Technologische Kernkompetenzen PDF
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KERNKOMPETENZEN MANZ KERNKOMPETENZEN EFFIZIENTE SYSTEMLÖSUNGEN für anspruchsvolle anwendungen in zahlreichen industrien KERNKOMPETENZEN INHALT Passion for Efficiency – Effizienz durch Leidenschaft 3 Unsere Kerntechnologien 4 Automation 6 Rolle-zu-rolle 8 messtechnik 10 drucken & beschichten 12 Laserbearbeitung 14 Nasschemie 16 Vakuumbeschichtung 18 3 PASSION FOR EFFICIENCY Die in Deutschland ansässige Manz AG ist einer der weltweit führenden Technologieanbieter zur Herstellung von elektronischen Bauteilen und Geräten, wie Smartphones und Tablet-PCs, von Lithium-Ionen-Batterien sowie von Solarzellen und -modulen. Produktionsstätten in Deutschland, der Slowakei, Ungarn, Italien, China und Taiwan sowie die weltweiten Service-Niederlassungen gewährleisten kurze Reaktions- und Lieferzeiten. Manz bietet seinen Kunden aus Wachstums- und Zukunftsbranchen hocheffiziente Produktionsprozesse und hat sich in den letzten Jahren erfolgreich als gefragter Entwicklungspartner der Industrie etabliert. Mit innovativen Produktionslösungen ist die Manz-Gruppe Wegbereiter für die Weiterentwicklung und den Durchbruch von Schlüsseltechnologien der heutigen Welt wie nachhaltige Energieerzeugung, Displays und Geräte für globale Kommunikationsbedürfnisse und E-Mobilität. Mit dem Claim „passion for efficiency – Effizienz durch Leidenschaft“ gibt Manz das Leistungsversprechen, seinen in wichtigen Zukunftsbranchen tätigen Kunden immer effizientere Produktionsanlagen anzubieten. Das Unternehmen trägt als Maschinenbauer wesentlich dazu bei, die Produktionskosten der Endprodukte zu senken und diese großen Käuferschichten weltweit zugänglich zu machen. Manz optimiert dafür kontinuierlich seine Angebotspalette. Ziel sind höchst zuverlässige Produktionsprozesse auf Kundenseite und immer bessere Leistungsparameter der auf Manz-Anlagen gefertigten Produkte. Mit umfassender Expertise in der Automation, Laserbearbeitung, Vakuumbeschichtung, Messtechnik, Nasschemie, im Drucken und Beschichten sowie in Rolle-zu-Rolle-Prozessen fokussiert sich die Manz AG auf die Geschäftsbereiche „Electronic Components“, „Electronic Devices“, „Solar“, „Energy Storage“ und „New Business“. 4 laserbearbeitung rolle-zu-rolle • Electronic Components • Electronic Devices • Solar • Energy Storage • New Business • Electronic Components • Electronic Devices • Solar • Energy Storage • New Business automation • Electronic Components • Electronic Devices • Solar • Energy Storage • New Business drucken & beschichten unsere kerntechnologien • Electronic Components • Electronic Devices • Solar • New Business messtechnik • Electronic Components • Electronic Devices • Solar • Energy Storage • New Business nasschemie • Electronic Components • Electronic Devices • Solar • New Business vakuumbeschichtung • Electronic Components • Electronic Devices • Solar • Energy Storage • New Business 5 Wir sind gefragter Entwicklungspartner und Wegbereiter für den Durchbruch von Schlüsseltechnologien. Wir bieten unseren Kunden aus Wachstums- und Zukunftsbranchen hocheffiziente Produktionsprozesse und haben uns in den letzten Jahren erfolgreich als gefragter Entwicklungspartner der Industrie etabliert. Mit innovativen Produktionslösungen sind wir Wegbereiter für die Weiterentwicklung und den Durchbruch von Schlüsseltechnologien der heutigen Welt mit unserer umfassenden Expertise in der Automation, Laserbearbeitung, Vakuumbeschichtung, Messtechnik, Nasschemie, im Drucken und Beschichten sowie in Rolle-zu-RolleProzessen. 