Industry Segment Newsletter Microelectronics 2

Mikroelektronik
Perspektiven in der Reinstwasseranalytik
2
News
THORNTON
Leading Pure Water Analytics
Außergewöhnliche Verlässlichkeit ist der Grund,
warum Siemens sich für Thornton entschieden hat
Die Vorteile der Herstellung von Reinstwasser mit EDI-Modulen anstelle harzbasierter
Systeme liegen auf der Hand: gleichbleibende Wasserqualität ohne Regenerierchemikalien. Um sicherzustellen, dass die Geräte die Anforderungen im Hinblick auf Widerstand
und Temperatur bei der Herstellung von EDI-Modulen erfüllen, vertraut man bei Siemens
Water Technologies auf die Leistung und Zuverlässigkeit der Geräte von Thornton.
Neue EDI-Technologie
Siemens Water Technologies hat mit den
Modulen VNX E- und EX eine innovative
neue Plattform zur Elektrodeionisation
(EDI) für die Halbleiterbranche eingeführt. Die Module basieren auf einer neuen Technologie, die eine kontinuierliche
Produktion von Reinstwasser gewährleistet und die hohen Ansprüchen der Halbleiterhersteller an Wasser für Polieranwendungen und Speisewasser erfüllt. Die
modularen Komponenten für hohen
Durchfluss können wie Bausteine miteinander verbunden werden. Damit lassen
sich in Fertigunsanlagen hochleistungsfähige Reinstwassersysteme mit kleiner
Stellfläche aufbauen.
Aufrechterhaltung der
Wasserqualität
Gleichbleibende Produktwasserqualität
mit der EDI-Technologie hat einen entscheidenen Vorteil gegenüber der regenerierbaren harzbasierten Deionisation.
Beim regenerierbaren chargenbasierten
Deionisationsprozess muss die Wasserqualität überwacht werden. Bei nachlassender Qualität müssen nach entsprechender Regenerierung und Spülung zusätzliche Deionisationsbehälter in Betrieb
genommen werden. Dies führt zu Schwankungen in der Wasserqualität, wie sie bei
MBDI-Systemen beobachtet werden kann.
EDI-basierte Systeme nutzen elektrischen
Strom, um die Ionen in Bewegung zu
bringen. Die Wasserqualität unterliegt damit ständiger Überwachung.
Qualitätskontrolle
Zuverlässige Leistung ist eine Voraussetzung für den Einsatz von EDI-Modulen in
der Herstellung von Speisewasser für die
Halbleiterbranche. Seit dem Jahr 2000
setzt man bei Siemens auf die 770MAX
Mehrkanal-Multiparameter-Transmitter
von Mettler-Toledo Thornton zur Messung
von Leitfähigkeit und Temperatur in
Reinstwasser und bei der Qualitätskontrolle der EDI-Module.
Die aktuelle Plattform des
Unternehmens mit den Dickzellenmodulen MX für niedrigen und VNX für hohen Durchfluss werden allesamt mithilfe
von Transmittern von MettlerToledo Thornton geprüft. Acht zusätzliche QK-Prüfstationen wurden
2004 mit Thornton 200CR-Transmittern ausgestattet. Aktuell kommen
die neuen Thornton M300 Transmitter
zur Überwachung von Temperatur und
Leitfähigkeit bzw. Widerstand zum Einsatz. Rahoul Bhagat, Manager Qualitätssicherung bei Siemens Water Technologies – Ionpure Products, erklärt: «Bislang haben wir noch keinen der Transmitter von Thornton in unseren QK-Prüfstationen ersetzen müssen. Die
Messgeräte arbeiten absolut zuverlässig.
Sie brauchen lediglich die jährliche Justierung. Ansonsten keine sind keine weiteren Wartungsarbeiten notwendig.»
Wassereinsparungen zu optimieren. Mit
einem Rückhaltevermögen von 97,5 / 99 %
ohne Regenerierchemikalien sind diese
hocheffizienten Module für Siemens der
Weg zur umweltfreundlichen Energienutzung und Einsparung von Kosten.
