Technologische Kernkompetenzen PDF

KERNKOMPETENZEN
MANZ KERNKOMPETENZEN
EFFIZIENTE SYSTEMLÖSUNGEN für anspruchsvolle
anwendungen in zahlreichen industrien
KERNKOMPETENZEN
INHALT
Passion for Efficiency – Effizienz durch Leidenschaft
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Unsere Kerntechnologien
4
Automation
6
Rolle-zu-rolle
8
messtechnik
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drucken & beschichten
12
Laserbearbeitung
14
Nasschemie
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Vakuumbeschichtung
18
3
PASSION
FOR EFFICIENCY
Die in Deutschland ansässige Manz AG ist einer der weltweit führenden Technologieanbieter
zur Herstellung von elektronischen Bauteilen und Geräten, wie Smartphones und Tablet-PCs, von
Lithium-Ionen-Batterien sowie von Solarzellen und -modulen. Produktionsstätten in Deutschland,
der Slowakei, Ungarn, Italien, China und Taiwan sowie die weltweiten Service-Niederlassungen
gewährleisten kurze Reaktions- und Lieferzeiten.
Manz bietet seinen Kunden aus Wachstums- und Zukunftsbranchen hocheffiziente Produktionsprozesse und hat sich in den letzten Jahren erfolgreich als gefragter Entwicklungspartner der
Industrie etabliert. Mit innovativen Produktionslösungen ist die Manz-Gruppe Wegbereiter für
die Weiterentwicklung und den Durchbruch von Schlüsseltechnologien der heutigen Welt wie
nachhaltige Energieerzeugung, Displays und Geräte für globale Kommunikationsbedürfnisse und
E-Mobilität.
Mit dem Claim „passion for efficiency – Effizienz durch Leidenschaft“ gibt Manz das Leistungsversprechen, seinen in wichtigen Zukunftsbranchen tätigen Kunden immer effizientere Produktionsanlagen anzubieten. Das Unternehmen trägt als Maschinenbauer wesentlich dazu bei,
die Produktionskosten der Endprodukte zu senken und diese großen Käuferschichten weltweit
zugänglich zu machen. Manz optimiert dafür kontinuierlich seine Angebotspalette. Ziel sind
höchst zuverlässige Produktionsprozesse auf Kundenseite und immer bessere Leistungsparameter der auf Manz-Anlagen gefertigten Produkte. Mit umfassender Expertise in der Automation, Laserbearbeitung, Vakuumbeschichtung, Messtechnik, Nasschemie, im Drucken und Beschichten sowie in Rolle-zu-Rolle-Prozessen fokussiert
sich die Manz AG auf die Geschäftsbereiche „Electronic Components“, „Electronic Devices“,
„Solar“, „Energy Storage“ und „New Business“.
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laserbearbeitung
rolle-zu-rolle
• Electronic Components
• Electronic Devices
• Solar
• Energy Storage
• New Business • Electronic Components
• Electronic Devices
• Solar
• Energy Storage
• New Business automation
• Electronic Components
• Electronic Devices
• Solar
• Energy Storage
• New Business drucken & beschichten
unsere kerntechnologien
• Electronic Components
• Electronic Devices
• Solar • New Business messtechnik
• Electronic Components
• Electronic Devices
• Solar
• Energy Storage
• New Business nasschemie
• Electronic Components
• Electronic Devices
• Solar • New Business vakuumbeschichtung
• Electronic Components
• Electronic Devices
• Solar
• Energy Storage
• New Business
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Wir sind gefragter
Entwicklungspartner und
Wegbereiter für den Durchbruch
von Schlüsseltechnologien.
Wir bieten unseren Kunden aus Wachstums- und Zukunftsbranchen hocheffiziente
Produktionsprozesse und haben uns in den letzten Jahren erfolgreich als gefragter
Entwicklungspartner der Industrie etabliert.
