Isolast® Fab Range™ J9610

T R EL L EB O RG S E A L I N G S O LU T I O N S
Isolast®
Fab Range™ J9610
SPEZIELL ENTWICKELT FÜR NASSPROZESSE
Isolast® Fab Range™ J9610
Ihre Vorteile im Prozess
Die im Reinraum gefertigten Werkstoffe des Isolast®Fab RangeTM
sind ausschließlich für die Halbleiterindustrie entwickelt
worden. Die speziellen Formulierungen tragen erheblich zur
Reduzierung des Ausfallrisikos bei und zur Verbesserung der
Effektivität in der Produktion durch längere Standzeiten der
Dichtungselemente. Diese ultra-reinen Hochleistungsperfluorelastomere zeichnen sich durch breiteste chemische
Beständigkeit aus und bieten dadurch einen echten
Kostenvorteil in Halbleiteranwendungen. Isolast®J9610 ist
ein Hochleistungsperfluorelastomer, das speziell für alle
Anwendungen in Nassprozessen der Halbleiterfertigung
entwickelt wurde. Die spezielle Formulierung trägt erheblich
zur Reduzierung des Ausfallrisikos und zur Verbesserung der
Effektivität in der Produktion dauerhaft bei einer Betriebstemperatur bis zu 235°C bei.
•Höchste chemische Beständigkeit gegenüber Säuren,
Lösemitteln und reinem entionisiertem Wasser
•Sehr niedriger Langzeitdruckverformungsrest
•Sehr hoher Reinheitsgrad
•Äußerst niedriger Gehalt an Kationen und Anionen
•Niedriger TOC-Wert (Total Oxidisable Carbon)
•Verfügbar in fast allen O-Ringabmessungen,
kundenspezifischen Formteilen und hochreinen GummiMetallverbindungen
•Exzellente Dichtfunktion durch hervorragende
Oberflächengüte
YO U R PA R T N ER F O R S E A L I N G T EC H N O LO GY
Anwendungen
DichtungseIemente aus Isolast® J9610 werden in nachfolgenden
Prozessen in Betriebstemperaturen bis 235° C verwendet:
- Wet etching
- Wet cleaning
- Chemical mechanical planarisation
- Wet stripping
-Plating
ISOLAST® FAB RANGE™
J9610 WERKSTOFFDATEN
Werkstoff Nr.
Härte
DIN ISO 1629
FFKM ultrarein
DIN 53 505
75 +/- 5
Shore A
Farbe
schwarz
Dichte
DIN 53 479
g/cm3
1,94 ± 0,03
Zugfestigkeit
DIN 53 504
MPa
N/mm2/psi
13,8
Bruchdehnung
DIN 53 504
%
128
DIN ISO 815 Typ B
%
17
DIN ISO 1629
°C
-25 / +235
Druckerverformungsrest
72 h / 200 °C
Betriebstemperatur
Die angegebenen Kennwerte sind Mittelwerte und wurden an Normprobekörpern in Anlehnung an die entsprechende Norm bestimmt. Sie dürfen nicht als Spezifikation
verwendet werden. Der Abnehmer ist insbesondere nicht davon befreit, selbst die Eignung unserer Ware für den beabsichtigten Verwendungszweck zu prüfen.
Das Datenblatt unterliegt nicht dem Änderungsdienst.
Trelleborg Sealing Solutions bietet der
Halbleiterindustrie
99DEP6BROEE1008
•Kontinuierliche Entwicklung von Dichtungselementen sowie
Dichtungslösungen mit modernsten Techniken der Finite
Elemente Methode (FEM)
•Polymerentwicklung und Prüfstände nach dem neuesten
Stand der Technik
•Produktion nach Null-Fehler-Standard gemäß ISO 9001-2000
sowie 100% Teileinspektion
•Fertigung im Reinraum sowie Waschen und Verpacken der Teile
nach Class 100
•Exzellente technische Unterstützung und Aftersales Service
durch das globale Trelleborg Sealing Solutions Netzwerk
© 2008 Trelleborg Group. Die in dieser Publikation enthaltenen Informationen wurden zum Zeitpunkt des Erscheinens auf Richtigkeit geprüft.
Elastomerbasis
J9610
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