Einfache Integration
Die kürzlich eingeführten Siemens VNX
E- und EX-Module arbeiten mit einem
sehr hohen Rückhaltevermögen, um die
Mehr darüber, wie Ihre Reinwasser-QK
von Thornton Geräten profitieren kann,
finden Sie unter:
www.mt.com/M300
QK-Prüfstation bei
Ionpure Products
mit Thornton-Transmittern.
Herausgeber
Mettler-Toledo AG
Process Analytics
Im Hackacker 15
8902 Urdorf
Schweiz
Bilder
Mettler-Toledo AG
Siemens Water Technologies
MKS Instruments Inc.
Babar760 | Dreamstime.com
Technische Änderungen vorbehalten.
© Mettler-Toledo AG 07/10
Gedruckt in der Schweiz.
2
METTLER TOLEDO
Mikroelektronik News 2
Patrick Buzzell, EDI Product Manager,
beschreibt die Siemens VNX E- und EXModule als «einfach genug, um sie in
Beitrieb zu nehmen und anschließend zu
vergessen». Er fährt fort: «Nach korrekter
Einstellung des elektrischen Stroms auf
Grundlage des Zulaufwassers erzeugen
die E und EX kontinuierlich Reinstwasser.
Gleichzeitig lieferten die Transmitter
770MAX bis M300 von Thornton bei uns
eine durchgehend gleichbleibende Langzeitleistung. Die einfache Integration unserer Komponenten ist für unsere OEMs
ein wichtiges Argument für Siemens-Ionpure Products - und eines, das wir mit
Thornton teilen.»
Ionpure ist ein Warenzeichen von Siemens,
seinen Tochtergesellschaften oder Partnern.
UniCond Leitfähigkeitssensoren
Durchbruch bei Leitfähigkeitssensoren
Hochleistung über einen breiten Messbereich
Innovative Spitzentechnologie ermöglicht präzise Leitfähigkeits- bzw. Widerstandsmessung über einen deutlich größeren Messbereich. Derselbe
robuste Titansensor kann nun ohne Abstriche bezüglich Verlässlichkeit und
Genauigkeit in allen Stufen der Wasseraufbereitung eingesetzt werden.
Einschränkungen der Vorgänger
Bei der herkömmlichen Leitfähigkeitsmessung werden manchmal zwei oder
mehr Sensoren mit unterschiedlichen
Zellkonstanten nötig, um die gesamte
Bandbreite vom Rohwasser über Regenerierungs- oder Recyclingwasser durch alle
Reinigungsstufen bis hin zum Reinwasser
abzudecken. In manchen Fällen wurden
dabei unterschiedliche Sensortypen an
verschiedenen Messpunkten eingesetzt,
was sich wiederum auf die erforderliche
Menge und Vielfalt der vorzuhaltenden
Ersatzteile auswirkte. Außerdem muss der
Benutzer bei herkömmlichen Sensoren
darauf achten, die genaue Zellkonstante
und Temperaturkalibrierdaten für jeden
einzelnen Sensor in den Speicher des
Transmitters einzugeben, um die spezifizierte Genauigkeit zu erzielen.
Üblicherweise sind die Sensoren inline im
System in einigem Abstand zum Transmitter mit seiner Bedienoberfläche installiert.
In den vergangenen Jahren hat Thornton
die Verkabelung und Signalverarbeitung
optimiert, um Kabelkapazität und Widerstandseffekte zu minimieren und so die
Genauigkeit der Messungen zu erhöhen.
Dennoch verursachen diese Effekte gewisse Einschränkungen bei der Messung.
