Qualitätsmanagement
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Qualitätsmanagement-Handbuch 3 Abteilung 7 Leistungsangebot (Services offered) In der PTB-Abteilung 7 werden die im folgenden aufgeführten Leistungen angeboten. In PTB Division 7, the services stated in the following are offered. 3.1 Prüfungen, Kalibrierungen Tests, calibrations (Ausstellung von PTB-Prüfscheinen bzw. PTB-Kalibrierscheinen) (List of PTB test certificates and/or PTB calibration certificates) Id-Nr. Messgröße Kalibrier-/ Prüfgegenstand Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte Messunsicherheit (k=2) CMC-Eintrag Id. No. Measurand Instrument or Artifact to be calibrated / tested Range Unit Measurement conditions Expanded measurement uncertainty (k=2) CMC entry 1 2 3 4 5 6 7 8 7.1-1.6 spektrale Empfindlichkeit Strahlungsempfänger 10-6 bis 10 A W-1 Photonenenergiebereich 1,75 keV bis 10 keV, Vakuum 10 % bis 0,36 % nein spectral responsivity radiation detector 10-6 to 10 A W-1 photon energy range 1.75 keV to 10 keV, vacuum 10 % to 0.36% no spektraler Reflexionsgrad, spektraler Transmissionsgrad Spiegel , Filter 10-7 bis 1 1 Photonenenergiebereich 1,75 keV bis 10 keV, Vakuum 10 % bis 0,5 % nein spectral reflectivity, spectral transmittance mirror, filter 10-7 to 1 1 photon energy range 1.75 keV to 10 keV, vacuum 10 % to 0.5% no spektrale Empfindlichkeit Strahlungsempfänger 10-6 bis 10 A W-1 Photonenenergiebereich 8 keV bis 60 keV 10 % bis 0,5 % nein spectral responsivity radiation detector 10-6 to 10 A W-1 photon energy range 8 keV to 60 keV 10 % to 0.5% no Masse von Spurenelementen (als Oberflächenkontamination) Si- und SiC-Wafer ≥ 7⋅10-14 (elementabhängige untere Nachweisgrenze) g TotalreflexionsRöntgenfluoreszenzanalyse 50 % bis 30 % nein mass of trace elements (as surface contamination) Si and SiC wafer ≥ 7⋅10-14 (elementspecific lower limit of detection) g Total reflection X-ray fluorescence analysis 50 % to 30 % no Schichtdicke Dünne Schicht auf spiegelnder Oberfläche 2 to 1000 (materialabhängig) nm Röntgenreflektometrie 12 % bis 1 % Ja (nur SiO2 auf Si) layer thickness Thin layer on reflecting surface 2 to 1000 (depending on material) nm X-ray reflectometry 12 % to 1 % Yes (SiO2 on Si only) 7.1-1.8 7.1-1.9 7.1-1.10 7.1-1.11 Ausgabe-Nr. : 08 erstellt durch: Abteilung 7 QMV-7 am: 2010-02-01 Kapitel 3/3.1 Seite von Seiten 1 von 6 Qualitätsmanagement-Handbuch Abteilung 7 Id-Nr. Messgröße Kalibrier-/ Prüfgegenstand Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte Messunsicherheit (k=2) CMC-Eintrag Id. No. Measurand Instrument or Artifact to be calibrated / tested Range Unit Measurement conditions Expanded measurement uncertainty (k=2) CMC entry 1 2 3 4 5 6 7 8 7.2-1.21 spektrale Strahlstärke Strahlungsquelle 10-6 bis 1 W nm-1 sr-1 bzw. W nm-1 sr-1 mm-2 Wellenlängenbereich: 40 nm bis 400 nm 35 % bis 4,0 % ja, für Wellenlängenbereich 200 nm 350 nm 36 % bis 4,8 % spektrale Strahldichte spectral radiant intensity radiation source 10-6 to 1 W nm-1 sr-1 or W nm-1 sr-1 mm-2 wavelength range: 40 nm to 400 nm spectral radiance 