Mit innovativen Produktionslösungen sind wir Wegbereiter für die Weiterentwicklung
und den Durchbruch von Schlüsseltechnologien der heutigen Welt mit unserer
umfassenden Expertise in der Automation, Laserbearbeitung, Vakuumbeschichtung,
Messtechnik, Nasschemie, im Drucken und Beschichten sowie in Rolle-zu-RolleProzessen.
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AUTOMATION
Warum MANZ?
Langjährige Erfahrung im Handling
von empfindlichen Materialien
Entwicklung eines Automationssystems für Reinraumbedingungen
Herausragende Kompetenz in der
Fertigungsplanung
Automation ist ein kritischer Erfolgsfaktor in der Produktion. Nur mit exzellenten
Automationslösungen sind eine reproduzierbar hohe Qualität, hohe Durchsätze,
geringe Produktionskosten und damit wettbewerbsfähige Preise möglich.
Mit nahezu 30 Jahren Erfahrung in zahlreichen Anwendungen zum Handling von
empfindlichen Materialien wie Siliziumwafern und Glas, aber auch Metall, Keramik,
Kunststoff und Papier, hat sich Manz in diesem Bereich eine marktführende Position
erarbeitet.
Nach der Entwicklung eines Pick-and-Place-Handlings mit SCARA-Roboter für elektronische Bauteile folgte 1990 die erste Automationslösung für kristalline Siliziumsolarzellen mit SCARA-Kinematik. 1994 wurde der erste sechsachsige LCD-Handlingroboter auf den asiatischen Markt gebracht. Das Automationssystem war konstruiert
für die vertikale Beladung einer PVD-Anlage unter Reinraumbedingungen.
Unser Leistungsspektrum beschränkt sich jedoch nicht auf verschiedene Robotertypen
mit schnellem, präzisem Handling und minimalen Bruchraten: Dank unserer herausragenden Kompetenz in der Fertigungsplanung verlassen sich unsere Kunden weltweit
auf unsere kompletten Cluster- und Total-Fab-Automationen mit Fördersegmenten und
Robotern die wir inklusive Entwicklungsarbeit, Software und Endmontage anbieten.
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Vierachsiger Highspeed-Roboter für das Handling von Kleinteilen
Automationssystem für Handling und
Lagerung von großen Glassubstraten
Anwendungen
Handling von Glasscheiben
• 6- oder 7-Achs-Roboter für vertikales und horizontales Handling von Substraten
• 3- oder 4-Achs-Roboter zum horizontalen Handling von Substraten oder Kassetten
• Kassettenpuffersystem (FIFO, FILO, LIFO usw.); Substrate können mit Inertgas
oder trockener Luft gespült werden, um höhere Lagerzeiten zu erreichen
Handling von kleinen Substraten
•Niedrigste Bruchraten durch spezielle Bernoulli-Greifersysteme
• Fest integrierte optische Kontrollsysteme für Ausrichtung und Inspektion, keine
mechanische Ausrichtung notwendig
Wichtigste Vorteile
•Langjährige Handlingerfahrung in den Bereichen LCD, Touchpanels, Photovoltaik und Lithium-Ionen-Batterien, auch unter Reinraumbedingungen
•Herausragende Kompetenz in der Fertigungsplanung
•Manz Line Controller als standardisierte Schnittstelle zum Kunden-MES
•Höchste Flexibilität durch modulares Konzept
•Sicheres Handling von Substraten mit niedrigsten Bruchraten und höchstem Ertrag
•Steigerung von Durchsatz und Effizienz
• Kosteneffektive Standardlösungen
Herausragende Kompetenz und
langjährige Erfahrung
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ROLLE-ZU-ROLLE
warum MANZ?