Eine einheitliche Rundumlösung
Mit branchenweit führender Technologie
und der umfassenden Erfahrung
von Thornton im Bereich Leitfähigkeit /
Widerstand konnten die Ingenieure von
UniCond Leitfähigkeitssensor
Thornton bedeutende Verbesserungen
vornehmen. So entwickelten sie einen miniaturisierten Messkreis, der im Sensorkopf Platz findet und ein stabiles digitales
Signal an den Transmitter sendet. Das
einheitliche Design verkürzt den Abstand
und damit die Verdrahtung zwischen
Sensor und Messkreis auf wenige Zentimeter! Ohne die Auswirkungen der Kabelkapazitäten und Widerstände langer Kabel lassen sich deutlich ausgefeiltere
Messtechniken verwirklichen. Durch die
vernachlässigbaren Auswirkungen der
Anschlussleitungen lassen sich die die
Messung beeinträchtigenden elektrochemischen Einflussfaktoren besser beherrschen und damit der Messbereich deutlich
ausweiten. So reicht der Messbereich eines
einzelnen UniCond Sensors von ultrareinem Wasser bis Brackwasser mit bis zu
50.000 µS/cm – und das mit ausgezeichneter Genauigkeit.
Dieser bemerkenswert breite Messbereich
bietet natürlich zahlreiche Vorteile. Der
UniCond Sensor kann den gesamten
Messbereich nahezu aller Wasseraufbereitungssysteme abdecken. Er ist damit
universell einsetzbar und vereinfacht
Spezifikation, Dokumentation, Installation, Verdrahtung, Betrieb und Ersatzteilbestellungen – mittlerweile nur in Form
eines einzigen Ersatzteils.
ment (ISM) Technologie. Das bedeutet,
dass präzise werkseitige Kalibrierdaten,
die Sensoridentifikation, Seriennummer,
usw. im internen Speicher abgelegt sind.
Dank «Plug and Measure» vereinfacht
sich die Inbetriebnahme, wobei die manuelle Dateneingabe und damit auch mögliche Bedienungsfehler endlich der Vergangenheit angehören.
Höchste Genauigkeit und
Zuverlässigkeit
Ein UniCond™ Sensor ist einfach präziser, da er als ganzes System einschließlich Zellkonstante, Temperatursensor und
Messkreise kalibriert wird. Bei der Kalibrierung werden alle diese Komponenten
berücksichtigt. Einzelfehler können nun
nicht mehr gehäuft auftreten. Durch die
Kombination von Sensoren und Transmittern mit jeweils eigenen Fehlergrenzen
treten keine zusätzlichen Fehler mehr auf.
Die Vorteile der UniCond Leitfähigkeits-/
Widerstandssensoren sind erheblich: höhere Genauigkeit und breiterer Messbereich verbessern die Standardisierung und
vereinfachen die Inbetriebnahme.
Weitere Informationen erhalten Sie unter:
www.mt.com/UniCond
UniCond Sensoren nutzen die
Intelligent Sensor
Manage-
METTLER TOLEDO
Mikroelektronik News 2
3
TOC-Beseitigung in UPW
Ozonisierung zerstört organische Stoffe
in UPW-Systemen
Die Richtlinien der Halbleiterindustrie fordern TOC-Werte unter 1 ppb für
UPW-Systeme. Ozonisierungssysteme wie das LIQUOZON Ultra von MKS
arbeiten mit dem Thornton 770MAX, um diese Spezifikation in einer
kontrollierbaren und zuverlässigen Gerätekonfiguration zu erreichen.
UPW in der Halbleiterproduktion
Die Herstellungsprozesse in der Halbleiterbranche erfordern zur Sicherstellung
höchster Ausbeuten Reinstwasser (UPW).
Verunreinigungen durch Bakterien sind
ein ernstzunehmendes Problem bei der
UPW-Herstellung und Systemwartung.
Zusätzlich erschweren hohe TOC-Gehalte
im Wasser die Situation. Die Richtlinien
der International Technology Roadmap
for Semiconductors (ITRS) fordern daher
Ozonisierungssystem LIQUOZON Ultra mit
Transmitter 770MAX von Thornton.