6 AUTOMATION Warum MANZ? Langjährige Erfahrung im Handling von empfindlichen Materialien Entwicklung eines Automationssystems für Reinraumbedingungen Herausragende Kompetenz in der Fertigungsplanung Automation ist ein kritischer Erfolgsfaktor in der Produktion. Nur mit exzellenten Automationslösungen sind eine reproduzierbar hohe Qualität, hohe Durchsätze, geringe Produktionskosten und damit wettbewerbsfähige Preise möglich. Mit nahezu 30 Jahren Erfahrung in zahlreichen Anwendungen zum Handling von empfindlichen Materialien wie Siliziumwafern und Glas, aber auch Metall, Keramik, Kunststoff und Papier, hat sich Manz in diesem Bereich eine marktführende Position erarbeitet. Nach der Entwicklung eines Pick-and-Place-Handlings mit SCARA-Roboter für elektronische Bauteile folgte 1990 die erste Automationslösung für kristalline Siliziumsolarzellen mit SCARA-Kinematik. 1994 wurde der erste sechsachsige LCD-Handlingroboter auf den asiatischen Markt gebracht. Das Automationssystem war konstruiert für die vertikale Beladung einer PVD-Anlage unter Reinraumbedingungen. Unser Leistungsspektrum beschränkt sich jedoch nicht auf verschiedene Robotertypen mit schnellem, präzisem Handling und minimalen Bruchraten: Dank unserer herausragenden Kompetenz in der Fertigungsplanung verlassen sich unsere Kunden weltweit auf unsere kompletten Cluster- und Total-Fab-Automationen mit Fördersegmenten und Robotern die wir inklusive Entwicklungsarbeit, Software und Endmontage anbieten. 7 Vierachsiger Highspeed-Roboter für das Handling von Kleinteilen Automationssystem für Handling und Lagerung von großen Glassubstraten Anwendungen Handling von Glasscheiben • 6- oder 7-Achs-Roboter für vertikales und horizontales Handling von Substraten • 3- oder 4-Achs-Roboter zum horizontalen Handling von Substraten oder Kassetten • Kassettenpuffersystem (FIFO, FILO, LIFO usw.); Substrate können mit Inertgas oder trockener Luft gespült werden, um höhere Lagerzeiten zu erreichen Handling von kleinen Substraten •Niedrigste Bruchraten durch spezielle Bernoulli-Greifersysteme • Fest integrierte optische Kontrollsysteme für Ausrichtung und Inspektion, keine mechanische Ausrichtung notwendig Wichtigste Vorteile •Langjährige Handlingerfahrung in den Bereichen LCD, Touchpanels, Photovoltaik und Lithium-Ionen-Batterien, auch unter Reinraumbedingungen •Herausragende Kompetenz in der Fertigungsplanung •Manz Line Controller als standardisierte Schnittstelle zum Kunden-MES •Höchste Flexibilität durch modulares Konzept •Sicheres Handling von Substraten mit niedrigsten Bruchraten und höchstem Ertrag •Steigerung von Durchsatz und Effizienz • Kosteneffektive Standardlösungen Herausragende Kompetenz und langjährige Erfahrung 8 ROLLE-ZU-ROLLE warum MANZ? Bei vielen unserer Kunden aus verschiedensten Branchen geht der Trend hin zu Produkten, die ultradünn, flexibel, leicht und kosteneffizient sind. Flexible OLED-Displays, Leiterplatten oder Solarzellen, die in alltägliche Geräte