7.2-1.22 7.2-1.23 7.2-1.24 7.2-1.25 7.2-1.27 7.3-1.1 35 % to 4.0 % yes, for wavelength range 200 nm - 350 nm 36 % to 4.8 % -4 spektrale Empfindlichkeit Strahlungsempfänger 10 bis 10 AW spectral responsivity radiation detector 10-4 to 10 Spiegel , Filter spektraler Reflexionsgrad / spektraler Transmissions-grad -1 Wellenlängenbereich: 40 nm bis 400 nm 0,5 % bis 2 % nein A W-1 wavelength range: 40 nm to 400 nm 0.5 % to 2% no 10-4 bis 1 1 Wellenlängenbereich: 40 nm bis 400 nm 0,5 % bis 2 % nein spectral reflectivity / mirror, filter spectral transmittance 10-4 to 1 1 wavelength range: 40 nm to 400 nm 0.5 % to 2 % no Nachweiswahrscheinlichkeit für Photonen Energie-dispersive Strahlungsempfänger 10-3 bis 1 1 Photonenenergiebereich 1 keV bis 20 keV, Vakuum 5 % bis 1 % nein detection probability for photons energy-dispersive radiation detectors 10-3 to 1 1 photon energy range 1 keV to 20 keV, vacuum 5 % to 1 % no spektrale Empfindlichkeit Strahlungsempfänger 10-6 bis 10 A W-1 Wellenlängenbereich: 0,8 nm bis 25 nm, Vakuum 10 % bis 0,5 % nein spectral responsivity radiation detector 10-6 to 10 A W-1 wavelength range: 0.8 nm to 25 nm, vacuum 10 % to 0.5 % no spektraler Reflexionsgrad, spektraler Transmissionsgrad Spiegel, Filter 10-6 bis 1 1 Wellenlängenbereich: 0,7 nm bis 34 nm, Vakuum 10 % bis 0,28 % Ja, Reflexionsgrad für Wellenlängenbereich 10 nm bis 30 nm spectral reflectivity, spectral transmittance mirror, filter 10-6 to 1 1 wavelength range: 0.7 nm to 34 nm, vacuum 10 % to 0.28 % yes,reflectance for wavelength range 10 nm to 30 nm Temperatur Strahlungsthermometer, Wolframbandlampe Thermografiegerät, Hohlraumstrahler 800 bis 3000 °C 0,28 K bis 1,5 K ja, aber nur der Bereich 960 °C bis 2900 °C Radiation thermometer, tungsten strip lamp, thermographic instruments, cavity radiator 800 to 3000 temperature Ausgabe-Nr. : 08 erstellt durch: Abteilung 7 QMV-7 am Fixpunkt 50 mK °C 0.28 K to 1.5 K at the fixed-point 50 mK am: 2010-02-01 Kapitel 3/3.1 Seite von Seiten 2 von 6 yes, but only the range from 960 °C up to 2900 °C Qualitätsmanagement-Handbuch Abteilung 7 Id-Nr. Messgröße Kalibrier-/ Prüfgegenstand Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte Messunsicherheit (k=2) CMC-Eintrag Id. No. Measurand Instrument or Artifact to be calibrated / tested Range Unit Measurement conditions Expanded measurement uncertainty (k=2) CMC entry 1 2 3 4 5 6 7 8 7.3-1.2 Temperatur Strahlungsthermometer, Thermografiegerät, Hohlraumstrahler - 60 bis 962 °C 0,03 K bis 0,6 K nein temperature Radiation thermometer, thermographic instruments, cavity radiator - 60 to 962 °C 0.03 K to 0.6 K no spektrale Strahldichte Normal der spektralen Strahldichte 4·106 bis 4·1011 W m-3 sr—1 Wellenlänge 220 nm bis 2500 nm, Bandbreite < 2 nm 4 % bis 0,4 % ja, aber mit größerer Unsicherheit, neue CMCEinträge beantragt spectral radiance standard of spectral 4·106 to 4·1011 radiance W m-3 sr-1 wavelength from 220 nm to 2500 nm, bandwidth < 2 nm 4 % to 0.4 % yes, but with larger uncertainty, new CMC entries applied Spektraler Emissionsgrad Materialproben 0,01 bis 1 1 