4
METTLER TOLEDO
Mikroelektronik News 2
einen TOC-Wert von < 1 ppb in UPWSystemen. Ozon ist das beste Mittel, um
Bakterien unschädlich zu machen und
den TOC-Gehalt im Prozesswasser zu
senken. Gleichzeitig hat es den Vorteil,
unter Beibehaltung der Produktqualität
enorme Wasser- und Energieeinsparungen zu ermöglichen. Wichtig ist auch,
dass Ozon in Sauerstoff zerfällt und keine
Reststoffe hinterlässt. Es eignet sich also
ideal für die Aufbereitung von Prozesswasser in der Halbleiterfertigung.
Leistungsfähige
Ozonisierung
Das in den USA ansässige Unternehmen MKS Instruments Inc.
liefert Technologien für modernste Prozesse zur Steigerung
der Produktivität und bietet
ein einzigartiges «Plug and
Measure»-Ozonsystem. Die Geräte der Reihe LIQUOZON Ultra
sind mit allen erforderlichen
Komponenten zur Ozonisierung
auf einem mobilen Gestell montiert einschließlich Materialeignung, präziser Dosierung und
Sicherheit. Das flexible System
zur Herstellung von gelöstem
Ozon ist mit einem MettlerToledo Thornton 770MAX Messsystem für gelöstes O3 ausgestattet, das speziell auf Sicherheit
und Überwachung ausgelegt ist.
Im Tankrücklauf sind Messun-
gen installiert, um die geforderte Ozonkonzentrationen im gesamten Wasserlagerungs- und -verteilsystem zu gewährleisten. An mehreren Stellen des Wassersystems wird die Ozonkonzentration
überwacht, um einen fehlerfreien Betrieb
sicherzustellen. Dazu gehört auch die
Rücklaufleitung zum Lagertank zur Sicherstellung der korrekten Dosierung und
die nachgeschaltete Inline-UV-Ozonzerstörung, die gewährleistet, dass das Produktwasser ozonfrei ist.
Vorteile
Die Ozonisierung ist eine effektive Methode, mit der in Lager- und UPW-Verteilsystemen Bakterien abgetötet und der TOCGehalt auf ein Minimum reduziert werden
kann, da sie nicht nur die Mikroorganismen entfernt, sondern auch die Nährstoffe für ein weiteres Bakterienwachstum. Moderne Ozonisierungssysteme wie
LIQUOZON Ultra produzieren zuverlässig
und flexibel verschiedene Konzentrationen und Durchflussmengen an ozonisiertem Wasser, die in den verschiedensten
UPW-Systemkonfigurationen einsetzbar
sind. Der Multiparameter-Transmitter
770MAX von Thornton unterstützt mehrere Messpunkte zur Ozonmessung einschließlich der Messung von Leitfähigkeit
und Temperatur in einem einzigen Paket.
Weitere Informationen finden Sie unter:
www.mt.com/770MAX
www.mt.com/o3
LIQUOZON ist ein eingetragenes
Warenzeichen der MKS Instruments, Inc.
Kostengünstige Messung von gelöstem Sauerstoff
Kontrolle des gelösten Sauerstoffs
Für die Halbleiterqualität entscheidend
In einer großen asiatischen Fertigungsanlage für Halbleiter darf das Reinstwassersystem nur sehr wenig gelösten Sauerstoff aufweisen. Geräte von MettlerToledo Thornton sorgen für zuverlässige und genaue Messungen und helfen bei
der Einhaltung der Anforderungen bei wesentlich geringeren Kosten.
Große Fertigungsanlage für
Halbleiter
Damit die Leistung ihrer branchenweit
führenden Herstellungsprozesse zuverlässig gewährleistet ist, achtet einer der größten Halbleiterhersteller Asiens ganz besonders darauf, den gelösten Sauerstoff im
Reinstwassersystem der vier Messstellen
im Polierprozess möglichst gering zu halten. Die Konzentrationen in Reinigungsbzw. Spülwasser werden unter 10 ppb gehalten und im allgemeinen unter 5 ppb,
um die Oxidation in Bereichen ultradünner Verbindungen und an anderen kritischen Stellen zu minimieren. Höhere Gehalte gelösten Sauerstoffs könnten zu
Fehlern und geringer Ausbeute führen –
bei entsprechend hohen Kosten.