eingebaut sind, leistungsfähige Akkupacks oder Schlagworte wie „Wearables“ oder „Internet der Dinge“ begegnen uns immer häufiger. Flexible Elektronik ist ein fester Bestandteil dieser Entwicklungen und gehört zu den wichtigsten Technologien des nächsten Jahrzehnts. Um diesen Herausforderungen zu begegnen, ersetzt die Elektronikindustrie konventionelle Substratmaterialien, wie beispielsweise Glas- und Siliziumwafer, durch flexible Materialien wie Dünnglas, Metallfolien und Kunststoffsubstrate, die in der Regel als flexible Elektronik (oder Flex-Leiterplatten) bezeichnet werden. Jahrzehntelange Erfahrung in der Entwicklung und Konstruktion von Wickel- und Stapelsystemen Manz verfügt über mehrere Jahrzehnte an Erfahrung in der Entwicklung und Konstruktion von Papierwickelanlagen und Wickel- und Stapelsystemen für die Produktion von Lithium-Ionen-Batterien und Kondensatoren. Unsere Tochtergesellschaft Manz Italy (ehemals Arcotronics) ist weltweiter Marktführer für Produktionslinien von Kondensatoren und Batterien. Aufgrund dieser Expertise haben wir mit Erfolg eine Rolle-zu-Rolle (R2R)-Prozessplattform entwickelt, die in vorhandene Prozesslösungen integriert werden kann und in verschiedenen Branchen breite Anwendung findet. 9 Transport von Folie von Rolle zu Rolle in einer Slit Coating Anlage Transport von Folie von Rolle zu Rolle in einer Nasschemie-Anlage Anwendungen Unsere hochintegrierten R2R-Prozessanlagen können in den folgenden Bereichen verwendet werden: •R2R nasschemische Bearbeitung •R2R chemische Badabscheidung •R2R Slit Coating •Roll-to-Sheet (R2S) Schneiden •R2R Laminier- und Verkapselungsprozesse •Siebdruck und Aerosoldruck auf flexiblen Substraten •Laserstrukturierung und Laserablation auf flexiblen Substraten •Optische Inspektion von flexiblen Substraten • Verpackung, Versiegelung und Verschweißung von flexiblen Substratstapeln •Trocknung und Aushärtung von flexiblen Substraten Die folgenden flexiblen Materialien können auf- und abgewickelt werden: • Kunststoffe und synthetische Materialien, z. B. PET, PE, PEN, PP etc. •Metallfolien •Papier •Holz •Gewebe (z.B. Textil, Faserverbundstrukturen) • Prepregs (vorimprägnierte Fasern), z. B. Carbonfasern oder Glasfasern Wichtigste Vorteile •Geeignet für eine breite Vielfalt an Belastungen, Geschwindigkeiten, Materialbreiten und dynamischen Bewegungsprofilen •Schneller Austausch des Rollenmaterials • Präzise und hochdynamische Prozesssteuerung für stabile Produktionsprozesse (ausgezeichnete Zugspannungssteuerung, sogar bei ultradünnen Folien) Wir bieten eine breite Vielfalt an Belastungen, Geschwindigkeiten, Materialbreiten und dynamischen Bewegungsprofilen 10 MESSTECHNIK Warum MANZ? Über 25 Jahre Erfahrung in integrierten Messtechniksystemen Messtechnik ersetzt und erweitert die menschliche Sichtkontrolle, um die Effizienz und Qualität von Produktionslinien zu erhöhen und die Herstellungskosten zu senken. Unsere Kunden verlassen sich seit über 25 Jahren auf unsere integrierten optischen Kontrollsysteme, physikalischen Messsysteme und integrierten Analyseinstrumente. Bei Manz bekommen Sie die Gesamtlösung aus einer Hand: Prozesstechnologie inklusive Automation und integrierter Messtechnik. So stellen wir höchste Genauigkeit, Präzision und Geschwindigkeit z. B. bei