Bei vielen unserer Kunden aus verschiedensten Branchen geht der Trend hin zu Produkten, die ultradünn, flexibel, leicht und kosteneffizient sind. Flexible OLED-Displays,
Leiterplatten oder Solarzellen, die in alltägliche Geräte eingebaut sind, leistungsfähige
Akkupacks oder Schlagworte wie „Wearables“ oder „Internet der Dinge“ begegnen uns
immer häufiger. Flexible Elektronik ist ein fester Bestandteil dieser Entwicklungen und
gehört zu den wichtigsten Technologien des nächsten Jahrzehnts. Um diesen Herausforderungen zu begegnen, ersetzt die Elektronikindustrie konventionelle Substratmaterialien, wie beispielsweise Glas- und Siliziumwafer, durch flexible Materialien wie
Dünnglas, Metallfolien und Kunststoffsubstrate, die in der Regel als flexible Elektronik
(oder Flex-Leiterplatten) bezeichnet werden.
Jahrzehntelange Erfahrung in der
Entwicklung und Konstruktion von
Wickel- und Stapelsystemen
Manz verfügt über mehrere Jahrzehnte an Erfahrung in der Entwicklung und Konstruktion von Papierwickelanlagen und Wickel- und Stapelsystemen für die Produktion von
Lithium-Ionen-Batterien und Kondensatoren. Unsere Tochtergesellschaft Manz Italy
(ehemals Arcotronics) ist weltweiter Marktführer für Produktionslinien von Kondensatoren und Batterien.
Aufgrund dieser Expertise haben wir mit Erfolg eine Rolle-zu-Rolle (R2R)-Prozessplattform entwickelt, die in vorhandene Prozesslösungen integriert werden kann und in
verschiedenen Branchen breite Anwendung findet.
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Transport von Folie von Rolle zu Rolle in einer Slit Coating Anlage
Transport von Folie von Rolle zu Rolle
in einer Nasschemie-Anlage
Anwendungen
Unsere hochintegrierten R2R-Prozessanlagen können in den folgenden
Bereichen verwendet werden:
•R2R nasschemische Bearbeitung
•R2R chemische Badabscheidung
•R2R Slit Coating
•Roll-to-Sheet (R2S) Schneiden
•R2R Laminier- und Verkapselungsprozesse
•Siebdruck und Aerosoldruck auf flexiblen Substraten
•Laserstrukturierung und Laserablation auf flexiblen Substraten
•Optische Inspektion von flexiblen Substraten
• Verpackung, Versiegelung und Verschweißung von flexiblen Substratstapeln
•Trocknung und Aushärtung von flexiblen Substraten
Die folgenden flexiblen Materialien können auf- und abgewickelt werden:
• Kunststoffe und synthetische Materialien, z. B. PET, PE, PEN, PP etc.
•Metallfolien
•Papier
•Holz
•Gewebe (z.B. Textil, Faserverbundstrukturen)
• Prepregs (vorimprägnierte Fasern), z. B. Carbonfasern oder Glasfasern
Wichtigste Vorteile
•Geeignet für eine breite Vielfalt an Belastungen, Geschwindigkeiten,
Materialbreiten und dynamischen Bewegungsprofilen
•Schneller Austausch des Rollenmaterials
• Präzise und hochdynamische Prozesssteuerung für stabile Produktionsprozesse
(ausgezeichnete Zugspannungssteuerung, sogar bei ultradünnen Folien)
Wir bieten eine breite Vielfalt an
Belastungen, Geschwindigkeiten,
Materialbreiten und dynamischen
Bewegungsprofilen
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MESSTECHNIK
Warum MANZ?
Über 25 Jahre Erfahrung in
integrierten Messtechniksystemen
Messtechnik ersetzt und erweitert die menschliche Sichtkontrolle, um die Effizienz
und Qualität von Produktionslinien zu erhöhen und die Herstellungskosten zu senken.
Unsere Kunden verlassen sich seit über 25 Jahren auf unsere integrierten optischen
Kontrollsysteme, physikalischen Messsysteme und integrierten Analyseinstrumente.
Bei Manz bekommen Sie die Gesamtlösung aus einer Hand: Prozesstechnologie
inklusive Automation und integrierter Messtechnik. So stellen wir höchste Genauigkeit,
Präzision und Geschwindigkeit z. B. bei der Positionierung von Substraten, der Qualitätsüberwachung im Produktionsprozess und der automatischen Optimierung von
Prozessen sicher.
