spannungsabfall am Widerstand gemessen. Vorteile: Vierleiterschaltung mit Hilfe von zwei zusätzlichen Leitungen wird der Einuss der Leitungs- und Übergangswiderstände fast vollständig beseitigt. Verbleibende Abweichung: ca. Pt100 0,004% Ω−1 . 0,002% Ω−1 bis Nachteile: Es muss ein 4-adriges Kabel verlegt werden. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.4.3.4 Brückenschaltungen s. Abschnitt 6.4.2 7.5 Thermoelemente Temperaturmessung Thermoelemente Seebeck-Eekt An den Enden eines stromlosen Leiters mit Temperaturgradient baut sich eine Potentialdierenz (Thermospannung) auf. Homogenes Material: UT H (T1 ,T2 ) = αS (T2 − T1 ) αS : Seebeck-Koezient, Ende 1, ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) T2 : T1 : Temperatur am Temperatur am Ende 2 Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 79 Temperaturmessung Thermoelemente Messen der Thermospannung Für hochohmige Messung der Thermospannung werden (mindestens) zwei Materialien αSB A und B mit unterschiedlichen Seebeck-Koezienten αSA und benötigt. A T0 T0 : Temperatur beim Voltmeter, T1 Temperatur der einen Kontaktstel- UTH A UTH,2 T1 le (z. B. Messtelle), UTH,3 UTH,1 T2 : T2 B UT H Temperatur der anderen Kontakt- stelle (z. B. Referenzstelle mit bekannter Temperatur) = UT H,1 + UT H,2 + UT H,3 = αSA (T1 − T0 ) + αSB (T2 − T1 ) + αSA (T0 − T2 ) = (αSB − αSA )(T2 − T1 ) = αBA ∆T Achtung: Die Seebeck-Koezienten sind temperaturabhängig! ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Thermoelemente Thermoempndlichkeit Thermoempndlichkeit: (relativer Seebeck-Koezient): Die Thermoempndlichkeit eines Materials seinem Seebeck-Koezienten αM M ist die Dierenz zwischen und dem von Platin αP t : KTM = αM − αP t Achtung: Auch die Thermoempndlichkeit ist temperaturabhängig! Thermospannung für ein Material M gegen Platin: UT H = KTM (T2 − T1 ) Thermospannung bei Verwendung von Material Thermoempndlichkeiten UT H ©Sönke Carstens-Behrens 80 KTA und A und Material B mit den KTB : = (KTB − KTA )(T2 − T1 ) = KTBA (T2 − T1 ) (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Thermoelemente Thermoelektrische Spannungsreihe Thermospannungen für verschiedene Materialien gegen Platin bei bei einer Referenztemperatur von Material M UT H -3,49 Nickel -1,48 Palladium -0,57 UT H ϑ1 = 0 ◦C 1,12 Pl/Rh (10%Rh) 0,65 Kupfer 0,76 Eisen 1,98 NiCr Pt Pt 0 Wolfram 100 ◦ C in mV Konstantan Platin 0 ◦ C. ϑ2 = 100 ◦ C M 2,81 Silizium -41,46 Quelle: Bernhard: Technische Temperaturmessung. Springer-Verlag, 2004 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Thermoelemente International genormte Thermoelemente (IEC 584-1) Typ (+)-Schenkel (−)-Schenkel Temperaturbereich S Pt10%Rh Pt −50 ◦ C. . . 1768 ◦ C −50 ◦ C. . . 1768 ◦ C 0 ◦ C. . . 1820 ◦ C −270 ◦ C. . . 1372 ◦ C −270 ◦ C. . . 400 ◦ C −210 ◦ C. . . 1200 ◦ C −270 ◦ C. . . 1000 ◦ C −200 ◦ C. . . 1200 ◦ C R Pt13%Rh Pt B Pt30%Rh Pt K NiCr NiAl T Cu CuNi J Fe CuNi E NiCr CuNi N NiCrSi NiSi edel unedel Quelle: Bernhard: Technische Temperaturmessung. Springer-Verlag, 2004 Beispiele für ungenormte Type: U, L: in zurückgezogener DIN 43710 genormt, aber nicht in DIN EN 60584 oder IEC 584-2 aufgenommen. Die Normen schreiben nur die Kennlinie vor, nicht die Legierungen. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 81 Temperaturmessung Thermoelemente Thermospannung des Typ K (1) Auszug aus der Grundwerttabelle der Thermospannungen für das Thermoelement TypK, Werte in µV: Quelle: TC Mess- und Regelungstechnik GmbH: Handbuch zur Temperaturmesung mit Thermoelementen und Widerstandsthermometern. 2000 (RAC) ©Sönke Carstens-Behrens Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Thermoelemente Thermospannung des Typ K (2) Beipiel: Kennliniengleichung nach DIN EN 60584-1 für den Temperaturbereich −270 ◦ C ≤ ϑ ≤ 0 ◦ C 10 U (T ) X = ai µV i1 · 2,3622373598 · 10 −3,2858906784 · 10 −4,9904828777 · 10 −6,7509059173 · 10 a1 = 3,9450128025 101 a2 = a3 = a4 = a5 = −2 ϑ ◦C i · −3,1088872894 · 10 −1,0451609365 · 10 −1,9889266878 · 10 −1,6322697486 · 10 a6 = −5,7410327428 10−10 a7 = −4 a8 = −6 a9 = −8 a10 = −12 −14 −17 −20 Quelle: TC Mess- und Regelungstechnik GmbH: Handbuch zur Temperaturmesung mit Thermoelementen und Widerstandsthermometern. 2000 (RAC) ©Sönke Carstens-Behrens 82 Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Thermoelemente Anordnung mit drei Verbindungsstellen UTH UT H T0 U1 A T1 U2 = αSA (T1 − T0 ) + αSB (T2 − T1 ) U4 A +αSC (T3 − T2 ) + αSA (T0 − T3 ) T3 B C T2 = U1 + U2 + U3 + U4 = (αSA − αSB )T1 + (αSB −αSC )T2 + (αSC − αSA )T3 U3 = KTAB T1 + KTBC T2 + KTCA T3 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Thermoelemente Anordnung mit drei Verbindungsstellen (2) In der Praxis bilden die Materialien Thermoelements, T2 = TM A B und C die Schenkel des ist die Zuleitung (z. B. Kupfer) zum Spannungsmesser. ist die zu messende Temperatur, T1 = T3 = TV bilden die Referenztemperatur. UT H = (KTAB + KTCA )TV + KTBC TM = KTCB TV + KTBC TM = −KTBC TV + KTBC TM = KTBC (TM − TV ) Die Referenztemperatur wird mit einer geregelten Heizkammer erzeugt. Im Labor kann auch Eiswasser in einer Thermoskanne eingesetzt werden. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 83 Temperaturmessung Thermoelemente Ausgleichsleitungen Thermoelement Ausgleichsleitung Anschlussleitung B TM B’ TK C Messstellen− temperatur A TV C’ Kopftemperatur UTH A Referenztemperatur Gründe für den Einsatz von Thermo- oder Ausgleichsleitungen: Kosten (Pt ist teuer) auswechselbare Thermoelemente Überbrückung lange Wege Es gibt zwei Arten: Thermoleitungen: gleiches Material wie das Thermoelement, Kennzeichnung: X Ausgleichsleitungen: Sonderwerkstoe, ähnliche Thermospannung wie das Thermoelement, Kennzeichnung: C ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.6 Pyroelektrischer Eekt Temperaturmessung Pyroelektrischer Eekt Pyroelektrizität Pyroelektrizität: Änderung der Polarisation bestimmter dielektrischer Körper infolge einer Temperaturänderung. Pyroelektrizität tritt nur bei einigen piezoelektrischen Kristallen auf, z. B. Triglyzinsulfat Lithiumtantalat Blei-Zirkonat-Titanat Falscher pyroelektrischer Eekt: thermisch bedingte Ausdehnung des Pyroelektrikums führt in Zusammenhang mit piezoelektrischen Eekten zur Temperaturabhängigkeit der Polarisation. ©Sönke Carstens-Behrens 84 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Pyroelektrischer Eekt Aufbau eines pyroelektrischen Temperatursensors Pyroelektrium dünnes pyroelektrisches Plättchen Ober- und Unterseite metallisiert Plattenkondensator → Metall Zusammenhang zwischen Polarisation und Temperatur stark nichtlinear, aber für kleine Temperaturänderungen gilt näherungsweise ∆Q = pT A∆T ∆Q, mit Ladungsänderung pT Koezient Besitzt die Anordnung die ∆U ∆T , Temperaturänderung A. Kapazität C , pyroelektrischer und Plättchenäche so gilt für die Spannungsänderung an den beiden Metallschichten ∆U = ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) pT A∆T . C Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.7 Temperatureekte bei Halbleiterübergängen Temperaturmessung Temperatureekte bei Halbleiterübergängen P-N-Übergang Für den p-n-Übergang einer Diode gilt q0 U I = IS e kT − 1 mit Sättigungsstromstärke Boltzmann-Konstanten k IS , U, Spannung Elementarladung und absoluten Temperatur q0 , T. Der Sättigungsstrom ist stark temperaturabhängig. Für konstanten Strom und hinreichend groÿer Spannung U (I,T ) = Ug0 + wobei sowie kT ln q0 U gilt näherungsweise I KT 3+γ Ug0 das Bandabstandpotential des Halbleiters K Material- bzw. Geometriekonstanten sind. , bei T =0 und γ Für begrenzte Temperaturbereiche: linearer Zusammenhang zwischen U und T ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 85 Temperaturmessung Temperatureekte bei Halbleiterübergängen Temperaturabhängigkeit der P-N-Spannung ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Temperatureekte bei Halbleiterübergängen Temperatureekte bei Halbleiterübergängen in der Praxis: anstatt pn-Übergang