der Positionierung von Substraten, der Qualitätsüberwachung im Produktionsprozess und der automatischen Optimierung von Prozessen sicher. Alle relevanten Schritte innerhalb einer Prozesskette werden abgedeckt Unsere messtechnischen Lösungen decken dabei alle relevanten Schritte innerhalb einer Prozesskette ab: von der Prüfung unmittelbar nach der Materialzufuhr, über in einzelne Produktionsprozesse integrierte Systeme zur fortlaufenden Überwachung des eingebundenen Materials bis hin zur Abschlusskontrolle. Wir betreiben ein komplett ausgestattetes Messtechnik-Labor und sind somit in der Lage, auch kurzfristige Studien durchzuführen. Mit unserer Expertise in der Programmierung von messtechnischen Systemen können optimal abgestimmte Messverfahren realisieren und so Herstellungsprozesse deutlich verbessern. Anhand schneller Versuchsaufbauten können wir zudem kürzeste Entwicklungszeiten realisieren. 11 Im Geschäftsbereich Solar misst der Inline-Zelltester (ICT) elektrische, elektronische, optische und geometrische Merkmale zur Klassifizierung Glasprüfung – vollflächiger Qualitätsscan mit hoher Geschwindigkeit ANWENDUNGEN Glasprüfung mit IQ-Inspector •Identifizierung von z. B. schadhaften Kanten, Fingerabdrücken, Fasern oder sonstigen Verunreinigungen • Vollflächiger Qualitätsscan mit hoher Geschwindigkeit Inline-Qualitätssystem mit Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) •Hochpräzise Messung der Elementkonzentrationen • Analyse von Schichtdicke und Zusammensetzung Qualitätssystem für Inspektion und Reparatur •Lokalisierung der Fehlerposition •Reparatur von Defekten in der Laserreparaturstation Inline-Zellentester •Integrierte Kontrolle von Oberflächen, Geometrie, Rissen, Dicke, Antireflex schicht, Farbe, Druckbild, Durchbiegung, elektrischen Parametern • Automatische Klassifizierung anhand von frei konfigurierbaren Regeln Elektrolumineszenzmessung • Jeder Effekt, der die Effizienz beeinflusst, ist mit der gleichen Auswirkung sichtbar • Vollständige Abbildung der „elektrischen Beschaffenheit“ erlaubt frühzeitige Gut-/Schlecht-Entscheidung vor der Übertragung zum nächsten Schritt Wichtigste Vorteile •Reduzierung der Herstellungskosten durch höhere Qualität und Ausbeute •Maximale Leistungsfähigkeit durch sofortige Optimierung vor- und nachgelagerter Prozesse wie Laser oder Druck • Kurze Entwicklungszeit durch Rapid-Prototyping-Framework Maximale Leistungsfähigkeit, höhere Qualität und Ausbeute 12 DRUCKEN & BESCHICHTEN Warum MANZ? Druck- und Beschichtungslösungen von Manz sind in einer Vielzahl von Anwendungen und Branchen einsetzbar. Manz verfügt über ausgezeichnete Fachkenntnisse im technischen Siebdruck, Inkjet-Druck und sowie im Slit Coating, insbesondere für die Solar-, Elektronik- und Kommunikationsbranche. Mit Druck- und Beschichtungstechnologien von Manz können flüssige Medien auf ein Substrat aufgebracht werden; entweder mit Struktur (Siebdruck oder Inkjet-Druck) oder vollflächig (Slit Coating). Dies können sein: Farben, Photolacke, Funktionale Pasten (für leitfähige Schichten/Filterschichten), Funktionale Tinten. Vollautomatisierte Drucklösungen für höchste Genauigkeit und perfekte Ergebnisse Unsere vollautomatisierten Druck- und Beschichtungslösungen, in Verbindung mit integrierten Be- und Entladesystemen, optischer Kontrolle und Messsystemen, gewährleisten perfekte und äußerst präzise Ergebnisse mit geringsten Toleranzen. Unsere Systeme sind für unterschiedlichste empfindliche Materialien konzipiert, wie z. B. Glas, Folien, Keramik, Silizium-Wafer. 