Alle relevanten Schritte innerhalb
einer Prozesskette werden abgedeckt
Unsere messtechnischen Lösungen decken dabei alle relevanten Schritte innerhalb
einer Prozesskette ab: von der Prüfung unmittelbar nach der Materialzufuhr, über in
einzelne Produktionsprozesse integrierte Systeme zur fortlaufenden Überwachung des
eingebundenen Materials bis hin zur Abschlusskontrolle.
Wir betreiben ein komplett ausgestattetes Messtechnik-Labor und sind somit in der
Lage, auch kurzfristige Studien durchzuführen. Mit unserer Expertise in der Programmierung von messtechnischen Systemen können optimal abgestimmte Messverfahren realisieren und so Herstellungsprozesse deutlich verbessern. Anhand schneller
Versuchsaufbauten können wir zudem kürzeste Entwicklungszeiten realisieren.
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Im Geschäftsbereich Solar misst der Inline-Zelltester (ICT) elektrische, elektronische, optische
und geometrische Merkmale zur Klassifizierung
Glasprüfung – vollflächiger Qualitätsscan
mit hoher Geschwindigkeit
ANWENDUNGEN
Glasprüfung mit IQ-Inspector
•Identifizierung von z. B. schadhaften Kanten, Fingerabdrücken, Fasern
oder sonstigen Verunreinigungen • Vollflächiger Qualitätsscan mit hoher Geschwindigkeit
Inline-Qualitätssystem mit Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA)
•Hochpräzise Messung der Elementkonzentrationen
• Analyse von Schichtdicke und Zusammensetzung
Qualitätssystem für Inspektion und Reparatur
•Lokalisierung der Fehlerposition
•Reparatur von Defekten in der Laserreparaturstation
Inline-Zellentester
•Integrierte Kontrolle von Oberflächen, Geometrie, Rissen, Dicke, Antireflex schicht, Farbe, Druckbild, Durchbiegung, elektrischen Parametern
• Automatische Klassifizierung anhand von frei konfigurierbaren Regeln
Elektrolumineszenzmessung
• Jeder Effekt, der die Effizienz beeinflusst, ist mit der gleichen Auswirkung
sichtbar
• Vollständige Abbildung der „elektrischen Beschaffenheit“ erlaubt frühzeitige
Gut-/Schlecht-Entscheidung vor der Übertragung zum nächsten Schritt
Wichtigste Vorteile
•Reduzierung der Herstellungskosten durch höhere Qualität und Ausbeute
•Maximale Leistungsfähigkeit durch sofortige Optimierung vor- und nachgelagerter
Prozesse wie Laser oder Druck
• Kurze Entwicklungszeit durch Rapid-Prototyping-Framework
Maximale Leistungsfähigkeit,
höhere Qualität und Ausbeute
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DRUCKEN &
BESCHICHTEN
Warum MANZ?
Druck- und Beschichtungslösungen von Manz sind in einer Vielzahl von Anwendungen
und Branchen einsetzbar. Manz verfügt über ausgezeichnete Fachkenntnisse im technischen Siebdruck, Inkjet-Druck und sowie im Slit Coating, insbesondere für die Solar-,
Elektronik- und Kommunikationsbranche.
Mit Druck- und Beschichtungstechnologien von Manz können flüssige Medien auf ein
Substrat aufgebracht werden; entweder mit Struktur (Siebdruck oder Inkjet-Druck) oder
vollflächig (Slit Coating). Dies können sein: Farben, Photolacke, Funktionale Pasten (für
leitfähige Schichten/Filterschichten), Funktionale Tinten.
Vollautomatisierte Drucklösungen
für höchste Genauigkeit und perfekte
Ergebnisse
Unsere vollautomatisierten Druck- und Beschichtungslösungen, in Verbindung mit integrierten Be- und Entladesystemen, optischer Kontrolle und Messsystemen, gewährleisten perfekte und äußerst präzise Ergebnisse mit geringsten Toleranzen.