Verwendung der Basis-Emitter-Strecke UBE eines bipolaren Transistors, dessen Kollektor und Basis kurzgeschlossen sind Zur Reduzierung von Fertigungsstreuungen werden zwei Transistoren mit unterschiedlicher Geometrie auf demselben Substrat integriert. Bei konstatem Kollektorstromverhältnis: ∆U = UBE,2 − UBE,1 Basis-Emitter-Spannung des k, absolute Temperatur Transistors Transistors Elementarladung IC,2 IC,1 UBE,i , q, Boltzmann-Konstante Kollektorstrom des i-ten IC,i . ©Sönke Carstens-Behrens 86 T, i-ten kT = ln q (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.8 Schwingquarzthermometer Temperaturmessung Schwingquarzthermometer Schwingquarz Quarz-Temperatursensoren basieren auf dem Temperaturkoezienten der Eigenfrequenz von Quarzkristallen (α-Quarz). Die Eigenschaften des Schwingquarz hängen wesentlich von der Schnittrichtung in Bezug auf die elektrische und optische Achse ab. O u(t) Si O O Kennzahlen: Typischer Einsatzbereich: −80 ◦ C bis 250 ◦ C Messunsicherheit: im mK-Bereich für eingeschränkten Messbereich von −10 ◦ C 110 ◦ C. bis Langzeitstabilität von 1 bis 3 ppm pro Jahr bei vorgealterten Quarzen (d. h. Abweichungen ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) ≤ ±0,3 ◦ C). Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Schwingquarzthermometer Resonanzfrequenz des Schwingquarzes Resonanzfrequenz: f (T ) = f (T0 ) 1 + 3 X i=1 T0 : Bezugstemperatur ai : Temperaturkoezienten HT-Schnitt: Maximum für den linearen Temperaturkoezienten. · ≈ 60 · 10 ≈ 30 · 10 a1 ≈ 90 10−6 /K, a2 a3 −9 /K2 , −12 ©Sönke Carstens-Behrens /K3 . (RAC) ai (T − T0 ) i ! LC-Schnitt (linear coecient): ideal für Temperaturmessung, aber aufwändig bei der Herstellung. · a1 ≈ 40 10−6 /K, a2 ≈ 0 /K2 , a3 ≈ 0 /K3 . Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 87 Temperaturmessung Schwingquarzthermometer Messschaltung des Schwingquarzthermometers TM Oszillator 1 fM ∆f Mischer TV Oszillator 2 Zähler Anzeige fV temperaturunabhängig (anderer Schnitt) Mischer: im Wesentlichen Multiplizierer mit anschlieÿendem Tiefpass Multiplikation: cos(2πfM t) cos(2πfV t) = 12 (cos(2π(fM −fV )t)+cos(2π(fM +fV )t)) 1 Tiefpass: nur 2 cos(2π(fM − fV )t) bleibt übrig ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Schwingquarzthermometer Einpunkt-Kalibrierung ©Sönke Carstens-Behrens 88 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.9 Strahlungsthermometer oder Pyrometer 7.9.1 Grundlagen Temperaturmessung Pyrometer Plancksches Strahlungsgesetz Plancksches Strahlungsgesetz: Zusammenhang zwischen der Temperatur T eines Schwarzen Körpers und seiner spektralen spezischen Ausstrahlung Mλ,S Mλ,S = λ5 C1 C /(λT ) 2 e mit den Konstanten −1 · C1 = 2πc20 h ≈ 3,742 10−16 W m2 hc0 C2 = = 1,439 10−2 m K k · Die Kurven für unterschiedliche Temperaturen schneiden sich nicht. Ihr Maximum verschiebt sich mit abnehmenden Temperaturen zu gröÿeren Wellenlängen und erreicht nur noch drastisch kleinere Werte. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Pyrometer Plancksche Strahlungsspektren ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 89 Temperaturmessung Pyrometer Stefan-Boltzmann-Gesetz Stefan-Boltzmann-Gesetz: Ein Schwarzer Körper der Fläche absoluten Temperatur T A und der emittiert eine Strahlungsleistung von P = σAT 4 . Die Stefan-Boltzmann-Konstante Naturkonstante. · σ ≈ (5,67 10−8 W/(m2 K4 )) ist eine P = εσAT 4 . Der Emissionsgrad ε des Messobjekts bekannt sein. ε hängt in der Regel von der Wellenlänge ab. Grauer Strahler: ε hängt nicht von der Wellenlänge ab. Reale Körper: ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung muss SoSe 2010 Pyrometer Wiensche Gesetze Wiensches Verschiebungsgesetzt: Die gröÿte Strahlungsleistung eines schwarzen Körpers liegt bei λmax = wobei b = 2897,8 µm K b T als Wiensche Verschiebungskonstante bezeichnet wird. Wiensches Strahlungsgesetz: Für hinreichend kleine Wellenlängen oder Temperaturen, λT 14388 µm K kann das Plancksche Strahlungsgesetz genähert werden: Mλ,S ≈ ©Sönke Carstens-Behrens 90 (RAC) C1 . λ5 eC2 /(λT ) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Pyrometer Strahlungsthermometer: Prinzip Strahlungs− empf. Messobjekt elektronische Auswertung optisches Filter Die Wärmestrahlung (Infrarot bis in den sichtbaren Bereich) eines Messobjekts wird optisch geltert und auf einen Strahlungsempfänger gebündelt, der ein elektrisches Messsignal abgibt. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Pyrometer Strahlungsthermometer: Vorteile sehr schnelle Messungen (bis zu 10 µs) sehr lange, durchgängige Messbereiche möglich, z. B. 350 . . . 3500 ◦ C kein Verschleiÿ praktisch keine Temperaturbeeinussung des Messobjekts keine Fehler durch mangelhaften Wärmekontakt keine mechanische Beschädigungen von empndlichen Objekten wie Folie oder Papier keine Probleme bei bewegten Messobjekten Messungen auch bei hohen Spannungen, elektromagnetischen Feldern oder aggressiven Materialien möglich ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 91 Temperaturmessung Pyrometer Emissionsgrade dünner Schichten Quelle: Bernhard: Technische Temperaturmessung. Springer-Verlag, 2004. Verminderung des Emissionsgradeinusses z. B. durch Veränderung der Oberäche (Mattlacke, Graphit- oder Ruÿauftrag, Aufrauhen, Aufkleben einer dünnen, nichttransparenten Folie oder Papier) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Temperaturmessung SoSe 2010 Pyrometer Spektraler Transmissionsgrad von Luft 10 m, 1013 hPa Beispiel: Pfadlänge Luftdruck rel. Luftfeuchte 85%, Temperatur 25 ◦ C, Quelle: Bernhard: Technische Temperaturmessung. Springer-Verlag, 2004. ©Sönke Carstens-Behrens 92 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.9.2 Gesamtstrahlungspyrometer Temperaturmessung Pyrometer Gesamtstrahlungspyrometer Erfassung des gesamten Wärmestrahlungsspektrums, mindestens 90% der bei einer Temperatur möglichen Ausstrahlung Strahlungsempfänger: Bolometer (spezielle Widerstandsthermometer/Thermistoren), Thermoelemente oder pyroelektrische Detektoren Ausgangssignal entspricht näherungsweise dem Stefan-Boltzmann-Gesetz besonders geeignet zur Messung tiefer Temperaturen (bis 50 ◦ C) aufwendig und teuer ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.9.3 Spektralpyrometer Temperaturmessung Pyrometer Spektralpyrometer Erfassung nur eines engen Spektralbereichs durch selektive Filterung Strahlungsempfänger: thermische Empfänger (s. Gesamtstrahlungspyrometer), Photoelemente, Photowiderstände, Photodioden, Phototransistoren bei schwarzen oder grauen Strahlern: Ausgangssignal entspricht näherungsweise dem Stefan-Boltzmann-Gesetz wegen des schmalen Wellenlängenbereich vor allem für Temperaturen oberhalb von ©Sönke Carstens-Behrens 500 ◦ C (RAC) geeignet Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 93 7.9.4 Bandstrahlungspyrometer Temperaturmessung Pyrometer Bandstrahlungspyrometer gezielte Einschränkung der spektralen Grenzen eines Gesamtstrahlungspyrometer Reduzierung des Einusses von Störstrahlung oder von Änderungen des Transmissionsgrades der Luft in hinreichend kleinem Temperaturintervall: Verhalten ähnlich dem eines Spektralpyrometers ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.9.5 Verhältnispyrometer Temperaturmessung Pyrometer Verhältnispyrometer Andere Bezeichnungen: Quotientenpyrometer, 2-Farben-Pyrometer Erfassung der Strahlungsintensität für zwei verschiedene Wellenlängenbereiche Eliminierung des unbekannten Emissionsgrads ε durch Verhältnisbildung der Intensitäten (für graue Körper) Bestimmung der Temperatur mit Hilfe des Wienschen Strahlungsgesetzes ©Sönke Carstens-Behrens 94 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.9.6 Glühfadenpyrometer Temperaturmessung Pyrometer Glühfadenpyrometer Bestimmung der Temperatur glühender Objekte visuelles Vergleichen des Glühlicht einer Wolframbandlampe mit der Oberächenfarbe des Messobjekts Einstellen des Stroms durch den Wolframdraht, bis die Farben übereinstimmen Stromstärke ist ein Maÿ für die