Auswahl der Geräte
Messgeräte für gelösten Sauerstoff haben
daher in derartigen Anlagen seit jeher
höchste Priorität. Bei der ursprünglichen
Geräteaustattung der Anlage wurde daher
größter Wert auf ein sehr teures System
gelegt, das im Ruf stand, präzise Messungen zu liefern. Das System erforderte jedoch zusätzlich umfassende zeitaufwändige Wartungsarbeiten und teure Ersatzteile. Die hohen Betriebskosten wurden
eine Zeitlang in Kauf genommen, doch
dann entschloss man sich zur Suche nach
Alternativen.
Die Mitarbeiter der Fertigungsanlage waren äußerst beeindruckt von der Leistung
des Thornton-Sensors. Insbesondere die
kurze Ansprechzeit und die stark vereinfachte Wartung konnten überzeugen.
Nach einer Luftkalibrierung stabilisierte
sich der Thornton-Sensor im niedrigen
ppb-Bereich in weniger als einer Stunde.
Die alte Messeinrichtung brauchte dafür
zwei bis sechs Stunden. Die Leistung überzeugte, sodass man kurzentschlossen ein
weiteres Gerät erwarb, das vom MettlerToledo Thornton Service als tragbares
Prüfsystem ausgelegt wurde und zur Fehlerbeseitigung an verschiedenen Messstellen der UPW-Systeme dienen sollte.
Vorteile von Genauigkeit und
Ansprechzeit
Beim Vergleich der Messungen mit
Thornton Hochleistungssensoren und den
teureren Geräten wurden sehr ähnliche
Werte gemessen, wobei die Ansprechzeit
nach der Luftkalibrierung bei beiden Systemen vergleichbar war. Das Prüfpersonal
stellte fest, dass die tatsächliche Zeit zur
Durchführung der Luftkalibrierung und
die Wiederherstellungszeit danach bei
dem System von Thornton sehr viel kürzer
ausfiel.
Langfristige Einsparungen
Der Thornton-Sensor wird mit nur
80 – 300 mL / min Probendurchfluss betrieben. Dadurch kann eine beträchtliche
Menge des kostenintensiven ultrareinen
Wassers eingespart werden, weil die Messungen durchgehend erfolgen, d.h. 24
Stunden täglich. Die Einsparungen an
Reinstwasser, Ersatzteilen, Kalibrier- und
Maßgeschneiderte tragbare Messstation zur
Überwachung von
gelöstem Sauerstoff mit
Transmitter M300 von
Thornton und
Hochleistungssensor für
gelösten Sauerstoff
Schließlich installierte man zu Vergleichszwecken einen Hochleistungssensor für gelösten Sauerstoff von Thornton.
METTLER TOLEDO
Mikroelektronik News 2
5
Wartungszeit und der niedrigere Anschaffungspreis der Thornton-Sensoren führten zum Austausch weiterer Messstellen in
der Anlage.
Wenn auch Sie die Vorteile der ThorntonGeräte in Ihrer Anlage nutzen möchten,
dann klicken Sie hier:
www.mt.com/DO
Zusätzlich bieten die M300 Transmitter
von Thornton Mehrkanal- und Multiparameter-Funktionalitäten zur gleichzeitigen
Messung von gelöstem Sauerstoff und Leitfähigkeit oder Widerstand und Temperatur – alles mit nur einem Transmitter. Die
Multiparameter-Plattform bietet Einsparungen bei Dokumentation, Schulung,
Wartung und Ersatzteilen.
Hochleistungssensor
für gelösten Sauerstoff
von Thornton
Transmitter M300
Verbesserte Messgenauigkeit für spezifischen
Widerstand in UPW-Systemen
Mettler-Toledo Thornton hat neue innovative Methoden zur Feldkalibrierung von Transmittern und Sensoren für die Messung des spez. Wider-
Referenzstandards
stands entwickelt, um die Genauigkeit in Reinstwassersystemen zu
verbessern.