13 Slit Coater Siebdruck auf das Deckglas eines Tablet-PCs ANWENDUNGEN • Siebdruck mit ±10 μm Genauigkeit •Bedrucken von Substratgrößen bis 280 mm •Durchsatz von bis zu 3.000 Stück pro Stunde • Drucken von leitenden Schichten, z. B. auf kristallinen Silizium-Solarzellen •Bedrucken von Touchscreen-Panels, Deckgläsern für Smartphones und Tablet-PCs sowie von Leiterplatten und flexiblen Leiterplatten (PCB und FCB) • Slit Coating mit Gleichmäßigkeit innerhalb eines Spielraums von 3 % •Beschichten mit Fotolack mit exzellenter Steuerung der Schichtgleichmäßigkeit •stabiler Beschichtungsdruck von unter 0,15 kPa •Reproduktionsgenauigkeit von 99,9 % •Inline-Stage-System für Substrate der Generation 4.5 (730 mm x 920 mm) Wichtigste Vorteile • Höchste Präzision für beste Ergebnisse und gleichbleibend hohe Qualität • Hoher Durchsatz für kosteneffiziente Produktion • Hohe Maschinenverfügbarkeit aufgrund des robusten Designs • Hochpräzises optisches Kontrollsystem für genaue Substratausrichtung Beste Druckergebnisse und kostengünstige Produktion 14 LASER- BEARBEITUNG Warum MANZ? Ob als unabhängiges „stand-alone“ System oder als Bestandteil einer vollintegrierten Produktionslinie: Laserprozessanlagen von Manz sind sowohl bei Sonderanwendungen als auch in der Massenproduktion immer die erste Wahl. Laserbearbeitungsanlagen für unterschiedlichste Bereiche Unsere Ingenieure entwickeln auf Basis ihrer jahrzehntelangen Erfahrung neueste Lasertechnologien und -verfahren und helfen somit unseren Kunden aus unterschiedlichsten Branchen, die Effizienz ihrer Produktionsprozesse signifikant zu steigern. Auf diese Weise haben wir uns eine marktführende Position im Feld der Mikrobearbeitungs-Laserprozesse für unterschiedlichen Anwendungen erarbeitet. Dazu gehören das Schneiden, Bohren, Strukturieren oder Schweißen von unterschiedlichen Materialien wie Glas, Metalle, Keramik, Gewebe und Kunststoffe sowie die Ablation von Schichten wie Verbindungshalbleitern, Metallen oder dielektrischen Schichten auch auf großen Flächen. Unser breites Spektrum an Bearbeitungsprozessen kann dabei wahlweise auch kombiniert werden: Abtragen, Auftragen, Trennen, Fügen, Modifizieren – bei Manz gibt es alles aus einer Hand. Wie all unsere Maschinen sind auch unsere Laserprozessanlagen mit optischen Systemen zur Online-Ausrichtung und Qualitätskontrolle ausgestattet. 15 Kontaktöffnung von rückseitenpassivierten Schichten von kristallinen Solarzellen (PERC) mittels Laser Laserschneiden von Elektroden – Laserprozesse für verschiedenste Materialarten Anwendungen Wir bieten standardisierte Plattformen für verschiedenste Substratabmessungen an: von Größen unter 100 mm × 100 mm bis zu 2.200 mm × 2.600 mm Laserbohren •Höchste Flexibilität: Bohren von anwenderdefinierten Formen in hartspröden oder flexiblen Materialien Laserablation •Selektives Abtragen von Schichten: •Flächige Randentschichtung sowie partielles Entschichten von Dünnschicht-Solarmodulen •Kontaktöffnung von rückseitenpassivierten Schichten von kristallinen