Temperatur ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.9.7 Thermographiegeräte Temperaturmessung Pyrometer Thermographiegeräte Erfassung der Temperaturverteilung einer Fläche Strahlungsempfänger besteht aus Matrix von Photodioden, Dünnschichtbolometer, Thermosäulen möglich: Kühlung zur Rauschunterdrückung bekanntes Beispiel: Infrarotkamera ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 95 7.10 Ursachen für Messabweichungen Temperaturmessung Ursachen für Messabweichungen Ursachen für Abweichungen/Fehler bei der Temperaturmessung Wesentliche Ursachen für Abweichungen oder Fehler bei der Temperaturmessung: mangelhafter thermischer Kontakt bei berührenden Sensoren mit dem Messobjekt, z. B. zu geringe Eintauchtiefe Fehler bei der Erfassung von Sensoreigenschaften, z. B. zu groÿe Unsicherheiten bei der Messung des Widerstandes eines Sensorelements fehlerhafte Beschreibung des Sensorverhaltens, z. B. Koezienten zu ungenau ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 7.11 Zeitverhalten von Berührungsthermometern Temperaturmessung Zeitverhalten von Berührungsthermometern Zeitverhalten von Berührungsthermometern Das dynamische Verhalten von Temperatursensoren hängt von der Wärmekapazität, der Wärmeleitfähigkeit, der Gröÿe der Oberäche, der verwendeten Materialien ab. Bei angeströmten Sensoren auÿderdem von der Geschwindigkeit des zu messenden Medius. Näherung des Ausgleichsvorgangs bei Temperatursprung um ∆T durch Verzögerungsglied 1. Ordnung: t T (t) = T0 + ∆T 1 − e− τ . ©Sönke Carstens-Behrens 96 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Temperaturmessung Zeitverhalten von Berührungsthermometern Tendenz-Thermoelement Zwei elektrisch gegeneinander geschaltete Thermoelemente mit gleicher statischer Kennlinie aber unterschiedlichem Zeitverhalten τ1 und τ2 . NiCr τ1 Bei einem Temperatursprung der Messle schneller als die andere. Daher ist eine T M (t) Dierenzspannung zu messen: U ©Sönke Carstens-Behrens U1(t) NiCr U2(t) τ2 stelle erwärmt sich die eine Kontaktstel- UTH U1(t) U2(t) K TAB ∆T UT H (t) = U1 (t) − U2 (t) t − t − = KTAB ∆T e τ2 − e τ1 CuNi UTH(t) 0 (RAC) t Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 8 Messung geometrischer Gröÿen 8.1 Länge und Winkel 8.1.1 Potentiometrische Sensoren Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel Potentiometrischer Weg- oder Winkelsensor Wirkprinzip wie Potentiometer: Widerstands- Schleifer: bahn Schleifer U0 R = R(d) Ud = Spannungsteiler: d D U0 Messprinzip: tastend, analog Aufbau: Längen-/Winkelsensor D d Ud Vorteile: einfache Auswerteschaltung linearer Zusammenhang relativ temperaturunabhängig Nachteile: mechanische Belastung stabile Gleichspannung erforderlich nicht zu hohe Geschwindigkeiten ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 97 Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel Materialien für potentiometrische Längensensoren Drahtpotentiometer, kaum noch verwendet Leitplastik-Potentiometer: im Pressverfahren: Widerstandsbahn: Kohlensto-Harzmischung Trägerbahn: Harz (wie Widerstandsbahn) längste Lebensdauer, 100 Mio. Schleiferspiele Leitplastik-Film Kohlensto-Harzmischung aufgesprüht oder mit Siebdruck aufgebracht Lebensdauer um Faktor 10 kleiner als im Pressverfahren Leitmetall-Sinterverfahren, Metalllm-Halbleiterverfahren: wegen Nachteile bzgl. Lebensdauer fast bedeutungslos ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Länge und Winkel Technische Kennwerte zu potentiometrische Sensoren Linearität: 0,05% bis 2% v. E. Temperaturkoezient: Messbereiche: 5 mm · ±400 10−6 K−1 bis max. Geschwindigkeit: 4 m; 10◦ 1 m/s bis 3000◦ (Beispiel Penny & Giles), 500 U/min (Beispiel Altmann) ©Sönke Carstens-Behrens 98 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 8.1.2 Kapazitive Sensoren Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel Kapazitive Positionssensoren: Einleitung Beispiel Plattenkondensator: Wirkprinzip: Zwei Elektroden ε mit Kapazität C = C(x,A,ε), x: Elektrodenabstand A: wirksame Elektrodenäche ε: Permittivität zwischen den A Elektroden Drei Methoden zum Aufbau: Variieren 1 des Abstands x, 2 der wirksamen Fläche 3 der Permittivität ε. x Kapazität: C= εA x ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen A, SoSe 2010 Länge und Winkel Kapazität als Funktion des Abstands nichtlinearer Zusammenhang zwischen Kapatzität und Abstand: C(x) = ε0 εr A0 d(x) Empndlichkeit ist umso gröÿer, je kleiner der Elektrodenabstand: x dC εA0 =− 2 dx x Anwendung: Kontaktlose Messung Abstandsänderungen. kleiner Relative Kapazitätsänderung entspricht relativer Abstandsänderung: dC dx =− C x ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 99 Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel Kapazität als Funktion der (wirksamen) Plattenäche linearer Zusammenhang A(x) zwischen Kapazität und Plattenäche d x C(x) = Plattenbreite: Anwendung: Meistens als Drehkapazität zur Mes- C(x) = sung von Winkeländerungen. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) εA(x) d b⇒ ε (A(0) − bx) d Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Länge und Winkel Kapazität als Funktion des Dielektrikums ε2 linearer Zusammenhang: L x ε1 C(x) = d ε1 A0 x ε2 A0 (L − x) + d L d L · · äquivalent: C(x) = Anwendung: Meistens zur Füllstandsmessung, Elek- ε2 A 0 A 0 + (ε1 − ε2 )x d dL troden: zwei konzentrische Zylinder. ©Sönke Carstens-Behrens 100 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel Berührungsfreier kapazitiver Positionssensor Schirmelektrode Messelektrode Messobjekt ist eine der beiden Elektroden Schirmelektrode: umgibt die Messelektrode auf den passiven Seiten wird mittels Spannungsfolger auf Potential der Messelektrode gehalten Gehäuse ⇒ kein Feld zwischen Mess- und ⇒ Verringerung von Schirmelektrode Randeekten, homogenes Feld bis an den Rand der Anwendung: Messelektrode Meistens als Grenzschalter ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Länge und Winkel Beispiel eines kapazitiven Näherungsschalters ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 101 8.1.3 Induktive Sensoren Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel Induktive Wegsensoren: Einleitung ferromagnetisches Material Sensorprinzip: Die Induktivität i und damit die Impedanz einer Spule Spulenanordnung ist eine Funktion geometrischer Gröÿen. Vorteil gegenüber kapazitiven Sensoren: Einsatz auch bei magnetischer Fluss widrigen Φ Umgebungsbedingungen Beispiel Ringspule (ohne Luftspalt): Induktivität: n: L≈ Anzahl Windungen, tät, A: Querschnitt, l n2 µA Typischer Einsatzbereich l µ: (Schmutz, Öl, Wasser, Eis) Permeabili- mittlerer Weg induktiver Wegaufnehmer: 0,5 mm bis 500 mm. des magnetischen Flusses. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Länge und Winkel Linear variabler Dierentialtransformator (LVDT) Aufbau: A: Erregerspule, mittig angebracht B: zwei Sekundärspulen, symmetrisch neben der Erregerspule blau: Weicheisenkern grün: unmagnetische Zugstange Quelle: http://de.wikipedia.org/wiki/Bild:LVDT.png, Abruf: 2008-03-02 ©Sönke Carstens-Behrens 102 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel LVDT: Auswertung Funktionsweise: Messspulen entgegengesetzt in Reihe geschaltet. Spulenspannungen um 180◦ phasenverschoben. Amplituden der Spulenspannung linear abhängig Oszillator von Kernposition. Amplituden der Dierenzspannung ist proportional zur Kernposition Oszillator: inklusive Vorzeichen treibt Erregerspule Kern mittig: Ausgangsspannung triggert Synchrongleichrichter ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) = 0 V. Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Länge und Winkel LVDT: Typische Werte Speisung: Wechselspannung mit Frequenzen im Bereich 3 kHz bis 25 kHz. typische Empndlichkeit: Wiederholpräzision: ca. 1 V/mm bis 4 V/mm 0,1 µm typische Federkräfte zum Andrücken der Zugstange ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik 0,6 N bis 1N SoSe 2010 103 Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel LVDT: Anwendungsbeispiel Kalanderwalze einer Papiermaschine Rundlauf- und Rundheitsmessung Quelle: PWT Gmbh, Heidenheim ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Länge und Winkel Berührungslose induktive Wegsensoren Queranker Topfkern Streufeld des Topfkerns wird mag. Fluss Φ vom Queranker gebündelt. Induktivität hängt (nichtlinear) Spule vom Abstand des Querankers ab. i Übliche Messwege: ca. 1 mm Einsatzgebiete: dynamische L s0 Wegmessung von bewegten s Messobjekten, z. B. Lmax Ermittlung der Verlagerung von Drehmaschinenspindeln bei Belastung Erfassung von Schweiÿfugen und Blechkanten beim s s0 ©Sönke Carstens-Behrens 104 (RAC) Mess- und Sensortechnik Roboterschweiÿen SoSe 2010 Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel Berührungslose Wegsensoren auf Wirbelstrombasis Queranker ist nicht ferromagnetisch, aber elektrisch leitend Wechselndes Magnetfeld induziert Ströme im Queranker: Wirbelströme Wirkung wie kurzgeschlossene Sekundärwicklung: Wirbelströme erzeugen ein magnetisches Gegenfeld, das Spule dem erregenden Feld Queranker entgegenwirkt Diese Rückwirkung führt zu einer messbaren Impedanzänderung in der Primärspule ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Länge und Winkel Anwendungsbeispiele für induktive Näherungsschalter Quelle: www.automation.siemens.com ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 105 8.1.4 Photoelektrische Sensoren Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel Inkrementierende Messverfahren Glasmaÿstab/-scheibe mit Sender Strichteilung zwei mechanisch fest gekoppelte Bewegungs− richtung Lichtschranken erfassen ein um 90◦ versetztes Signal Ermittlung von Weg und Empfänger A Richtung Empfänger B Bei Winkelmessung: Glasmaÿscheibe, üblich 200 bis 36000 Striche pro Umfang, Grenzfrequenz hängt von Ausführung ab, typisch bis ca. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) 400 kHz Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Länge und Winkel Absolut kodierende Messverfahren Quelle: www.haidenhain.de Kodierung direkt auf dem Glasmaÿstab, häug Gray-Code Position absolut bestimmbar ©Sönke Carstens-Behrens 106 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messung geometrischer Gröÿen Länge und Winkel Messverfahren nach dem Triangulationsprinzip Laserstrahl wird auf Werkstück fokussiert, dort reektiert der reektierte Strahl wird durch eine Optik auf eine Zeilenkamera gelenkt in Abhängigkeit von der Verschiebung des Messobjekts verschiebt sich der Abbildungort Quelle: http://de.wikipedia.org ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Länge und Winkel Typische Daten von Laser-Triangulatoren Messbereich: Arbeitsabstand: Lichtquelle: Fokusdurchmesser: Auösung: Wiederholpräzision: Betriebstemperatur: ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) 5 − 400 mm 50 − 800 mm Laserdiode 830/675 nm 0,01 − 2 mm 0,025 % v. Messbereich ±0,025 % v. Messbereich 0 − 50 ◦ C Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 107 8.2 Dehnung Messung geometrischer Gröÿen Dehnung DMS: Herleitung Widerstand eines zylindrischen Leiters: l R= r ρl πr2 bei Druck- oder Zugspannung ändert sich die Geometrie um ⇒ dρ, dl und dr Widerstand ändert sich, Näherung durch totales Dierential: dR = ∂R R = , ∂ρ ρ ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) ∂R ∂R ∂R dρ + dl + dr ∂ρ ∂l ∂r ∂R R = , ∂l l ∂R R = −2 ∂r r Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Dehnung DMS: Herleitung (2) Relative Widerstandsänderung: dR dρ dl dr = + −2 = R ρ l r Relative Längenänderung: 1−2 dr/r dρ/ρ + dl/l dl/l dl l ε = dl/l Querkontraktionszahl (Poisson-Zahl) µ = − dr/r ε , 0 < µ < 0,5. Änderung des spezischen Widerstands infolge einer Längenänderung β= dρ/ρ ε . Für viele Metalle: β ≈ 0,4, bei Halbleiter deutlich gröÿer. Relative Widerstandsänderung: dR = (1 + 2µ + β)ε = kε R k: k-Faktor, Gage-Faktor, Gauge-Faktor ©Sönke Carstens-Behrens 108 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 8.2.1 Metall-DMS Messung geometrischer Gröÿen Dehnung Metall-DMS: Typische k-Faktoren Material bei 20 ◦ C NiCr hart (80%Ni, 20%Cr) NiCr geglüht (80%Ni, 20%Cr) Konstantan (60%Cu, 40%Ni) Karma (74%Ni, 20%Cr, 3%Fe, 3%Al) PtW (92%Pt, 8%W) Isolastic PtIr (95%Pt, 5%Ir) Pt In der Praxis streuen die Für k=2 k -Werte k ≈ 2,5 ≈ 2,2 ≈ 2,05 ≈ 2,1 ≈4 ≈ 3,2 ≈ 6,5 ≈6 Bemerkung linear linear linear linear hohe Temperaturen hohe Temperaturen um etwa 5%. bleibt das lineare Verhalten selbst bei teilplastischer Verformung erhalten ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Dehnung Metall-DMS: k-Faktor verschiedener Materialien PtIr Klaviersaitendraht Eisen NiCr hart NiCr geglüht Konstantan Manganin Nickel ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 109 Messung geometrischer Gröÿen Dehnung Metall-DMS: Aufbau Folien-Dehnungsmessstreifen Quelle: http://de.wikipedia.org/wiki/Dehnungsmessstreifen ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Dehnungsmessrosette Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Dehnung Metall-DMS: Auszug aus einem Datenblatt Quelle: www.hbm.com ©Sönke Carstens-Behrens 110 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messung geometrischer Gröÿen Dehnung Metall-DMS-Klassen · Draht-DMS: (alte Technik) Messgitter besteht aus Metalldraht, Durchmesser 15 − 25 µm, Dehnbarkeit ca. 10 10−3 m/m, hohe Temperaturen Anwendung: Folien-DMS: Herstellung des Messgitters per Ätzverfahren aus Metallfolie (Dicke 3 − 15 µm), · aufwändige Formen für verschiedenste Anwendungen einfach realisierbar, Dehnbarkeit ca. 40 10−3 m/m, Kraftmesszellen, Wägezellen Anwendung: Dünnschicht-DMS: Herstellungsverfahren: thermisches Aufdampfen PVD-Verfahren (physical vapour deposition) oder Sputtern CVD-Verfahren (chemical vapour deposition) · Strukturen durch Verwendung entsprechender Masken, Dicke in den atomaren Bereich), Dehnbarkeit ca. 1 Drucksensoren ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) 10−3 m/m, ≤ 1 µm (bis Anwendung: Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 8.2.2 Halbleiter-DMS Messung geometrischer Gröÿen Dehnung Halbleiter-DMS Halbleiter-DMS-Elemente bestehen aus einem dünnen schmalen Siliziumstäbchen n- oder p-dotiertem Silizium Germanium Der Messeekt wird wesentlich durch die Änderung des spezischen Widerstands β bestimmt. Näherungsweise gilt ∆R = k∗ ε R mit k∗ ≈ β . Dehnbarkeit: Der Wert von · 3 10−3 m/m ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) β hängt aber auch von der Temperatur ab. bis · 6 10−3 m/m. Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 111 Messung geometrischer Gröÿen Dehnung Halbleiter-DMS: k ∗ -Faktor k ∗ -Faktor wird durch eine Tangente im mechanisch spannungsfreien Zustand ε = 0 bei einer Bezugstemperatur T0 des DMS genähert. Der ©Sönke Carstens-Behrens Material β Silizium, p-leitend 110 bis 130 Silizium, n-leitend -80 bis -110 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 8.3 Geschwindigkeit und Drehzahl 8.3.1 Dopplereekt Messung geometrischer Gröÿen Geschwindigkeit und Drehzahl Doppler-Eekt Ein Sender sendet Wellen einer bestimmten Frequenz aus, ein Empfänger empfängt die Wellen. Wenn sich Sender und Empfänger relativ zueinander bewegen, untscheidet sich die Frequenz, die der Empfänger misst, von der Sendefrequenz. Diese Frequenzverschiebung wird als Doppler-Eekt bezeichnet. Folgende Fälle sind zu unterscheiden Wellenausbreitung mit Medium (z. B. akustische Wellen) ruhender Empfänger, bewegter Sender bewegter Empfänger, ruhender Sender bewegter Empfänger, bewegter Sender Wellenausbreitung ohne Medium (z. B. elektromagnetische Wellen) ©Sönke Carstens-Behrens 112 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messung geometrischer Gröÿen Geschwindigkeit und Drehzahl Doppler-Eekt mit Ausbreitungsmedium Ruhender Beobachter, bewegte Signalquelle Ausbreitungsgeschwindigkeit der Welle: Relativgeschwindigkeit: Sendefrequenz: ⇒ vs (positives Vorzeichen: Annäherung) f0 Doppler-Frequenz (Empfangsfrequenz) fD = ©Sönke Carstens-Behrens c0 (RAC) fD