Ständig wachsende
Anforderungen
Die Wasserreinigungsbranche fordert
ständig genauere Widerstandsmessungen.
Mettler-Toledo Thornton hat darauf reagiert, indem das Unternehmen die Messbereiche mit einer verbesserten Technologie erweitert und bestehende Justier- / Kalibrierverfahren neu bewertet hat.
Vier Faktoren tragen zur Systemgenauigkeit bei:
1.Widerstandsschaltung des Transmit-
ters
2.Temperaturschaltung des Transmitters
3.Zellkonstante des Leitfähigkeits- bzw. Widerstandssensors
4.Der Leitfähigkeits- bzw. Widerstands-
6
METTLER TOLEDO
Mikroelektronik News 2
sensor mit Widerstandsthermometer (RTD) bzw. Temperatursensor
Transmitterjustierung
Die Leitfähigkeits- bzw. Widerstands- und
Temperaturschaltungen des Transmitters
werden durch Anschließen präziser Widerstandswerte an den Sensoreingängen
und durch Einstellen des Verstärkers im
Transmitter justiert, bis der Eingabewert
dem angezeigten Wert entspricht. Dies
kann mithilfe rückführbarer Widerstände
gemäß nationaler Standards oder automatisch mit Zusatzgeräten erfolgen, deren
interne Widerstände auf nationale Standards rückführbar sind. Mettler-Toledo
Thornton bietet gerätespezifische Justiergeräte an, die an den Sensoreingängen
angeschlossen werden. Sie sind mit rückführbaren Widerständen ausgestattet, die
zur Justierung sämtlicher Leitfähigkeitsbzw. Widerstands- und Temperaturbereiche der entsprechenden Geräte erforderlich sind. Im Lieferumfang der Justiergeräte sind entsprechende Anleitungen enthalten.
Sensorjustierung
Da ein Sensor nicht einfach aus einem
Prozesswasserkreislauf entfernt werden
kann, ist die Justierung etwas aufwändiger, zumal wenn der Sensor direkt oder in
unmittelbarer Nähe der Messstelle justiert
werden soll.
Die Justierung eines Leitfähigkeits- bzw.
Optimales
Verfahren
Vereinfachen Sie Ihren
Prozess mit Multiparameter-Lösungen
Mit dem Mettler-Toledo Thornton
770MAX können bis zu 4
Messgrößen für die Wasseranalytik gleichzeitig mit nur einem
Gerät erfasst werden. Das ist eine
deutliche Vereinfachung.
Widerstandssensors ergibt zwei Justierfaktoren: einen Multiplikator für Widerstand
(auch Zellkonstante) und einen für Temperatur. Diese Faktoren werden durch
Eintauchen des Sensors in Proben mit bekannter Leitfähigkeit bzw. bekanntem
Widerstand bei einer festgelegten Temperatur bestimmt. Die Faktoren werden üblicherweise in einem Labor unter kontrollierten Bedingungen errechnet. Feldjustierungen sind eine besondere Herausforderung, weil in vielen Anwendungen die
Entfernung eines Sensors aus einem industriellen Prozess zu Justierzwecken
nicht möglich ist. Die nicht kontrollierte
Umgebung, in der sich der Sensor befindet, erschwert die Justierung mit den bekannten Standardlösungen.
Tragbares Kalibrier- und Justiersystem 1885 von Thornton.
Verwendung eines
Referenzstandards
Das tragbare Justiersystem Mettler-Toledo
Thornton 1885 arbeitet mit einem Bezugssensor, der gemäß ASTM International (American Society for Testing and
Materials) in rückführbaren Standardlösungen und bei rückführbarer Temperatur (gemäß National Institute of Standards and Technology, NIST) justiert
wurde. Dieser Bezugssensor ist in einer
abgedichteten Durchflusskammer eingebaut und an einen Transmitter Thornton
770MAX angeschlossen. Dort misst er die
vom Benutzer in einem sehr kurzen Seitenstrom bereitgestellte Probe. Mit dem
tragbaren Justiersystem 1885 von MettlerToledo Thornton kann ein Servicetechniker den Bezugssensor an einen Probennahmeanschluss nahe bei dem Sensor
anschließen und den Inline-Sensor mit
der gemäß nationalen Standards geltenden Genauigkeit und Rückführbarkeit
justieren. In Wassersystemen mit stabiler
Wassertemperatur und sorgfältig isolierten Leitungen und Durchflusskammern
kann eine Einpunktjustierung der Temperaturmessung des Sensors durchgeführt werden, um die Systemgenauigkeit
noch weiter zu steigern.