Solarzellen (PERC) •Freilegen von beschichteten Elektroden vor dem Schweißen in Herstellung von Batterien Laserschneiden • hochpräzise und schnelle Laserprozesse zum Schneiden von hartspröden, flexiblen und plattenförmigen Materialien •Substratgröße des zu bearbeitenden Materials von 2-Zoll-Wafern bis hin zu Gläsern der Generation 8.5 (2,200 x 2,500 mm) Strukturieren und Beschriften •Hochpräzise Durchführung von lasergestützten Strukturierungen und Beschriftungen Laserschweißen • Konventionelles Laserschweißen •Laserschweißen im Überlapp mittels hochfrequenter örtlicher Modulation Höchste Flexibilität bei der Wahl von Bohrform und Laserquelle Wichtigste Vorteile •Bewährte Technologie und Leistung, höchste Flexibilität durch modulares Konzept •Höchste Präzision und Stabilität zur Steigerung von Ertrag und Qualität des Endproduktes •Entwicklung und Bau integrierter Laserbearbeitungssysteme inklusive Automation, Ausrichtung mittels optischer Systeme und Qualitätskontrolle Höchste Präzision und Stabilität für höheren Ertrag 16 NASSCHEMIE Warum MANZ? Marktführer für nasschemische Prozesse mit fast 30 Jahren Erfahrung Lösungen zum Reinigen, Beschichten, Plating, Ätzen, Strippen und Nachbearbeiten Mit mehr als 3.000 installierten Anlagen und fast 30 Jahren Erfahrung ist Manz in Taiwan und China Marktführer im Bereich nasschemischer Prozesse für die Herstellung von Displays und Touchpanels für Substratgrößen die vom Smartphone bis hin zu einem Format von 2.200 x 2.500 mm (Gen 8.5) reichen. Darüber hinaus bietet Manz der Photovoltaikindustrie nasschemische Prozesse für die kristalline Silizium- sowie für die Dünnschichttechnologie. Manz bietet Lösungen zum Reinigen, Beschichten, Plating (galvanisches Metallisieren), Ätzen und Strippen verschiedenster Substrate sowie zum Nachbearbeiten bzw. Entfernen von kompletten Schichtsystemen zur Rückgewinnung wertvoller Materialien. Dieses umfassende Leistungsspektrum wird durch die hohe Expertise im Handling von Prozessen mit potenziell gefährlichen Chemikalien wie z. B. Flusssäure, Salpetersäure oder Kalilauge komplettiert. Der modulare Aufbau unserer Anlagen sowie die Übertragbarkeit der Prozesse auf andere Branchen ermöglichen ein außergewöhnliches KostenNutzen-Verhältnis. Hohe Produktivzeit und Prozessreproduzierbarkeit gewährleisten einen exzellenten Ertrag bei konstanter Produktqualität. Unsere nasschemischen Prozessanlagen sind grundsätzlich für alle Inline-Prozesse konzipiert. Sie eignen sich hervorragend zur Bearbeitung von Glassubstraten und Leiterplatten, Silizium-Wafern oder auch von flexiblen Folien (Reel to Reel-Verfahren). Bei der Entwicklung der Prozesse, Maschinen und der zugehörigen Komponenten steht eine hohe Prozessfunktionalität an oberster Stelle. Zudem achten wir insbesondere auf die Verwendung robuster Komponenten, einfache Bedienung, hohe Zuverlässigkeit und Sicherheitsstandards sowie hervorragende Produktionsausbeute. Selbst bei hohem Durchsatz werden durch den auf Prozess und Substrat optimierten Material- und Chemietransport geringste Bruchraten erreicht und wechselseitige Verunreinigung oder Verschleppung in der Anlage minimiert. 