f0 1 − vc0s Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Geschwindigkeit und Drehzahl Doppler-Eekt mit Medium Quelle: http://de.wikipedia.org/wiki/Bild:Doppler-effect-two-police-cars-diagram.png ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 113 Messung geometrischer Gröÿen Geschwindigkeit und Drehzahl Doppler-Eekt mit Medium bewegter Empfänger, ruhender Sender Ausbreitungsgeschwindigkeit der Welle: Relativgeschwindigkeit: Sendefrequenz: ⇒ ve c0 (positives Vorzeichen: Annäherung) f0 Doppler-Frequenz (Empfangsfrequenz) fD ve fD = f0 1 + c0 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Geschwindigkeit und Drehzahl Doppler-Eekt mit Medium bewegter Empfänger, bewegter Sender Ausbreitungsgeschwindigkeit der Welle: Geschwindigkeit des Empfängers: Geschwindigkeit des Senders: Sendefrequenz: ⇒ c0 ve vs f0 Doppler-Frequenz (Empfangsfrequenz) fD = f0 fD c0 ± ve c0 ∓ vs Das obere Vorzeichen gilt jeweils für Annäherung (Bewegung in Richtung des Senders bzw. Empfängers). ©Sönke Carstens-Behrens 114 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messung geometrischer Gröÿen Geschwindigkeit und Drehzahl Doppler-Eekt ohne Medium Wenn die Wellen keine Medium brauchen (z. B. elektomagnetische Wellen) hängt die Frequenzverschiebung nur von der Relativgeschwindigkeit ab. Damit darf sich der Beobachter (Empfänger) als ruhend betrachten. Allerdings ist die Zeitdilatation zu berücksichtigen: Lichtgeschwindigkeit: c0 Relativgeschwindigkeit: Sendefrequenz: ⇒ v (positives Vorzeichen: Annäherung) f0 Doppler-Frequenz (Empfangsfrequenz) q fD = f0 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) fD 1− 1− v2 c2 v c Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 8.3.2 Tachometer Messung geometrischer Gröÿen Geschwindigkeit und Drehzahl Tachometer: Wechselstromgenerator Eine Leiterschleife der Fläche A mit w Windungen rotiert in dem Feld eines Permanentmagneten mit der magnetischen Flussdichte B. N Der verkettete Fluss durch die (Abgriff über Schleifkontakte) Leiterschleife beträgt also ϕ(t) Ui (t) Φ(t) = wBA cos ϕ(t) wobei ϕ(t) der Winkel zwischen der S Fläche der Leiterschleife und der Richtung der magnetischen Flussdichte ist. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 115 Messung geometrischer Gröÿen Geschwindigkeit und Drehzahl Tachometer: Wechselstromgenerator (2) Die induzierte Spannung ist dann ui (t) = − Der Scheitelwert dΦ(t) = wBAϕ̇(t) sin ϕ(t) = Û (t) sin ϕ(t) dt Û (t) ist dabei direkt proportional zur Drehzahl (=Winkelgeschwindigkeit) ϕ̇(t) Vorteil: groÿe Dynamik Signal direkt auswertbar (ohne Dekodierschaltung) Der Permanentmagnet könnte sich genauso gut um eine feststehende Spule bewegen. Diese Variante ist einfacher aufzubauen, da keine Schleifer erforderlich sind. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Messung geometrischer Gröÿen SoSe 2010 Geschwindigkeit und Drehzahl Tachometer: Unipolarmaschine Besondere Bauform eines Gleichstrommotors eine Scheibe aus gut leitfähigem Material bendet sich auf einer drehbar gelagerten Achse die Scheibe wird von einem konstanten Magnetfeld durchsetzt die Rotation der Scheibe bewegt die (freien) Ladungsträger im Magnetfeld, die daher eine radiale Kraft erfahren zwischen Umfang und Achse der Scheibe entsteht eine Spannung, die mit Hilfe von Schleifern abgegrien werden kann Die Spannung ist direkt proportional zur Drehzahl Vorteil: hohe Dynamik → Einsatz zur Drehzahlregelung Nachteil: geringe Ausgangsspannungen (typisch 1000 U/min, ©Sönke Carstens-Behrens 116 20 mV bei Schleifbürsten bedürfen der Wartung (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Messung geometrischer Gröÿen Geschwindigkeit und Drehzahl Weitere Drehzahlsensoren Wirbelstromsensor (Strommitnahmesensor) Impuls-Drehzahlsensoren, z. B. Feldplatten- und Hall-Sensor optische Verfahren induktive Sensoren kapazitive Sensoren (insbesondere für hohe Temperaturen) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 9 Kraft und abgeleitete Gröÿen 9.1 Messprinzipien Kraft und abgeleitete Gröÿen Messprinzipien Einleitung Kräfte: nur an ihrer Wirkung zu erkennen: Kraftmessung: Beschleunigung Verformung F direkte Erfassung der Verformung, z. B. induktiv, kapazitiv, Federwaage Erfassung der relativen Verformung, z. B. DMS, piezorestiv Erfassung der mechanische Spannung, z. B. piezoelektrisch, magnetoelastisch F F ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 117 9.2 Kraft 9.2.1 Dehnungsmessstreifen Kraft und abgeleitete Gröÿen Kraft Kraftmessung mit DMS A0 Ausführung als Kraftmessbolzen oder F F Lastmessbolzen axial oder radial belastete Stäbe l Spannung E: Elastizitätsmodul ε: ∆l: Dehnung, Überwachung mechanischer F = A0 σ = A0 Eε σ: und 5 MN l0 Hooksche Gesetz: 5 kN Nennkräfte zwischen Bauelemente Lastmessungen = Kränen, Hubwerken, ∆l l0 Längenänderung, ©Sönke Carstens-Behrens Überlastschutz, z. B. von Aufzügen, Seilwinden = l − l0 (RAC) Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen SoSe 2010 Kraft Beispiel Lastmessbolzen Der Lastmessbolzen ersetzt normale Welle/Bolzen Bolzen, enthält eine DMS-Vollbrücke. Kennwerte hier: Nennlast (Endwert): Zulässige Last: 50 kN 150% der Nennlast Brückenimpdedanz: 5 kΩ Ausgangssignal: linear, 4 − 20 mA Quelle: http://www.magtrol.de/datenblatter/lelu210_de.pdf ©Sönke Carstens-Behrens 118 (RAC) Linearitätsfehler: Mess- und Sensortechnik < 0,25% v. E. SoSe 2010 Kraft und abgeleitete Gröÿen Kraft Beispiel Kraftmessdose F Kernstück der Kraftmessdose: Hohlzylinder mit festem, bekanntem Zusammenhang DMS 3 zwischen Kraft und Dehnung Messschaltung vorwiegend DMS 1 DMS 2 Vollbrücke DMS 4 Ausgangsspannung der Vollbrücke: DMS 1 R−dR DMS 3 R+dR UAB = U0 UAB U0 DMS 2 R+dR ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) DMS 4 R−dR Kraftbereiche: Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen dR = U0 kε R 10 N bis 500 MN SoSe 2010 Kraft Wägezelle Sonderform der Kraftaufnehmer Kalibrierung auf Masseeinheit, nicht Kraft Einsatz in vielen Typen von Waagen ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 119 9.2.2 Piezoelektrische Kraftaufnehmer Kraft und abgeleitete Gröÿen Kraft Piezoelektrischer Kraftaufnehmer vereinfacht: einfaches Modell: d11 : F Q = d11 F piezoelektrische Zahl, pC/N, Beispiel: d11 = 2,3 pC/N Keramik: d11 ≥ 350 pC/N Einheit: Quarz: ++++++ Oberächen zur Kontaktierung −−−−−− meist mit Silber beschichtet F Ersatzschaltung: Cq = C0 + CK Ersatzschaltbild: C0 : Kapazität des Piezokristalls CK : Uq Rq Kapazität der Zuleitung (vom Hersteller mitgelierfert) Cq Rq : Widerstand des Piezokristalls ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen SoSe 2010 Kraft Piezoelektrischer Kraftaufnehmer (3) Über Widerstand des Piezokristalls Entladekurve bei sprungförmiger Belastung U t0 Rq wird der Kondensator entladen, τq = Rq Cq t−t0 τq u(t) = U0 1 − e Zeitkonstante: F RqC q t Es können keine statischen Kräfte gemessen werden Es ist darauf zu achten, dass die Zeitkonstante der Kraft Piezo-Anordnung die Bedingung ©Sönke Carstens-Behrens 120 (RAC) τF τq τF und die der erfüllen. Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 9.3 Drehmoment Kraft und abgeleitete Gröÿen Drehmoment Drehmomentmessung M M ϕ Ähnlich wie Kraftmessung: Erfassung der Verdrehung einer Torsionsstrecke (z. B. Welle). Häug: Verwendung spezielle l Dehnung ε45◦ = Verdrillung: γ = 2ε Torsionswinkel: Drehmomentmessnaben mit M 2GWp DMS M = GW p γl lM = r rGWp ϕ= induktive Verfahren kapazitive Verfahren piezoelektrische Verfahren M: Drehmoment l,r: Länge und Radius der Welle Wp : polares Widerstandsmoment G: optische Verfahren 45◦ Wirbelstrom (kraftabhängige Verschiebung von leitenden und nicht leitenden Zonen) Schubmodul ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen SoSe 2010 Drehmoment Drehmomentmessung mit DMS Drehmoment: UAB : U0 : k: vier DMS, sensitive für Dehnungen im 45◦ -Winkel Verschaltung zur Vollbrücke Übertragung der Signale über Schleifringe induktive Kopplung kapazitive Kopplung G: Wp : AB M = 2GWp UkU . 