In vielen Reinstwassersystemen arbeiten
unterschiedliche Leitfähigkeits- bzw. Widerstandssensoren, die zu verschiedenen
Zeitpunkten erworben und mit verschiedenen Standards justiert wurden. Schon
Erfahren Sie mehr unter:
www.mt.com/770MAX
geringste Abweichungen bei den Standards können in einem großen Wassersystem zu erheblichen Ungenauigkeiten führen. Mit einem einzigen tragbaren Standard zur Justierung der Leitfähigkeitsbzw. Widerstandssensoren in einem Wassersystem lassen sich die Gesamtgenauigkeit des Wassersystems stark
verbessern und Messfehler aufgrund
verschiedener Referenzstandards ausschließen.
Da die Nachfrage nach höherer Qualität
von Reinstwasser für industrielle Prozesse
zunimmt, steigen auch die Erwartungen
an die Industrie und damit die Anforderungen an immer genauere Leitfähigkeits- bzw. Widerstandsmessungen. Mit
modernen Technologien und einzigartigen innovativen Justierverfahren kann
Mettler-Toledo Thornton hochpräzise und
wesentlich genauere Leitfähigkeits- bzw.
Widerstandsmessungen anbieten und damit die Anforderungen der Industrie erfüllen.
Weitere Informationen finden Sie unter:
www.mt.com/770MAX
METTLER TOLEDO
Mikroelektronik News 2
7
Umfassendes Website-Angebot
Alle gewünschten Informationen
finden sich auf www.mt.com/pro
Der neugestaltete Website-Bereich Prozessanalytik von METTLER TOLEDO enthält eine
enorme Menge aktueller Informationen zu
allen unseren Produkten und Dienstleistungen.
jErfahren
Sie mehr über unsere neuesten
Produktentwicklungen
jMelden
Sie sich für kostenlose Webinare an
jFordern
Sie weitere Informationen zu
Produkten und Dienstleistungen an
jHolen
Sie schnell und einfach ein Angebot ein
jLaden
Sie unsere neuesten Informationsbroschüren herunter
jLesen
Sie für Ihre Branche relevante
Fallstudien
jSchlagen
Sie Zertifikate für Puffer- und
Elektrolytlösungen nach
jund
METTLER TOLEDO
Sie schnell zu den Produkten und
Neuigkeiten gelangen, die Sie interessieren.
Der Inhalt wurde für Ihr Land und Ihre Sprache
lokalisiert und ist auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten.
Der einfache Aufbau ermöglicht Ihnen, die gesuchten Informationen und Optionen schnell zu
finden.
8
Die Homepage ist so gestaltet, dass
vieles mehr ...
Mikroelektronik News 2
Produktseiten geben Ihnen eine
Übersicht zu den Produkten und
Applikationsseiten helfen Ihnen bei der
schnellen Zugriff zu wichtigen Details
Auswahl der zu Ihrer Anwendung pas-
und Dokumenten.
senden Produkte.
jLesen Sie die neuesten
Produkt-News
jStöbern Sie in unserem
Newsletter-Archiv
jFinden Sie heraus,
wann unsere nächste
Messe oder Ausstellung in Ihrer Region
stattfindet
jMelden Sie sich für
kostenlose Webinare
unserer Branchenexperten an
jLaden Sie unsere In-
formationsbroschüren
herunter
METTLER TOLEDO
Mikroelektronik News 2
9
Die THORNTON-Lösung
Ein Transmitter, viele Parameter
für TOC, pH, Leitfähigkeit, gelösten Sauerstoff ...