Wellenlängenbereich 4 µm bis 40 µm, Temperaturbereich 80 °C bis 430 °C 1 % bis 10 % nein spectral emissivtiy material samples 0.01 to 1 1 wavelength range from 4 µm to 40 µm, temperature range from 80 °C to 430 °C 1 % to 10 % no spektrale Empfindlichkeit Halbleiterdetektoren 0,001 bis 10 A/W Vergleich mit Kryoradiometer an 27 Laserwellenlängen (238 nm bis 1550 nm) 0,02 % bis 0,2 % nein spectral responsivity semiconductor detectors 0.001 to 10 A/W comparison with cryogenic radiometer at 27 laser wavelengths (238 nm to 1550 nm) 0.02 % to 0.2 % no spektrale Empfindlichkeit Si-p-n-Trapdetektoren 0,001 bis 10 A/W Interpolation im Bereich 0,02 % bis 0,1 % 400 nm bis 1015 nm spectral responsivity Si-p-n trap detectors 0.001 to 10 A/W interpolation in the range from 400 nm to 1015 nm 0.02 % to 0.1 % yes spektrale Empfindlichkeit Halbleiterdetektoren 0,001 bis 10 A/W Vergleich mit Kryoradiometer im Bereich 950 nm bis 2000 nm 0,06 % bis 5 % ja im Bereich 950 nm bis 1600 nm, aber mit größerer Unsicherheit, da CCPR-K2.a noch nicht abgeschlossen spectral responsivity semiconductor detectors 0.001 to 10 A/W comparison with cryogenic radiometer in the range from 950 nm to 2000 nm 0.06 % to 5 % yes, in the range from 950 nm to 1600 nm, but with larger uncertainty, as CCPR-K2.a has not yet been concluded 7.3-1.3 7.3-1.11 7.3-1.21 7.3-1.22 7.3-1.23 Ausgabe-Nr. : 08 erstellt durch: Abteilung 7 QMV-7 am: 2010-02-01 Kapitel 3/3.1 Seite von Seiten 3 von 6 ja Qualitätsmanagement-Handbuch Abteilung 7 Id-Nr. Messgröße Kalibrier-/ Prüfgegenstand Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte Messunsicherheit (k=2) CMC-Eintrag Id. No. Measurand Instrument or Artifact to be calibrated / tested Range Unit Measurement conditions Expanded measurement uncertainty (k=2) CMC entry 1 2 3 4 5 6 7 8 7.3-1.24 spektrale Empfindlichkeit Halbleiterdetektoren 0,001 bis 10 A/W Vergleich mit Kryoradiometer im Bereich 200 nm bis 400 nm 0,2 % bis 2 % ja, aber mit größerer Unsicherheit, da CCPR-K2.c noch nicht abgeschlossen spectral responsivity semiconductor detectors 0.001 to 10 A/W comparison with cryogenic radiometer in the range from 200 nm to 400 nm 0.2 % to 2 % yes, but with larger uncertainty, as CCPR-K2.a has not yet been concluded spektrale Empfindlichkeit photoelektrische oder thermoelektrische Strahlungsempfänger A/W oder V/W oder Anzeigewert/W Vergleich mit Transfernormalen im Bereich 200 nm bis 1,8 µm 0,04 % bis 3 % von 200 nm bis 1600 nm: ja, aber mit größerer Unsicherheit, da CCPR-K2.a, und K2.c noch nicht abgeschlossen. spectral responsivity Photoelectric or thermoelectric radiation detectors A/W or V/W or Display value/W comparison with transfer standards in the range from 200 nm to 1.8 µm 0.04 % to 3% from 200 nm to 1600 nm: yes, but with larger uncertainty, as CCPR-K2.a and K2.c have not yet been conclude. Ortsabhängige Messung der relativen spektralen Empfindlichkeit Strahlungsempfänger 10-3 bis 10 1 Wellenlängen: 256,7 nm und 366,25 nm, Ortsauflösung: ≥ 0,25 mm 0,05 % nein position-dependent measurement of the relative spectral responsivity