Unsere Systeme sind für unterschiedlichste empfindliche Materialien konzipiert, wie
z. B. Glas, Folien, Keramik, Silizium-Wafer.
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Slit Coater
Siebdruck auf das Deckglas
eines Tablet-PCs
ANWENDUNGEN
• Siebdruck mit ±10 μm Genauigkeit
•Bedrucken von Substratgrößen bis 280 mm
•Durchsatz von bis zu 3.000 Stück pro Stunde
• Drucken von leitenden Schichten, z. B. auf kristallinen Silizium-Solarzellen
•Bedrucken von Touchscreen-Panels, Deckgläsern für Smartphones und Tablet-PCs sowie von Leiterplatten und flexiblen Leiterplatten (PCB und FCB)
• Slit Coating mit Gleichmäßigkeit innerhalb eines Spielraums von 3 %
•Beschichten mit Fotolack mit exzellenter Steuerung der Schichtgleichmäßigkeit
•stabiler Beschichtungsdruck von unter 0,15 kPa
•Reproduktionsgenauigkeit von 99,9 %
•Inline-Stage-System für Substrate der Generation 4.5 (730 mm x 920 mm)
Wichtigste Vorteile
• Höchste Präzision für beste Ergebnisse und gleichbleibend hohe Qualität
• Hoher Durchsatz für kosteneffiziente Produktion
• Hohe Maschinenverfügbarkeit aufgrund des robusten Designs
• Hochpräzises optisches Kontrollsystem für genaue Substratausrichtung
Beste Druckergebnisse und
kostengünstige Produktion
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LASER-
BEARBEITUNG
Warum MANZ?
Ob als unabhängiges „stand-alone“ System oder als Bestandteil einer vollintegrierten
Produktionslinie: Laserprozessanlagen von Manz sind sowohl bei Sonderanwendungen
als auch in der Massenproduktion immer die erste Wahl.
Laserbearbeitungsanlagen für
unterschiedlichste Bereiche
Unsere Ingenieure entwickeln auf Basis ihrer jahrzehntelangen Erfahrung neueste
Lasertechnologien und -verfahren und helfen somit unseren Kunden aus unterschiedlichsten Branchen, die Effizienz ihrer Produktionsprozesse signifikant zu steigern.
Auf diese Weise haben wir uns eine marktführende Position im Feld der Mikrobearbeitungs-Laserprozesse für unterschiedlichen Anwendungen erarbeitet. Dazu gehören das
Schneiden, Bohren, Strukturieren oder Schweißen von unterschiedlichen Materialien
wie Glas, Metalle, Keramik, Gewebe und Kunststoffe sowie die Ablation von Schichten
wie Verbindungshalbleitern, Metallen oder dielektrischen Schichten auch auf großen
Flächen.
Unser breites Spektrum an Bearbeitungsprozessen kann dabei wahlweise auch kombiniert werden: Abtragen, Auftragen, Trennen, Fügen, Modifizieren – bei Manz gibt es
alles aus einer Hand. Wie all unsere Maschinen sind auch unsere Laserprozessanlagen
mit optischen Systemen zur Online-Ausrichtung und Qualitätskontrolle ausgestattet.