0 Brückenspannung Versorgungsspannung k-Faktor der DMS Schubmodul polares Widerstandsmoment Typische Werte: Messabweichung: Messbereich: 0,1% 5 Nm bis bis 1% 25 kNm optisch ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 121 Kraft und abgeleitete Gröÿen Drehmoment Drehmomentmessung mit DMS, induktive Übertragung Versorgungsspannung über linken Drehtransformator Gleichrichtung der Versorgungsspannung Messsignal Wechselspannung DMS-Vollbrücke Umwandlung der U Brückenspannung in ein f Wechselsignal mit f ∼U Auskopplung des Wechselsignals über rechten Drehtransformator Bestimmung der Frequenz Berechnung des Drehmoments ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen SoSe 2010 Drehmoment Erfassung mittels magnetoelastischem Eekt Prinzip: I, II: Verwendung von Orthogonaltransformatoren III: Dierenzanordnung zur Messung der Änderung der Permeabilität Vorteil: ortsfeste Deformationssensoren keine Signalübertragung auf drehende Welle nötig Quelle: Gevatter, Handbuch der Meÿ- und Automatisierungstechnik, Springer 1999 ©Sönke Carstens-Behrens 122 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Kraft und abgeleitete Gröÿen Drehmoment Optische Erfassung der Wellenverdrillung Prinzip: optische Inkremental-Winkelaufnehmer Messung der Wellenverdrillung als Maÿ für das Drehmoment Vorteil: ortsfeste Sensoren Drehzahl als Nebenprodukt Quelle: Gevatter, Handbuch der Meÿ- und Automatisierungstechnik, Springer 1999 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 9.4 Druck 9.4.1 Einleitung Kraft und abgeleitete Gröÿen Druck Einleitung 1994: ca. 2,5 Mrd. EUR in Deutschland für Drucksensoren, gefolgt von Durchusssensoren und Temperatursensoren. Beispiele für Anwendungsgebiete Verarbeitungsindustrie Fertigungsindustrie Medizin Industriegüter, z. B. Kfz, Waschautomaten ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 123 Kraft und abgeleitete Gröÿen Druck Einleitung (2) p= Einheit: 1 Pa = 1 F A DIN 1314: pabs : N/m2 Vergleich zum Druck Null im leeren weitere gebräuchliche Einheiten: 1 bar 5 = 10 1 mbar Raum. pamb : Pa, 2 = 10 Absolutdruck, Druck im Atmosphärischer Luftdruck, Mittelwert: Pa. p̄amb = 1013,25 hPa. p1,2 : Dierenzdruck, p1,2 = ∆p = p2 − p1 . Druckmessung pe : Kraftmessung Überdruck, Dierenz aus Absolutdruck und Atmosphärendruck: Wegmessung ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) pe = pabs − pamb . Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 9.4.2 Absolutdruck Kraft und abgeleitete Gröÿen Druck Absolutdruck pabs Die druckabhängige Auslenkung der Membran wird z. B. mit DMS gemessen. Membran Messen des Drucks gegenüber einem festen Referenzdruck: Druckreferenzen Referenz- seltener: Druck Null (Vakuum) druck ©Sönke Carstens-Behrens 124 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 9.4.3 Überdruck Kraft und abgeleitete Gröÿen Druck Überdruck pabs Überdruck: Membran pe = pabs − pamb . Auch hier: Auslenkung der Membran wird als Maÿ für Überdruck gemessen. Begri Unterdruck: nicht mehr verwenden ⇒ negativer Überdruck. pamb ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 9.4.4 Dierenzdruck Kraft und abgeleitete Gröÿen Druck Dierenzdruck p1 In technischen Prozessen wird häug der Dierenzdruck benötigt, z. B. Druckabfall an Membran einem Rohrabschnitt Daher besitzen die Drucksensoren zwei Anschlüsse. Auch bei hohen statischen Drücken können sehr kleine Druckdierenzen gemessen werden. p2 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 125 9.4.5 Beispiele für Drucksensoren Kraft und abgeleitete Gröÿen Druck Beispiele für Drucksensoren: mechanischer Drucksensor Überdruckmessung mit einer Edelstahlmembran als Plattenfeder ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen SoSe 2010 Druck Beispiele für Drucksensoren: mit Dickschichttechnik Fa. WIKA, Delta-Trans 0 − 25 kPa statischer Druck: 2500 kPa Überlastgrenze: ±2500 kPa Messbereich: Verwendung von piezoresistiven Widerständen. ©Sönke Carstens-Behrens 126 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Kraft und abgeleitete Gröÿen Druck Beispiele für Drucksensoren: mit Dünnschichttechnik ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen SoSe 2010 Druck Beispiele für Drucksensoren: kapazitiver Drucksensor ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 127 9.5 Schwingungen und Vibrationen Kraft und abgeleitete Gröÿen Schwingungen und Vibrationen Einleitung Anwendungen der Schwingungsmesstechnik sind beispielsweise Überwachung von rotierenden Maschinen Überwachung von Verbrennungsmotoren Überwachung von hydraulischen oder pneumatischenen Schwingungen Erdbeben Aufgaben dabei: Frequenzbestimmung, mechanische Schwingungen: typisch 1 Hz bis 30 kHz Bestimmung der Amplitude(n) des Weges der Geschwindigkeit der Beschleunigung ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen SoSe 2010 Schwingungen und Vibrationen Relativmessung (Abstandsdierenzmessung) Schwingung in Bezug zu einer als ruhend anzusehenden Referenz: Schwinger Taststift Anzeige Anpressfeder ruhende Unterlage ©Sönke Carstens-Behrens 128 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Kraft und abgeleitete Gröÿen Schwingungen und Vibrationen Absolutmessung (seismische Messung) d FD z m FF : Federkraft, FD : Dämpfungskraft FD = dż c: Federkonstante d: Reibungskonstante z: Auslenkung der seismischem Masse xe : c FF = cz FF Auslenkung des Objekts Dierentialgleichung der Schwin- gung: Schwinger mz̈ + dż + cz = −mẍe ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen SoSe 2010 Schwingungen und Vibrationen Schwingungsdierentialgleichung Optimierung je nach Konguration mz̈ + dż + cz = −mẍe kleines c und groÿes niedrige Eigenfrequenz ⇒ hohe Eigenfrequenz c und kleines ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) c, d und m: Schwingweg: ω ω0 und kleine Dämpfung m ⇒ groÿes von m ω0 Schwinggeschwindigkeit: ω < ω0 und groÿe Dämpfung Schwingbeschleunigung: ω ω0 Mess- und Sensortechnik und kleine Dämpfung SoSe 2010 129 Kraft und abgeleitete Gröÿen Schwingungen und Vibrationen Absolutmessung (2) handelsübliche Schwingungssensoren sind oft beschleunigungsempndlich ausgelegt die Empndlichkeit wird oft in mV/g angegeben, g: Erdbeschleunigung typische Werte für die Empndlichkeit: 10 − 100 mV/g Zur Überwachung von Maschinen wird deren Schwingstärke bestimmt. Die Schwingstärke ist der Eektivwert der Schwinggeschwindigkeit. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen SoSe 2010 Schwingungen und Vibrationen Piezoelektrischer Beschleunigungssensor ©Sönke Carstens-Behrens 130 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Kraft und abgeleitete Gröÿen Schwingungen und Vibrationen Kapazitiver Beschleunigungssensor kostengünstige Sensoren werden als integrierte Halbleitersensoren in Dünnschichttechnologie hergestellt. Beispiel: ADXL 202 von Analog Devices kleine Leistungsaufnahme Messbereich: Ausgabe als ±2 g Pulsweitenverhältnis zur gesamten Periodendauer ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Kraft und abgeleitete Gröÿen SoSe 2010 Schwingungen und Vibrationen Kraft-, Druck- und Beschleunigungssensor ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 131 10 Strömungsgeschwindigkeit, Volumenstrom, Massenstrom 10.1 Einleitung Strömungsgeschwindigkeit, Volumenstrom, Massenstrom Einleitung Einleitung Zur Messung des Volumen- oder Massenstroms von üssigen oder gasförmigen Medien gibt es eine Reihe von Verfahren, z. B. Flügelradprinzip, Turbinenradprinzip Wirkdruckverfahren Staudruckverfahren Schwebekörperverfahren Induktive Verfahren Thermische Verfahren Corioliskraftprinzip Vortex- oder Wirbelfrequenzdurchussmessung ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 10.2 Flügelrad- und Turbinenprinzip Strömungsgeschwindigkeit, Volumenstrom, Massenstrom Flügelrad- und Turbinenprinzip Flügelradprinzip, Turbinenradprinzip ein Turbinen- oder Flügelrad geringer Masse ist in einem rohrförmigen Körper konzentrisch gelagert das Medium strömt das Rad in Richtung der Drehachse an der Rotor dreht sich mit einer Geschwindigkeit, die näherungsweise proportional zur mittleren Strömungsgeschwindigkeit im Rohrquerschnitt ist die Drehzahl des Rades wird mit Hilfe eines induktiven Näherungsschalters gemessen Messbereich (Beispiel): Abweichung: Wiederholbarkeit: 0,05% bis 0,1% Temperaturbereich: −20 ◦ C bis 120 ◦ C 1 − 30 mm2 /s 5 − 50 ms Viskosität: Ansprechzeit: ©Sönke Carstens-Behrens 132 0,5 L/h bis 400 L/h ±1% v. M. (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Strömungsgeschwindigkeit, Volumenstrom, Massenstrom Flügelrad- und Turbinenprinzip Flügelradprinzip, Turbinenprinzip (2) Anwendungsbereiche für Turbinendurchusssensoren: Treibstoe Flüssiggase Lösungsmittel Wasser Kleine Mengen werden mit Flügelradzähler gemessen. Im Gegensatz zur Turbine werden die Flügel seitlich angestrahlt. Anwendung: Hauswasserzähler ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Strömungsgeschwindigkeit, Volumenstrom, Massenstrom SoSe 2010 Flügelrad- und Turbinenprinzip Flügelradprinzip, Turbinenradprinzip (3) Flügelradzähler Turbinenradzähler Quelle: http://www.msr.uni-bremen.de/download/MSGrundlagenDurchuss.pdf, letzter Abruf: 2007-01-05. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 133 10.3 Corioliskraftprinzip Strömungsgeschwindigkeit, Volumenstrom, Massenstrom Corioliskraftprinzip Corioliskraftprinzip s. Video von Endress+Hauser ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 11 Digital-Analog-Umsetzung 11.1 Einleitung Digital-Analog-Umsetzung Einleitung Einleitung Sensorsignale werden heutzutage meist digitalisiert (s. nächstes Kapitel: Analog-Digital-Umsetzung) und in Rechenanlagen weiterverarbeitet oft soll in Abhängigkeit des Berechnungsergebnisses eine Reaktion erfolgen (Ansteuerung eines Aktors) dazu muss eine Binärzahl (Dualzahl) in eine analoge Gröÿe (meist Strom oder Spannung) umgewandelt werden ⇒ diese Aufgaben übernimmt ein Digital-Analog-Umsetzer (DAU) DAUs werden auch bei einigen Verfahren der Analog-Digital-Umsetzung benötigt. ©Sönke Carstens-Behrens 134 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Digital-Analog-Umsetzung Einleitung Kennzahlen Digitalwert Z, mit N Bit aufgelöst unipolarer Digital-Analog-Umsetzer: es werden nur positive Zahlen betrachtet, im Bereich 0 ≤ Z ≤ Zmax = 2N − 1 Stufenbreite ULSB : Dierenz im analogen Ausgangssignal zwischen zwei aufeinander folgenden Digitalwerte ULSB = Ua,max Ua,max 2N oder ULSB = Ua,max 2N − 1 ist die maximal mögliche Ausgangsspannung. LSB steht für least signicant bit Konversionsrate: (auch Umsetz- oder Wandlungsrate): gibt an, wieviele Digitalwerte pro Zeiteinheit in analoge Werte umgesetzt werden können. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 11.2 Parallelverfahren Digital-Analog-Umsetzung Parallelverfahren Parallelverfahren Alle möglichen Ausgangsspannungen werden mit einem Spannungsteiler dargestellt Referenzspannungsquelle Uref garantiert die Versorgung des Spannungsteilers mit konstanter Spannung Mit einem 1-aus-n-Decoder wird derjenige Schalter geschlossen, dem die gewünschte Spannung zugeordnet ist Wenn n n−1 Widerstände geben. Zahlen dargestellt werden sollen, muss es n Schalter und Das Parallelverfahren ist das schnellste aber auch aufwändigste Verfahren ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 135 Digital-Analog-Umsetzung Parallelverfahren Parallelverfahren: Beispiel 3-Bit-Umsetzer Uref Zahl binär S0 S1 S2 S3 S4 S5 S6 S7 Ua Uref 0/7 1/7 2/7 3/7 4/7 5/7 6/7 7/7 S7 R R R R R R R S6 S5 S4 S3 0 000 1 0 0 0 0 0 0 0 1 001 0 1 0 0 0 0 0 0 2 010 0 0 1 0 0 0 0 0 3 011 0 0 0 1 0 0 0 0 4 100 0 0 0 0 1 0 0 0 5 101 0 0 0 0 0 1 0 0 6 110 0 0 0 0 0 0 1 0 7 111 0 0 0 0 0 0 0 1 S2 S1 S0 Ua ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 11.3 Wägeverfahren Digital-Analog-Umsetzung Wägeverfahren Wägeverfahren Uref 2R Referenzspannungsquelle Uref 4R 8R R garantiert die S2 Versorgung des S0 S1 − Spannungsteilers mit Ua + konstanter Spannung Jedem Bit ist ein Schalter zugeordnet binär S2 S1 S0 Ua Uref −0/8 −1/8 −2/8 −3/8 −4/8 −5/8 −6/8 −7/8 0 000 0 0 0 Die Widerstände 1 001 0 0 1 repräsentieren die 2 010 0 1 0 Gewichte im Binärsystem 3 011 0 1 1 Guter Kompromiss aus 4 100 1 0 0 Aufwand und Umset- 5 101 1 0 1 zungsgeschwindigkeit 6 110 1 1 0 7 111 1 1 1 ©Sönke Carstens-Behrens 136 Zahl (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 11.4 Zählverfahren Digital-Analog-Umsetzung Zählverfahren Zählverfahren Uref Nur ein Schalter erforderlich S R Der Schalter wird periodisch geönet und geschlossen Ua C Das Verhältnis von Einschaltzeit zu Ausschaltzeit wird so eingestellt, dass sich der Ua Uref gewünschte Spannungswert am RC-Glied einstellt t ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 11.5 Abweichungen und Fehler Digital-Analog-Umsetzung Abweichungen und Fehler Abweichungen und Fehler Statische Fehler: Nullpunktabweichung, Abhilfe: U Abgleich Störpulse durch U Zwischencodes ideal Vollausschlagabweichung, Abhilfe: Abgleich Nichtlinearitäten Dynamische Fehler: t Einschwingzeit U Einschwingen (Tiefpass) t U Überlagerung Zwischencodes (auch Störimpulse oder Glitches, Ursache: unterschiedliches schnelles Önen und Schlieÿen der Schalter), Abhilfe: t t S&H-Glied nachschalten ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 137 12 Analog-Digital-Umsetzung 12.1 Einleitung Analog-Digital-Umsetzung Einleitung Einleitung Ein AD-Umsetzer (AD-Wandler) wandelt einen Spannungswert in einen Zahlenwert. Bevor ein digitaler Rechner (oder Mikrocontroller) ein analoges Messsignal verarbeiten kann, muss es mit Hilfe eines AD-Umsetzers digitalisiert werden. Prinzipieller Ablauf: Eingangs− spannung ue (t) Binaerzahl Tiefpass− Filter Abtast−Halte− Schaltung AD−Umsetzer Bn (Anti−Aliasing−Filter) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Analog-Digital-Umsetzung SoSe 2010 Einleitung Übersicht über Analog-Digital-Umsetzerverfahren Direktvergleichende Analog-Digital-Umsetzer Parallel-Umsetzer (Flash-Converter, Vielfach-Diskriminator) Wägeverfahren (Sukzessive Approximation, Stufenumsetzer) Kaskadierter Vielfach-Diskriminator (Kombiniertes Parallel- und Wägeverfahren) Umsetzer nach dem Subranging-Verfahren (Kaskadenverfahren) Recursive-Subranging-Verfahren (Kaskadenverfahren) inkrementeller Stufenumsetzer (Zählverfahren) Analog-Digital-Umsetzer mit Delta-Sigma-Modulator Time-Devision-Multiplizierer (Impulsbreiten-Multiplizierer, Sägezahn-Multiplizierer) Analog-Digital-Umsetzer mit Zeit oder Frequenz als Zwischengröÿe Single-Slope-Umsetzer (u/t-Umsetzer) Dual-Slope-Umsetzer (Integrierender Zweirampen-Umsetzer) Spannung-Frequenz-Umsetzer (u/f-Umsetzer) ADC nach dem Ladungskompensationsverfahren (Charge-Balancing-Converter) ©Sönke Carstens-Behrens 138 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 12.2 Shannonsches Abtasttheorem Analog-Digital-Umsetzung Shannonsches Abtasttheorem Shannonsches Abtasttheorem (Nyquist-Kriterium) x(t) y n =x(nTA ) |X(f)| t −f A TA |Y(f)| −f G 0 fG fA 2f A Shannonsche Abtasttheorem: (Nyquist-Kriterium) Ein mit der Grenzfrequenz fG bandbegrenztes Signal ist vollständig bestimmt, wenn es mit einer konstanten Abtastfrequenz fA > 2fG ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) abgetastet wird. Mess- und Sensortechnik Analog-Digital-Umsetzung SoSe 2010 Shannonsches Abtasttheorem Aliasing Wenn die Abastfrequenz zu klein ist (rot), kann das ursprüngliche Signal nicht mehr rekonstruiert werden. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 139 12.3 Abtast-Halte-Schaltung Analog-Digital-Umsetzung Abtast-Halte-Schaltung Abtast-Halte-Schaltung Bei vielen Analog-Digital-Umsetzern muss das Messsignal für die Dauer des Konversionsvorgangs zeitlich konstant gehalten werden. Dazu werden Abtast-Halte-Schaltungen eingesetzt, häug als Folge-Halte-Schaltung (Track-and-Hold-Schaltung) realisiert Anforderungen an ideale Abtast-Halte-Schaltungen: im Abtastzustand Das Ausgangssignal weist keinen Unterschied in Amplitude und Phasenlage gegenüber dem Eingangssignal auf (transparent) Für die Ein- und Ausgänge gelten die Anforderungen idealer Operationsverstärker, z. B. im Haltezustand Ri → ∞, Ra → 0 Halten der Kondensatorspannung für eine denierte Zeitdauer, d. h. auch keine Selbstentladung des Kondensators ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Analog-Digital-Umsetzung SoSe 2010 Abtast-Halte-Schaltung Abtast-Halte-Schaltung: Grundstruktur ua(t) ue (t) Realisierung als Folge-Halte-Schaltung mit zwei Operationsverstärker als Spannungsfolger. ©Sönke Carstens-Behrens 140 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Analog-Digital-Umsetzung Abtast-Halte-Schaltung Kenngröÿen von Abtast-Halte-Schaltungen ue Folgen ua Halten Folgen ue Offset Droop ua Slew Rate Aperture Time t Settling Time Acquisition Time ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 12.4 Parallelverfahren Analog-Digital-Umsetzung Parallelverfahren 2-Bit AD-Umsetzer nach dem Parallelverfahren Andere Bezeichnung: Flash-Converter U0 5 8 ue 3 2R D Q U0 D Q U0 Q2 =1 E2 B1 B0 Q’ R 1 8 E3 Q’ R 3 8 Q3 D Q U0 Q1 =1 E1 Q’ 1 2R Rpd Rpd Takt Referenz− spannungen ©Sönke Carstens-Behrens Vergleichsschaltung (RAC) Kodierer (Beispiel) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 141 Analog-Digital-Umsetzung Parallelverfahren 2-Bit AD-Umsetzer nach dem Parallelverfahren (2) Spannungsbereich Q1 Q2 Q3 E1 E2 E3 B1 B0 dez. 0 ≤ ue < 18 U0 3 1 8 U0 ≤ ue < 8 U0 3 5 8 U0 ≤ ue < 8 U0 5 8 U0 ≤ ue 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 1 0 0 0 1 1 1 1 0 0 1 0 1 0 2 1 1 1 0 0 1 1 1 3 ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Analog-Digital-Umsetzung SoSe 2010 Parallelverfahren 3-Bit AD-Umsetzer nach dem Parallelverfahren U0 13 16 U0 ue 3 2R R D Q Q’ 11 16 U0 R D Q Q’ 9 16 U0 R D Q Q’ 7 16 U0 R D Q Q’ 5 16 U0 R D Q Q’ 3 16 U0 1 16 U0 B0 B1 B2 D Q Q’ R D Q Q’ =1 =1 =1 =1 =1 =1 1 2R Rpd Rpd Rpd Takt Referenz− spannungen ©Sönke Carstens-Behrens 142 Vergleichsschaltung (RAC) Kodierer (Beispiel) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 12.5 Wägeverfahren Analog-Digital-Umsetzung Wägeverfahren AD-Umsetzer nach dem Wägeverfahren Andere Bezeichnung: sukzessive Approximation Takt ue,T Abtast− Halte−Glied SA−Register ue Z U(Z) DA−Umsetzer Z Z Uref Ähnlich dem Abwiegen eines unbekannten Gewichts mit einer Balkenwaage und Referenzgewichten. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Analog-Digital-Umsetzung SoSe 2010 Wägeverfahren Ablauf des Wägeverfahrens, 3-Bit-AD-Umsetzer Start nein nein nein Z=000 ja ue,T>U(010) ue,T>U(001) ja nein ja ue,T>U(100) nein ue,T>U(011) Z=001 Z=010 1. Takt ja nein ue,T>U(101) Z=011 Z=100 ja ue,T>U(110) ja nein ue,T>U(111) Z=101 Z=110 2. Takt ja 3. Takt Z=111 Für jedes Bit wird ein Takt benötigt. Der im Vergleich zum Parallelumsetzer geringe Hardware-Aufwand wird also durch eine länger Wandlungszeit erkauft. ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 143 12.6 Dual-Slope-Umsetzer Analog-Digital-Umsetzung Dual-Slope-Umsetzer Dual-Slope-Umsetzer UC Ue Taktgenerator C R & Uref Zähler (z.B. 0V) Integrator Komparator Steuerlogik Hohe Auösung mit geringem technischen Aufwand geringe Wandlungsgeschwindigkeit Einsatz oft in manuell ablesbaren digitalen Spannungsmessern ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Analog-Digital-Umsetzung SoSe 2010 Dual-Slope-Umsetzer Dual-Slope-Umsetzer: Spannung-Zeit-Diagramm 1. Phase: Auaden des UC 1. Phase Integrationskondensators 2. Phase UC (Ue2 ) Dauer ist t1 (immer gleich) Steigung hängt von UC (Ue1 ) UC C hängt von Ue Ue ab ab 2. Phase: t t1 =const. t2,1 Entladen des Integrationskondensators t2,2 Steigung immer gleich (hängt zwei AD−Umsetzungen, Ue1 < U e2 von Uref ab) Entladedauer t2 ist ein Maÿ für Ue ©Sönke Carstens-Behrens 144 (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 13 Automatisierte Messsysteme 13.1 Hardwarekonguration Automatisierte Messsysteme Hardwarekonguration Instrumentierte Computer normaler PC mit z. B. Einsteckkarte, kostengünstig Industrie-PC, teuer bei besondere Gehäuseabmessungen bei besonderen Anforderungen bzgl. Störsicherheit, Klimafestigkeit, usw. zwei Varianten: Add in-Variante Add on-Variante ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Automatisierte Messsysteme SoSe 2010 Hardwarekonguration Add in-Variante zum Sensor weit verbreitet: PCI-Einsteckkarten (DAQ-card: data aquisition card) PCI-Taktrate: 33 Mhz (66 MHz) 32-Bit-Datenbus (=4 Byte) Übertragungsrate: 132 MByte/s (theoretisch) für viele anspruchsvolle Messaufgaben ausreichend neu: PCI Express-Bus (PCIe) PCIe-Taktrate: bis zu 1,25 GHz (DDR) 1, 2, 4, 8, 16 oder 32 Lanes (Leitungspaare) Übertragungsrate: ca. 240 MByte/s pro Richtung und Lane ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 DDR: double data rate, Daten werden bei steigender und fallender Flanke übertragen. 145 Automatisierte Messsysteme Hardwarekonguration Add on-Variante erforderliche Baugruppen (Messwertaufnahme, -verarbeitung, -ausgabe) in einem PC-Beistellgerät meistens serielle Verbingung zwischen PC und Beistellgerät COM USB IEEE-1394 (Firewire) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik Automatisierte Messsysteme SoSe 2010 Hardwarekonguration Messsysteme mit Busschnittstelle Steuerrechner Für komplexere Aufgaben müssen Teilaufgaben auf serieller oder paralleler Bus verschiedene Komponenten verteilt werden. Modul 1 z. B. Multi− meter ©Sönke Carstens-Behrens 146 (RAC) Mess- und Sensortechnik Modul 1 z. B. Funktions− generator Modul 1 z. B. Frequenz− zähler SoSe 2010 Automatisierte Messsysteme Hardwarekonguration Messsysteme mit Busschnittstelle (2) parallele Bussysteme byteweise serielle Bussysteme Datenübertragung (oder bitweise Datenübertragung (i. A. ganzzahliges Vielfaches) zwei Datenleitungen viele Managementleitungen keine Managementleitungen hoher Verdrahtungsaufwand niedriger Verdrahtungsaufwand geringe Reichweite (wenige Meter) groÿe Reichweite (bis einige Kilometer) hohe Übertragungsrate niedrigere Übertragungsrate einfaches Protokoll aufwändiges Protokoll Beispiele: IEC-625-Bus (GPIB), VXI- Beispiele USB, IEEE 1392 (Firewire), Bus EIA-485 (RS-485) ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 EIA: Electronic Industries Alliance (RS: Radio Sector, veraltet, neue Lesart: recommended standard) GBIP: general purpose interface bus 13.2 Software zur Steuerung und Visualisierung Automatisierte Messsysteme Software zur Steuerung und Visualisierung Software zur Steuerung und Visualisierung Bediener Bedienoberfläche Betriebs− software (Geräte−)Treiber Hardware Gerät Aktoren/Sensoren ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 147 Automatisierte Messsysteme Software zur Steuerung und Visualisierung Instrumentierungssoftware Beispiele für Instrumentierungssoftware Hersteller Produkt The MathWorks MATLAB, MATLAB/Simulink National Instruments LabVIEW, DASYLab Agilent Agilent VEE ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 13.3 TEDS-Sensoren Automatisierte Messsysteme TEDS-Sensoren TEDS-Sensoren TEDS: transducer electronic data sheet ein TEDS-Sensor enthält sein eigenes Datenblatt auf einem Chip ein entsprechend ausgestatteter Messverstärker liest die Kenndaten aus der Messverstärker verwendet die Daten für die eigenen Einstellungen ⇒ Plug-and-Play für Sensoren Hersteller: 11010001101 Typ: 01101000 Einheit: 00101101 Speisung: 11101010 Kennlinie: 0010001100101 ... Datenmodus Messmodus Sensor mit TEDS ©Sönke Carstens-Behrens 148 (RAC) TEDS−fähiger Messverstärker Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 Automatisierte Messsysteme TEDS-Sensoren TEDS-Inhalt Bereich 1: weltweit eindeutige Identikationsnummer Bereich 2: Basisbereich (nach Norm IEEE 1451.4) Aufnehmertyp Hersteller Seriennummer Bereich 3: Sensordaten, z. B. Spezikation der Messgröÿe der Kennlinie der erforderlichen Speisung Bereich 4: vom Anwender zu nutzen, z. B. kurzer Kommentar Filtereinstellungen ©Sönke Carstens-Behrens (RAC) Mess- und Sensortechnik SoSe 2010 149