Multiparameter-Instrumente für Ihre Prozesse …
Thornton-Lösung
Mettler-Toledo Thornton ist der
Marktführer für kritische Messungen
bei der Rein- und Reinstwasseranalyse.
Unser Produkt 770MAX ist ein
Multiparameter-Messgerät mit einer
brei­ten Palette an Sensoroptionen.
Der Inline-Sensor 5000TOC kann
organische Kontaminationen in
Echtzeit feststellen.
Neben den TOC-Sensoren stellt
THORNTON auch Sensoren für die
Messung von pH / Redox, gelöstem
Sauerstoff / gelöstem Ozon,
Leitfähigkeit, Durchfluss und Druck
her.
a
Sm
r t-
S
s
en
n
or e
ren
770MAX
nso
jMultiparameter-Gerät
Durchfluss
5000TOC für kontinuierliche TOC-Messungen
Sm
ar t
-Se
jSensor
jpH
für Reinstwasseranwendungen
pH / Redox
j2-Pol-
und 4-PolLeitfähigkeitssensoren
gelöster Sauerstoff /
gelöstes Ozon
10
METTLER TOLEDO
Mikroelektronik News 2
Vorteile durch THORNTON
jUmfassende
Komplettlösungen
für für die Reinwasseranalyse aus
einer Hand.
jWeniger
Platzbedarf und geringere Kosten pro Parameter dank der
umfassenden Fähigkeiten des
Multiparameter-Transmitters.
Druck / Füllstand
Transmitter 770MAX
jDer
Sensor 5000TOC ermöglicht
jederzeit Inline-TOC-Messungen in
Echtzeit.
jDer
Sm
ar t
-Se
ns
TOC Sensor benötigt keine
Gase oder Reagenzien, die gehandhabt, gelagert oder ersetzt
werden müssen. Da es keine beweglichen Teile gibt, sind die
Routinewartungsarbeiten minimal.
or e
n
Sm
jDie
ar tSen
s or
Leitfähigkeit
en
Smart Sensor-Technologie ermöglicht «Plug and Measure»Kommunikation zwischen Sensor
und Transmitter.
jDie
sterilisierbaren Sensoren verfügen über eine außergewöhnlich
lange Lebensdauer.
TOC
METTLER TOLEDO
Mikroelektronik News 2
11
Gehen Sie on-line mit METTLER TOLEDO
Zeit sparen beim Programmieren
Ihrer Transmitter
Thorntons Konfigurationstool wird mit jedem M300 Transmitter mitgeliefert. Ein echter Mehrwert für eine einfache und
konsistente Programmierung. Das Tool verfügt über Funktionen zum Up- und Download der Transmitterkonfiguration und
speichert Konfigurationsdateien für spätere Verwendungszwecke.
Das Transmitter-Konfigurationstool spart mit seiner bidirektionalen Datenübertragung viel Zeit beim Programmieren von
Transmittern und sorgt für konsistente Programmierung.
Der Transmitter M300 misst Leitfähigkeit, Widerstand, pH,
Redox, gelösten Sauerstoff und / oder gelöstes Ozon. Mit seiner
vierzeiligen Anzeige und vier Analogausgängen bietet der
M300 volle Leistungsfähigkeit für Prozessanalytik und Temperaturmessung.
Mettler-Toledo GmbH
www.mt.com/M300
Prozessanalytik
Ockerweg 3, D-35396 Gießen
Tel: +49 641 507-333
Fax: +49 641 507-397
E-Mail: [email protected]
Mettler-Toledo Ges. m. b. H.
Südrandstraße 17, A-1230 Wien
Tel: +43 1 607 4356
Fax: +43 1 604 2880
E-Mail: [email protected]
Mettler-Toledo (Schweiz) GmbH
Im Langacher, Postfach
CH-8606 Greifensee
Tel: +41 44 944 45 45
Fax: +41 44 944 46 18
E-Mail: [email protected]
www.mt.com/pro
Besuchen Sie uns im Internet