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Kontaktöffnung von rückseitenpassivierten Schichten von kristallinen Solarzellen (PERC)
mittels Laser
Laserschneiden von Elektroden – Laserprozesse für verschiedenste Materialarten
Anwendungen
Wir bieten standardisierte Plattformen für verschiedenste Substratabmessungen an:
von Größen unter 100 mm × 100 mm bis zu 2.200 mm × 2.600 mm
Laserbohren
•Höchste Flexibilität: Bohren von anwenderdefinierten Formen in hartspröden
oder flexiblen Materialien
Laserablation
•Selektives Abtragen von Schichten:
•Flächige Randentschichtung sowie partielles Entschichten von
Dünnschicht-Solarmodulen
•Kontaktöffnung von rückseitenpassivierten Schichten von kristallinen
Solarzellen (PERC)
•Freilegen von beschichteten Elektroden vor dem Schweißen in Herstellung
von Batterien
Laserschneiden
• hochpräzise und schnelle Laserprozesse zum Schneiden von hartspröden,
flexiblen und plattenförmigen Materialien
•Substratgröße des zu bearbeitenden Materials von 2-Zoll-Wafern bis hin zu
Gläsern der Generation 8.5 (2,200 x 2,500 mm)
Strukturieren und Beschriften
•Hochpräzise Durchführung von lasergestützten Strukturierungen und Beschriftungen
Laserschweißen
• Konventionelles Laserschweißen
•Laserschweißen im Überlapp mittels hochfrequenter örtlicher Modulation
Höchste Flexibilität bei der Wahl
von Bohrform und Laserquelle
Wichtigste Vorteile
•Bewährte Technologie und Leistung, höchste Flexibilität durch modulares Konzept
•Höchste Präzision und Stabilität zur Steigerung von Ertrag und Qualität
des Endproduktes
•Entwicklung und Bau integrierter Laserbearbeitungssysteme inklusive Automation,
Ausrichtung mittels optischer Systeme und Qualitätskontrolle
Höchste Präzision und Stabilität
für höheren Ertrag
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NASSCHEMIE
Warum MANZ?
Marktführer für nasschemische
Prozesse mit fast 30 Jahren Erfahrung
Lösungen zum Reinigen,
Beschichten, Plating, Ätzen, Strippen
und Nachbearbeiten
Mit mehr als 3.000 installierten Anlagen und fast 30 Jahren Erfahrung ist Manz in
Taiwan und China Marktführer im Bereich nasschemischer Prozesse für die Herstellung von Displays und Touchpanels für Substratgrößen die vom Smartphone bis hin zu
einem Format von 2.200 x 2.500 mm (Gen 8.5) reichen. Darüber hinaus bietet Manz der
Photovoltaikindustrie nasschemische Prozesse für die kristalline Silizium- sowie für die
Dünnschichttechnologie.
Manz bietet Lösungen zum Reinigen, Beschichten, Plating (galvanisches Metallisieren), Ätzen und Strippen verschiedenster Substrate sowie zum Nachbearbeiten bzw.
Entfernen von kompletten Schichtsystemen zur Rückgewinnung wertvoller Materialien.
Dieses umfassende Leistungsspektrum wird durch die hohe Expertise im Handling von
Prozessen mit potenziell gefährlichen Chemikalien wie z. B. Flusssäure, Salpetersäure
oder Kalilauge komplettiert. Der modulare Aufbau unserer Anlagen sowie die Übertragbarkeit der Prozesse auf andere Branchen ermöglichen ein außergewöhnliches KostenNutzen-Verhältnis. Hohe Produktivzeit und Prozessreproduzierbarkeit gewährleisten
einen exzellenten Ertrag bei konstanter Produktqualität.
Unsere nasschemischen Prozessanlagen sind grundsätzlich für alle Inline-Prozesse
konzipiert. Sie eignen sich hervorragend zur Bearbeitung von Glassubstraten und Leiterplatten, Silizium-Wafern oder auch von flexiblen Folien (Reel to Reel-Verfahren). Bei
der Entwicklung der Prozesse, Maschinen und der zugehörigen Komponenten steht
eine hohe Prozessfunktionalität an oberster Stelle. Zudem achten wir insbesondere auf
die Verwendung robuster Komponenten, einfache Bedienung, hohe Zuverlässigkeit und
Sicherheitsstandards sowie hervorragende Produktionsausbeute. Selbst bei hohem
Durchsatz werden durch den auf Prozess und Substrat optimierten Material- und Chemietransport geringste Bruchraten erreicht und wechselseitige Verunreinigung oder
Verschleppung in der Anlage minimiert.