17 Inline-System zur PSG-Entfernung und chemischen Kantenisolation von Photovoltaik-Wafern – die nasschemischen Prozesse von Manz sind auf verschiedenste Anwendungen übertragbar Reinigung von Glassubstraten in der Displayproduktion mit hohem Durchsatz Anwendungen Reinigen •Materialschonende und höchst effektive nasschemische Reinigungsanlagen für feste und flexible Substrate •Durchlaufanlagen zur Reinigung mit diversen Reinigungstechnologien, wie z.B. Bürsten, Ultraschall, Megaschall, Hochdruckspülen Beschichten und Plating • Angebotspalette diverser Beschichtungs- und Metallisierungsverfahren reicht vom stromlosen Metallisieren und galvanischen Verkupfern bei der Herstellung von Leiterplatten bis hin zur chemischen Badabscheidung (CBD) in der Photovoltaik bei der Herstellung von Dünnschicht-Solarmodulen. Entwickeln, Ätzen, Strippen & Nachbearbeiten •Manz bietet vollständig automatisierte Prozesslösungen für die Entwicklung, das Ätzen und Stripping von Substraten • Produktangebot beinhaltet außerdem nasschemische Prozessanlagen, die beispielsweise für vollständiges Entfernen aller Schichten geeignet sind, so dass Substrate recycelt werden können Wichtigste Vorteile •In der Massenproduktion bewährte Technologie In der Massenproduktion bewährte Technologie, verwendbar für •Geeignet für unterschiedliche Substrate (starr oder flexibel), unterschiedliche Substrate Substratgrößen, Materialien und Dünnschichttechniken Investment & establishment of Acquired first order of G8.5 • Prozessentwicklung und -optimierung, Anlagendesign, -simulation Manz China Suzhou Ltd. in Suzhou copper etching equipment und -konstruktion sowie Service aus einer Hand New District, China for the production •Geringste Bruchraten durch sanften Materialtransport Sanfter Materialtransport – site of solar, LCD & touch panel and Awardedund thehöchste “2009Qualität Industrial niedrigste Bruchraten PCB bei process equipments Excellence Award” oder Verschleppung in der Anlage • Keine wechselseitige Verunreinigung hohem Durchsatz 2009 2011 •Standardisierte Module für schnelle Auslieferung und gute Anpassbarkeit bei optimalem Preis-Leistungs-Verhältnis 2008 Became a member of Manz Group, renamed company name to “Manz Intech Machines Co., Ltd.” Acquired first order of Photovoltaic process equipment Won the “Innovative 2010 Renamed to Manz Taiwan Ltd. Officially 2012 The production site of Manz China Suzhou Ltd. amounting 20,000 square meters officially inaugurated 18 VAKUUM- BESCHICHTUNG Warum MANZ? Entwicklung neuer Produkte für Serienfertigung oder Pilotproduktion – stets mit Fokus auf Effizienz und Kosten Mitarbeiter mit über 20 Jahren Erfahrung in der Vakuumtechnologie Die Vakuumtechnologie findet in vielen Hightech-Märkten Verwendung. Sie ist der Schlüssel zu bahnbrechenden Innovationen bei der Herstellung von Solarzellen und -modulen, Displays und Touchpanels, Lithium-Ionen-Batterien, OLEDs und vielen weiteren zukunftsträchtigen Produkten. Unsere Kernkompetenz liegt in der Entwicklung von neuartigen Vakuumbeschichtungsanlagen, die sowohl in der Serienfertigung als auch in Pilotproduktionen und bei Laboranwendungen zum Einsatz kommen. Die schnelle Umsetzung individueller Kundenanforderungen in präzise und leistungsstarke Anlagen geht bei Manz Hand in Hand mit dem Fokus auf geringe Produktionskosten. Unsere Vakuumanlagen erfüllen die höchsten Ansprüche an Qualität und