radiation detector 10-3 to 10 1 0.05 % no spektrale Empfindlichkeit THzStrahlungsleistungsmessgeräte 0,001 bis 10 W/W 17 % nein spectral responsivity THz-radiometer 0.001 to 10 W/W 17 % no Temperatur SPRT (long-stem) an Fixpunkten -189 bis 962 °C wavelengths: 256.7 nm and 366.25 nm, spatial resolution: ≥ 0,25 mm Vergleich mit Transfernormal bei 2,52 THz Comparison with transfer standards at 2.52 THz Thermostat / 3-Zonenofen 0,1 mK bis 3 mK ja temperature SPRT (long stem) on fixed points -189 to 962 °C thermostat / 3-zone furnace 0.1 mK to 3 mK yes Temperatur Fixpunktzelle für SPRTs (long-stem) -189 bis 962 °C Thermostat / 3-Zonenofen 0,07 mK bis 3 mK ja, bis auf Ag temperature fixed point cell for SPRTs (long stem) -189 to 962 °C thermostat / 3-zone furnace 0.07 mK to 3 mK yes, except Ag Temperatur CSPRT an Fixpunkten 14 bis 273 K Isothermer Kryostat 0,3 mK bis 0,4 mK ja temperature CSPRT on fixed points 14 to 273 K isothermal cryostat 0.3 mK to 0.4 mK yes Temperatur Fixpunktzelle für CSPRTs 14 bis 273 K Isothermer Kryostat 0,3 mK bis 0,4 mK ja temperature fixed point cell for CSPRTs 14 to 273 K isothermal cryostat 0.3 mK to 0.4 mK yes Ausgabe-Nr. : 08 erstellt durch: Abteilung 7 QMV-7 7.3-1.25 7.3-1.26 7.3-1.27 7.4-1.1 7.4-1.2 7.4-1.3 7.4-1.4 am: 2010-02-01 Kapitel 3/3.1 Seite von Seiten 4 von 6 Qualitätsmanagement-Handbuch Abteilung 7 Id-Nr. Messgröße Kalibrier-/ Prüfgegenstand Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte Messunsicherheit (k=2) CMC-Eintrag Id. No. Measurand Instrument or Artifact to be calibrated / tested Range Unit Measurement conditions Expanded measurement uncertainty (k=2) CMC entry 1 2 3 4 5 6 7 8 7.4-1.5 Temperatur Kapselthermometer, ITS-90 0,65 bis 303 K Isothermer Kryostat 0,3 mK bis 1,5 mK ja, aber z. Zt. noch von CCTWG8 begutachtet temperature encapsulated thermometer, ITS90 0.65 to 303 K isothermal cryostat 0.3 mK to 1.5 mK yes, but presently under review by CCT WG8 Temperatur Kapselthermometer, PLTS-2000 0,05 bis 1 K Isothermer Kryostat 0,36 mK ja temperature encapsulated thermometer, PLTS-2000 0.05 to 1 K isothermal cryostat 0.36 mK yes Temperatur TemperaturReferenzproben 0,015 bis 10 K Isothermer Kryostat 0,1 mK bis 1 mK ja, aber z. Zt. noch von CCTWG8 begutachtet temperature temperature reference sample 0.015 to 10 K isothermal cryostat 0.1 mK to 1 mK yes, but present under review by CCT WG8 Temperatur EdelmetallThermoelement 0 bis 1600 °C Hochtemperaturofen 0,05 K bis 1,5 K ja, bis auf Au/Pt-TE temperature noble metal thermocouple 0 to 1600 °C high-temperature furnace 0.05 K to 1.5 K yes, except Au/Pt-TC Temperatur FlüssigkeitsGlasthermometer -58 bis 600 °C Gerührtes Flüssigkeitsbad 5 mK bis 500 mK ja temperature liquid-in-glass thermometer -58 to 600 °C stirred thermostated bath 5 mK to 500 mK yes Temperatur Direktanzeigendes Thermometer und Widerstandsthermo meter -75 bis 600 °C Gerührtes Flüssigkeitsbad 4 mK bis 15 mK ja temperature direct reading thermometer and resistance thermometer -75 to 600 °C stirred thermostated bath 4 mK to 15 mK yes Druck Kapazitätsvakuummeter 10-2 