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Inline-System zur PSG-Entfernung und chemischen Kantenisolation von Photovoltaik-Wafern –
die nasschemischen Prozesse von Manz sind auf verschiedenste Anwendungen übertragbar
Reinigung von Glassubstraten in der
Displayproduktion mit hohem Durchsatz
Anwendungen
Reinigen
•Materialschonende und höchst effektive nasschemische Reinigungsanlagen
für feste und flexible Substrate
•Durchlaufanlagen zur Reinigung mit diversen Reinigungstechnologien,
wie z.B. Bürsten, Ultraschall, Megaschall, Hochdruckspülen
Beschichten und Plating
• Angebotspalette diverser Beschichtungs- und Metallisierungsverfahren reicht
vom stromlosen Metallisieren und galvanischen Verkupfern bei der Herstellung
von Leiterplatten bis hin zur chemischen Badabscheidung (CBD) in der Photovoltaik
bei der Herstellung von Dünnschicht-Solarmodulen.
Entwickeln, Ätzen, Strippen & Nachbearbeiten
•Manz bietet vollständig automatisierte Prozesslösungen für die Entwicklung,
das Ätzen und Stripping von Substraten
• Produktangebot beinhaltet außerdem nasschemische Prozessanlagen, die
beispielsweise für vollständiges Entfernen aller Schichten geeignet sind, so
dass Substrate recycelt werden können
Wichtigste Vorteile
•In der Massenproduktion bewährte Technologie
In der Massenproduktion bewährte
Technologie, verwendbar für
•Geeignet für unterschiedliche Substrate (starr oder flexibel),
unterschiedliche Substrate
Substratgrößen, Materialien und Dünnschichttechniken
Investment & establishment of
Acquired first order of G8.5
• Prozessentwicklung und -optimierung, Anlagendesign, -simulation Manz China Suzhou Ltd. in Suzhou
copper etching equipment
und -konstruktion sowie Service aus einer Hand
New District, China for the production
•Geringste Bruchraten
durch sanften Materialtransport
Sanfter
Materialtransport
–
site of solar, LCD & touch
panel
and
Awardedund
thehöchste
“2009Qualität
Industrial
niedrigste Bruchraten
PCB bei
process equipments
Excellence
Award” oder Verschleppung in der Anlage
• Keine wechselseitige
Verunreinigung
hohem Durchsatz
2009
2011
•Standardisierte Module für schnelle Auslieferung und gute Anpassbarkeit
bei optimalem Preis-Leistungs-Verhältnis 2008
Became a member of Manz Group,
renamed company name to “Manz
Intech Machines Co., Ltd.”
Acquired first order of Photovoltaic
process equipment
Won the “Innovative
2010
Renamed to Manz Taiwan Ltd.
Officially
2012
The production site of
Manz China Suzhou Ltd.
amounting 20,000 square
meters officially inaugurated
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VAKUUM-
BESCHICHTUNG
Warum MANZ?
Entwicklung neuer Produkte
für Serienfertigung oder
Pilotproduktion – stets mit Fokus
auf Effizienz und Kosten
Mitarbeiter mit über 20 Jahren
Erfahrung in der Vakuumtechnologie
Die Vakuumtechnologie findet in vielen Hightech-Märkten Verwendung. Sie ist der
Schlüssel zu bahnbrechenden Innovationen bei der Herstellung von Solarzellen und
-modulen, Displays und Touchpanels, Lithium-Ionen-Batterien, OLEDs und vielen weiteren zukunftsträchtigen Produkten.
Unsere Kernkompetenz liegt in der Entwicklung von neuartigen Vakuumbeschichtungsanlagen, die sowohl in der Serienfertigung als auch in Pilotproduktionen und
bei Laboranwendungen zum Einsatz kommen. Die schnelle Umsetzung individueller
Kundenanforderungen in präzise und leistungsstarke Anlagen geht bei Manz Hand in
Hand mit dem Fokus auf geringe Produktionskosten. Unsere Vakuumanlagen erfüllen die höchsten Ansprüche an Qualität und Ertrag. Vakuumanlagen von Manz sind
perfekt auf vor- und nachgelagerte Prozesse abgestimmt. Dies stellen wir mit unserer
langjährigen Erfahrung in den Bereichen Messtechnik, Bildverarbeitung, Lasertechnologie, Nasschemie und präzisen Automationssystemen sicher.
