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ÜBERBLICK
Als führender Lieferant von Wafer-Fabrikationsausrüstung und Dienstleistungen für die Halbleiterindustrie
entwickeln wir bei Lam Research innovative Lösungen, die unseren Kunden helfen, kleinere, schnellere und
energieeffizientere elektronische Komponenten zu bauen – von der Art, die die Verbreitung neuer Technologien
in unserem täglichen Leben vorantreibt.
Um die winzigen, komplexen Chips zu produzieren, die in Produkten wie Mobiltelefonen, Computern und
Unterhaltungsgeräten verwendet werden, benötigen Halbleiter-Hersteller hochanspruchsvolle Prozesse und
Ausrüstung. Die Produkte von Lam spielen dabei eine Schlüsselrolle und ermöglichen Chipherstellern, ihre Produkte
mit Schaltkreisen zu bauen, die tausendmal kleiner sind als ein Sandkorn. Tatsächlich wird beinahe jeder führende
Schaltkreis, der heute hergestellt wird, mit Lam-Ausrüstung entwickelt.
Lam Research bietet ein breites Portfolio von Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzung, Fotolackentfernung und
Wafer-Reinigungslösungen für eine Front-End Wafer-Verarbeitung und Advanced Packaging-Anwendungen.
Umfassende Kundendienstangebote bieten Wertschöpfung während der gesamten Lebensdauer, von der
Systeminstallation, dem Produktionsanlauf und neuen Technologie-Upgrades bis zum End-of-Life-Management
der Anlagen. Durch Zusammenarbeit, Innovation und das Einhalten unserer Versprechen transformieren wir
Engineering im atomaren Maßstab und ermöglichen es unseren Kunden, die Zukunft der Technologie zu gestalten.
PRODUKTANGEBOTE
Deposition
Dielectric & hardmask films: VECTOR® PECVD/ALD family, SPEED® gapfill HDP-CVD family
Metal films: SABRE® ECD family, ALTUS® tungsten ALD/CVD family
Film treatment: SOLA® UV thermal processing family
Etch
Conductor etch: Kiyo® family, Versys® Metal family
Dielectric etch: Flex™ family
Through-silicon via etch: Syndion® family
MEMS & deep silicon etch: TCP® 9400DSiE™ family
Strip
Standalone strip: GAMMA® family
Integrated strip: Strip45™, Microwave Stripper
Clean
Spin wet clean: EOS®, DV-Prime®, Da Vinci®, SP Series
Plasma bevel clean: Coronus® family
Support
Service, spares, upgrades, technical training
Reliant™ Systems – refurbished and newly built legacy products
Wichtige Fakten
Hauptsitz
Kontaktinformationen
Gegründet: 1980
Umsatz: ~$5.9 Milliarden USD
(Kalenderjahr 2015)
Mitarbeiter: ~7.300
Standorte: 16 Länder weltweit
Nasdaq Symbol: LRCX
Lam Research Corporation
4650 Cushing Parkway
Fremont, CA 94538
(510) 572-0200
(800) 526-7678
[email protected]
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