bis 105 Pa 20 °C bis 25 °C, He, Ne, N2, Ar, Kr, Xe 0,40 % bis 0,040 % ja pressure capacitance diaphragm gauge 10-2 to 105 Pa 20 °C bis 25 °C, He, Ne, N2, Ar, Kr, Xe 0.40 % to 0.040 % yes Druck Gasreibungsvakuummeter 10-4 bis 1 Pa 20 °C bis 25 °C, He, N 2, 4,9 % bis 0,26 % Ar ja pressure spinning rotor vacuum gauge 10-4 to 1 Pa 20 °C bis 25 °C, He, N 2, 4.9 % to 0.26% Ar yes Druck Ionisationsvakuummeter 10-9 bis 10-2 Pa 20 °C bis 25 °C, Ne, N 2, 10 % bis 0,66 % Ar, Kr, Xe ja pressure ionisation vacuum gauge 10-9 to 10-2 Pa 20 °C bis 25 °C, Ne, N 2, 10 % to 0.66% Ar, Kr, Xe yes Druck sonstiges Vakuummeter 10-9 bis 105 Pa 20 °C bis 25 °C, nicht kondensierendes Gas 10 % bis 0,0054 % ja pressure other vacuum gauge 10-9 to 105 Pa 20 °C bis 25 °C, non condensing gas 10 % to 0.0054% yes 7.4-1.6 7.4-1.7 7.4-1.8 7.4-1.9 7.4-1.10 7.5-1.4 7.5-1.5 7.5-1.6 7.5-1.7 Ausgabe-Nr. : 08 erstellt durch: Abteilung 7 QMV-7 am: 2010-02-01 Kapitel 3/3.1 Seite von Seiten 5 von 6 Qualitätsmanagement-Handbuch Abteilung 7 Id-Nr. Messgröße Kalibrier-/ Prüfgegenstand Bereich Einheit Messbedingungen Erweiterte Messunsicherheit (k=2) CMC-Eintrag Id. No. Measurand Instrument or Artifact to be calibrated / tested Range Unit Measurement conditions Expanded measurement uncertainty (k=2) CMC entry 1 2 3 4 5 6 7 8 7.5-1.8 Stoffmengendurchfluss Testleck 2·10-15 bis 4·10-8 mol/s gegen Vakuum, 18 °C bis 40 °C 8,5 % bis 0,7 % nein flowrate of amount of substance artefact 2·10-15 to 4·10-8 mol/s against vacuum, 18 °C to 40 °C 8.5% to 0.7 % no Stoffmengendurchfluss Testleck 4·10-11 bis 4·10-9 mol/s gegen Atmosphäre, 18 °C bis 30 °C 2% bis 0,33 % nein flowrate of amount of substance artefact 4·10-11 to 4·10-9 mol/s against atmosphere, 18 °C to 30 °C 2% to 0.33 % no Saugvermögen Turbomolekularpumpe 25 bis 2000 l/s ISO 21360 und 5302 5% nein volume flow (pumping speed) turbomolecular pump 25 to 2000 l/s ISO 21360 and 5302 5% no Volumen, Volumenstrom 3 bis 1000 Volumengeber, Durchflusssensoren m³/h 3 °C bis 90 °C 4 ⋅ 10-4 ja, teilweise von 3 m3 bis 180 m3/h volume, volume flow volume transmitter, flowrate sensors m³/h 3 °C to 90 °C 4 ⋅ 10-4 yes, partly to the range from 3 m3 to 180 m3/h Volumen, Volumenstrom Volumengeber, 0,006 bis 4 Durchflusssensoren m³/h 20 °C bis 80 °C 3 ⋅ 10-3 ja, teilweise von 0.01 m3/h bis 4 m3/h volume, volume flow volume transmitter, flowrate sensors 0.006 to 4 m³/h 20 °C to 80 °C 3 ⋅ 10-3 yes, partly to the range from 0.01 m3/h to 4 m3/h Simulierte thermische Leistung, Energie WärmezählerRechenwerke 0,014 bis 236000 W 0 °C bis 200 °C, 3 K bis 200 K 0,006 m³/h bis 1000 m³/h 3 ⋅ 10-3 nein simulated thermal power, energy heat meter computing mechanisms 0.014 to 236000 W 0 °C to 200 °C, 3 K to 200 K 0.006 m³/h to 1000 m³/h 3 ⋅ 10-3 no Elektrische Spannung Normalelemente im Dewargefäß 1,018 … V 20 °C 5 ⋅ 10-6 Ja electrical voltage standard cells in Dewar vessel 1.018 … V 20 °C 5 ⋅ 10-6 yes 7.5-1.9 7.5-1.10 7.6-1.1 7.6-1.2 7.6-1.3 7.6-1.6 Ausgabe-Nr. : 08 erstellt durch: Abteilung 7 QMV-7 3 to 1000 am: 2010-02-01 Kapitel 3/3.1 Seite von Seiten 6 von 6