Die Region Hanau ist das wichtigste Zentrum für Vakuumtechnologie in Deutschland.
Seit 2010 ist dort, in Karlstein am Main, das Manz-Entwicklungszentrum für Vakuumtechnologie angesiedelt. Die rund 50 Experten verfügen teilweise über mehr als 20
Jahre Erfahrung in der Vakuumtechnologie und entwickeln Quellentechnologien und
neue Prozessanlagen. Unser weltweit einzigartiges Produktportfolio in der Vakuumtechnologie umfasst vertikale und horizontale Inline- sowie Batch-Systeme für die drei
Abscheideverfahren PECVD, Sputtern und Verdampfen. Die extrem dünnen Schichten
(von wenigen nm bis hin zu mehreren µm Dicke) können sowohl auf starre als auch
flexible Substrate abgeschieden werden.
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Manz-Inline-Sputteranlage (ISS), Rotary Magnetrons – das partikelfreie Transportsystem
ermöglicht eine augezeichnete, gleichförmige Beschichtung bei bestmöglichem Ertrag
PECVD-Beschichtung – Geringste Betriebskosten bei maximaler Gasnutzung
Anwendungen
Sputteranwendungen
• Skalierbare Inline-Sputteranlagen für Display-, Solar- und OLED-Substrate von
Skalierbare Zerstäubungsanlagen
3,5 Zoll Diagonale bis zu 1.500 × 1.850 mm²
• Neueste rotierende (DC, pDC, MF) und planare (DC, pDC, MF, RF) Kathoden
• Einzigartiges partikelfreies Transportsystem für exzellente Schichtqualität
• Geeignete Beschichtungen:Metallische Schichten: Mo, Al, Ag, Cu, Ti, …
Isolierende Schichten: SiO2, Nb2O5, Al2O3, TiO2, …
Transparent leitfähige Schichten: ZnO, ZnO:Al, ITO,…
PECVD-Anwendungen
• Vollautomatisiertes System zur plasmagestützten chemischen Gasphasenabscheidung •Innovatives Manz-„Coating Carrier System“ (Patent angemeldet):
keinerlei Abschattungen und Partikelablagerungen
Leistungsstarke Systeme für
PECVD- und PVD-Prozesse
• Anpassbare Schichteigenschaften für vielfältige Anwendungsgebiete
•Geeignete Beschichtungen: SiN, SiO2, SiOxNy, SiC, Al2O3 und Schichtstapel
Verdampfungsanwendungen
•Inline-Prozesse für Hochtemperaturabscheidungen wie die CIGS-Koverdampfung
•Geeignete Beschichtungen: Metalle (z. B. Cu, Ga, In)
• Innovative Quelltechnologie für Inline-Abscheidungssysteme
Andere Vakuumanwendungen
• Vollautomatisiertes Füll- und Entgasungssystem für die Produktion von Li-Ion-Batterien
•Maßgefertigte Spezialwerkzeuge (z. B. Ionenstrahl-Sputtering) für Pilotproduktionen
•Maßgefertigte Spezialwerkzeuge (z. B. Ionenquellenvorbehandlung) für F&E-Labore
Wichtigste Vorteile
• Wirtschaftliches Systemkonzept mit geringen Betriebskosten aufgrund hoher
Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit sowie stabilen Produktionsbedingungen
•Neuartige patentierte Quellen- und Bearbeitungstechnologien
•Zukunftssichere Systemplattform dank flexibler Verwendung und Anpassung an Geringe Betriebskosten und
zukunftssichere Systemplattformen
zukünftige Anforderungen der Kunden
• Weltweit einziger Anbieter von Systemen bestehend aus Vakuumtechnologie,
Automation und Nasschemie
08/2015
MANZ AG
Manz AG
Steigäckerstraße 5
72768 Reutlingen
Deutschland
Tel.
Fax
+49 7121 9000-0
+49 7121 9000-99
www.manz.com
[email protected]