Ertrag. Vakuumanlagen von Manz sind perfekt auf vor- und nachgelagerte Prozesse abgestimmt. Dies stellen wir mit unserer langjährigen Erfahrung in den Bereichen Messtechnik, Bildverarbeitung, Lasertechnologie, Nasschemie und präzisen Automationssystemen sicher. Die Region Hanau ist das wichtigste Zentrum für Vakuumtechnologie in Deutschland. Seit 2010 ist dort, in Karlstein am Main, das Manz-Entwicklungszentrum für Vakuumtechnologie angesiedelt. Die rund 50 Experten verfügen teilweise über mehr als 20 Jahre Erfahrung in der Vakuumtechnologie und entwickeln Quellentechnologien und neue Prozessanlagen. Unser weltweit einzigartiges Produktportfolio in der Vakuumtechnologie umfasst vertikale und horizontale Inline- sowie Batch-Systeme für die drei Abscheideverfahren PECVD, Sputtern und Verdampfen. Die extrem dünnen Schichten (von wenigen nm bis hin zu mehreren µm Dicke) können sowohl auf starre als auch flexible Substrate abgeschieden werden. 19 Manz-Inline-Sputteranlage (ISS), Rotary Magnetrons – das partikelfreie Transportsystem ermöglicht eine augezeichnete, gleichförmige Beschichtung bei bestmöglichem Ertrag PECVD-Beschichtung – Geringste Betriebskosten bei maximaler Gasnutzung Anwendungen Sputteranwendungen • Skalierbare Inline-Sputteranlagen für Display-, Solar- und OLED-Substrate von Skalierbare Zerstäubungsanlagen 3,5 Zoll Diagonale bis zu 1.500 × 1.850 mm² • Neueste rotierende (DC, pDC, MF) und planare (DC, pDC, MF, RF) Kathoden • Einzigartiges partikelfreies Transportsystem für exzellente Schichtqualität • Geeignete Beschichtungen:Metallische Schichten: Mo, Al, Ag, Cu, Ti, … Isolierende Schichten: SiO2, Nb2O5, Al2O3, TiO2, … Transparent leitfähige Schichten: ZnO, ZnO:Al, ITO,… PECVD-Anwendungen • Vollautomatisiertes System zur plasmagestützten chemischen Gasphasenabscheidung •Innovatives Manz-„Coating Carrier System“ (Patent angemeldet): keinerlei Abschattungen und Partikelablagerungen Leistungsstarke Systeme für PECVD- und PVD-Prozesse • Anpassbare Schichteigenschaften für vielfältige Anwendungsgebiete •Geeignete Beschichtungen: SiN, SiO2, SiOxNy, SiC, Al2O3 und Schichtstapel Verdampfungsanwendungen •Inline-Prozesse für Hochtemperaturabscheidungen wie die CIGS-Koverdampfung •Geeignete Beschichtungen: Metalle (z. B. Cu, Ga, In) • Innovative Quelltechnologie für Inline-Abscheidungssysteme Andere Vakuumanwendungen • Vollautomatisiertes Füll- und Entgasungssystem für die Produktion von Li-Ion-Batterien •Maßgefertigte Spezialwerkzeuge (z. B. Ionenstrahl-Sputtering) für Pilotproduktionen •Maßgefertigte Spezialwerkzeuge (z. B. Ionenquellenvorbehandlung) für F&E-Labore Wichtigste Vorteile • Wirtschaftliches Systemkonzept mit geringen Betriebskosten aufgrund hoher Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit sowie stabilen Produktionsbedingungen •Neuartige patentierte Quellen- und Bearbeitungstechnologien •Zukunftssichere Systemplattform dank flexibler Verwendung und Anpassung an Geringe Betriebskosten und zukunftssichere Systemplattformen zukünftige Anforderungen der Kunden • Weltweit einziger Anbieter von Systemen bestehend aus Vakuumtechnologie, Automation und Nasschemie 08/2015 MANZ AG Manz AG Steigäckerstraße 5 72768 Reutlingen Deutschland Tel. Fax +49 7121 9000-0 +49 7121 9000-99 www.manz.com [email protected]